Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2018, выпуск 12 » Статья стр. 1900
<<<>>>
In situ модификация и анализ состава и кристаллической структуры кремниевой мишени с помощью ионно-пучковых методик
DOI: 10.21883/JTF.2018.12.46796.41-18
Переводная версия: 10.1134/S106378421812023X
Российского фонда фундаментальных исследований (РФФИ), мол-а, 18-32-00833
Балакшин Ю.В. 1, Шемухин А.А. 1, Назаров А.В. 1, Кожемяко А.В.2, Черныш В.С. 2
1Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д.В. Скобельцына Московского государственного университета им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
2Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра физической электроники, Москва, Россия
Email: balakshiny@gmail.com
Поступила в редакцию: 25 января 2018 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2018 г.
PDF версия
Метод резерфордовского обратного рассеяния (РОР) в сочетании с каналированием широко распространен в области анализа состава и структуры материалов. Представлены описание и технические параметры экспериментальной линии, предназначенной для проведения in situ ионной имплантации и спектрометрии РОР. Приведены параметры анализирующего пучка, необходимые для достижения погрешности в несколько процентов при исследовании профилей распределения примесей и дефектов. Разрешение методики было оценено при помощи спектра альфа частиц, полученных при распаде 239Pu и из РОР спектра от монокристалла кремния. Имплантация ионов Xe+ с энергией 100 keV в монокристалл кремния и РОР анализ мишеней в режиме каналирования были проведены без нарушения вакуумных условий. Были изучены профиль распределения внедренных атомов и профиль распределения дефектов в облученных монокристаллах. -18
  1. Horodek P., Siemek K., Kobets A.G., Kulik M., Meshkov I.N. // Appl. Surf. Sci. 2015. Vol. 333. P. 96-103
  2. Lenka H., Meersschaut J., Kandaswamy P.K., Modarresi H., Bender H., Vantomme A., Vandervorst W. // Nucl. Instrument. Method. Phys. Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. 2014. Vol. 331. P. 69-73
  3. Kummari V.C., Reiner T., Jiang W., McDaniel F.D., Rout F.D. // Nucl. Instrument. Method. Phys. Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. 2014. Vol. 332. P. 28-32
  4. Hallen A., Moschetti G. // Nucl. Instrument. Method. Phys. Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. 2014. Vol. 332. P. 172-175
  5. Chuan-Lei Jia, Zhi-Ning Wei // Physica B. 2014. Vol. 37. P. 1-3
  6. Wendler E., Becker G., Rensberg J., Schmidt E., Wolf S., Wesch W. // Nucl. Instrument. Method. Phys. Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. 2016. Vol. 379. P. 195-199
  7. Shemukhin A.A., Nazarov A.V., Balakshin Yu.V.,  Chernysh V.S. // Nucl. Instrument. Method. Phys. Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. 2015. Vol. 354. P. 274-276
  8. Шемухин А.А., Балакшин Ю.В., Черныш В.С., Голубков С.А., Егоров Н.Н., Сидоров А.И. // ФТП. 2014. Т. 48. Вып. 4. С. 535-538. [ Shemukhin A.A., Balakshin Y.V., Chernysh V.S., Golubkov S.A., Egorov N.N., Sidorov A.I. // Semiconductors. 2014. Vol. 48. P. 517-520.]
  9. Shemukhin A.A., Balakshin Yu.V., Evseev A.P.,  Chernysh V.S. // Nucl. Instrument. Method. Phys. Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. 2017. Vol. 406. P. 507-510
  10. Moloi S.J., McPherson M. // Vacuum. 2014. Vol. 104. P. 51-56
  11. Chiang H.-Y., Park S.-H., Mayer M., Schmid K., Balden M., Boesenberg U., Jungwirth R., Falkenberg G., Zweifel T., Petry W. // J. Alloys Compd. 2015. Vol. 626. P. 381-390
  12. Xiao R.-Z., Wang Z.-S., Yuan X.-B., Zhou J.-J., Mao Z.-L., Su H.-S., Li B., Fu D.-J. // Nucl. Instrument. Method. Phys. Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. 2016. Vol. 384. P. 106-112
  13. Odutemowo O.S., Malherbe J.B., Theron C.C., Njoroge E.G., Wendler E. // Vacuum. 2016. Vol. 126. P. 101-105
  14. Alberic M., Muller K., Pichon L., Lemasson Q., Moignard B., Pacheco C., Fontan E., Reiche I. // Talanta. 2015. Vol. 137. P. 100-108
  15. Santos H.C., Added N., Silva T.F., Rodrigues C.L. // Nucl. Instrument. Method. Phys. Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. 2015. Vol. 345. P. 42-47
  16. Fourdrin C., Camagna S.P., Pacheco C., Radepont M., Lemasson Q., Moignard B., Pichon L., Bourgeois B., Jeammet V. // Microchem. Journ. 2016. Vol. 126. P. 446-453
  17. Ortega-Feliu I., Ager F.J., Roldan C., Ferretti M., Juanes D., Scrivano S., Respaldiza M.A., Ferrazza L., Traver I., Grilli M.L. // Nucl. Instrument. Method. Phys. Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. 2017. Vol. 406. P. 318-323
  18. Beck L., Alloin E., Vigneron A., Caffy I., Klein I. // Nucl. Instrument. Method. Phys. Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. 2017. Vol. 406. Pt. A. P. 93-98
  19. Wu Q.Q., Zhu J.J., Liu M.T., Zhou Z., An Z., Huang W., He Y.H., Zhao D.Y. // Nucl. Instrument. Method. Phys. Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. 2013. Vol. 296. P. 1-6
  20. Noun M., Roumie M., Calligaro T., Nsouli B., Brunetto R., Baklouti D., d'Hendecourt L., Della-Negra S. // Nucl. Instrument. Method. Phys. Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. 2013. Vol. 306. P. 261-264
  21. Ren M.Q., Ji X., Vajandar S.K., Mi Z.H., Hoi A., Walczyk T., van Kan J.A., Bettio A.A., Watt F., Osipowicz T. // Nucl. Instrument. Method. Phys. Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. 2017. Vol. 406 Pt. A. P. 15-24
  22. Lacroix J., Lao J., Nedelec J.-M., Jallot E. // Nucl. Instrument. Method. Phys. Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. 2013. Vol. 306. P. 153-157
  23. National Nuclear Data Center, Brookhaven, USA http://www.nndc.bnl.gov/chart/decaysearchdirect.jsp?nuc=239 PU\&unc=nds
  24. Электронный ресурс. Режим доступа: https://www.originlab.com/
  25. Nastasi M., Mayer J.W., Wang Y. Ion Beam Analysis: Fundamentals and Applications. London: CRC Press, 2015. 460 p
  26. Электронный ресурс. Режим доступа: http://www.exphys.uni-linz.ac.at/Stopping/
  27. Титов В.В. Внедрение быстрых ионов в монокристаллы. М.: ИЭА, 1978. 35 с
  28. Elich J.J.Ph., Roosendaal H.E., Onderdelinden D. // Radiat eff Defects Solids. 1971. Vol. 10. P. 175-184.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme