Влияние буферного слоя на формирование катализатора на основе тонкой пленки никеля для синтеза углеродных нанотрубок
Булярский С.В.1, Зенова Е.В.1, Лакалин А.В.1, Молоденский М.С.1, Павлов А.А.1, Тагаченков А.М.1, Терентьев А.В.1,2
1Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук, Москва, Россия
2Национальный исследовательский университет "Высшая школа экономики", Москва, Россия
Email: bulyar2954@mail.ru
Поступила в редакцию: 1 февраля 2017 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2018 г.
Исследованы процессы формирования наночастиц катализатора на основе тонкой пленки никеля, которая наносится на буферные слои трех видов: чистый титан, оксид титана и нитрид титана. Показано, что при проведении синтеза нанотрубки с применением трех последовательных этапов (окисления, восстановления и роста нанотрубки) может возникнуть ситуация, когда метал катализатора окажется изолирован от поверхности и соответственно от потока углеводорода, что приведет к остановке роста нанотрубок. Изоляция возникает при движении границы раздела оксида титана с газовой средой реактора, при котором оксид титана огибает наночастицу оксида никеля и изолирует ее. Получены скорость перемещения этой границы и коэффициент диффузии кислорода в оксиде титана. -18
- Булярский С.В. Углеродные нанотрубки: технология, управление свойствами, применение. Ульяновск: Стрежень, 2011. 432 с
- Rutherglen C., Burke P. // Nano Lett. 2007. Vol. 7. N 11. P. 3296-3299. DOI: 10.1021/nl0714839
- Jensen K., Weldon J., Garcia H., Zettl A. // Nano Lett. 2007. Vol. 7. N 11. P. 3508-3511. DOI: 10.1021/nl0721113
- Булярский С.В., Булярская С. А., Вострецова Л.Н., Дудин А.А., Орлов А.П., Павлов А.А., Басаев А.С., Кицюк Е.П., Шаманаев А.А., Шаман Ю.П. // Нано- и микросистемная техника. 2015. N 5 (158). C. 3-8
- Kempa K., Rybczynski J., Huang Z.P., Gregorczyk K. et al. // Adv. Mater. 2007. Vol. 19 N 3. P. 421-426. DOI: 10.1002/adma.200601187
- Chernozatonskii L.A., Gulyaev Y.V., Kosakovskaja Z.J. et al. // Chem. Phys. Lett. 1995. Vol. 233. P. 63-68. DOI: 10.1016/0009-2614(94)01418-U
- De Heer W.A., Chatelain A., Ugarte D. // Science. 1995. Vol. 270. P. 1179-1180. DOI: 10.1126/science.270.5239.1179
- Rinzler A.G., Hafner J.H., Nikolaev P. et al. // Science. 1995. Vol. 269. P. 1550-1553. DOI: 10.1126/science.269.5230.1550
- Louchev O.A., Laude Th., Sato Y., Kanda H. // J. Chem. Phys. 2003. Vol. 118. N 16. P. 7622-7634. DOI: 10.1063/1.1562195
- Jourdain V., Bichara Ch. // Carbon. 2013. Vol. 58. P. 2-39. DOI: 10.1016/j.carbon.2013.02.046
- Булярский С.В., Басаев А.С. Катализаторы роста углеродных нанотрубок. LAP LAMBERT Academic Publishing, 2015. 117 с
- Amelinckx S., Bernaerts D., Zhang X.B., Van Tendeloo G., Van Landuyt J. // Science. 1995. Vol. 267. P. 1334-1338. DOI: 10.1126/science.267.5202.1334
- Chhowalla M., Teo K.B.K., Ducati C., Rupesinghe N.L., Amaratunga G.A.J., Ferrari A.C., Roy D., Robertson J., Milne W.I. // J. Appl. Phys. 2001. Vol. 90. P. 5308-5317. DOI: 10.1063/1.1410322
- Valentini L., Kenny J.M., Lozzi L., Santucci S. // J. Appl. Phys. 2002. Vol. 92. P. 6188-6194. DOI: 10.1063/1.1410322
- Ren Z.F., Huang Z.P., Wang D.Z., Wen J.G., Xu J.W., Wang J.H., Calvet L.E., Chen J., Klemic J.F., Reed M.A. // Appl. Phys. Lett. 1999. Vol. 75. P. 1086-1088. DOI: 10.1063/1.124605
- Deal B.E., Grove A.S. // J. App. Phys. 1965. Vol. 36. P. 3770-3778. DOI: 10.1063/1.1713945
- Grove A.S. Physics and Technology of Semiconductor Device. NY.: Willey, 1967. Ch. 2
- Lagoudas D.C., Ma X., Miller D.A., Allen D.H. // Int. J. Engrg. Sci. 1995. Vol. 33. P. 2327-2343. DOI: 10.1016/0020-7225(95)00073-7
- Entchev P.B., Lagoudas D.C., Slattery J.C. // Int. J. Engrg Sci. 2001. Vol. 39. P. 695-714. DOI: 10.1016/S0020-7225(00)00053-7
- Unnam J., Shenoy R.N., Clark R.K. // Oxidation of Metals. 1986. Vol. 26 (3/4). P. 231-252.
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.