Журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Модель термического окисления кремния
Переводная версия: 10.1134/S1063784219040108 
1Физико-технологический институт Российской академии наук, Москва, Россия 
2Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", Москва, Россия
2Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", Москва, Россия
Email: AlexVFadeev@gmail.com
Поступила в редакцию: 26 апреля 2018 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2019 г.
Миниатюризация и увеличение скорости работы электронных приборов требует получения диэлектрических пленок оксида кремния нанометровой толщины. Для создания таких структур необходимо понимание процесса начального окисления кремния. Предложена теоретическая модель термического окисления тонких монослоев кремния, учитывающая рост напряжений в переходном слое оксид - подложка по мере накопления в нем кислорода.
- Watanabe H., Kato K., Uda T., Fujita K., Ichikawa M. // Phys. Rev. Lett. 1998. Vol. 80. N 2. P. 345-348
- Green M.L., Gusev E.P., Degraeve R., Garfunkel E.L. // J. Appl. Phys. 2001. Vol. 90. N 5. P. 2057-2121
- Bongiorno A., Pasquarello A. // J. Mater. Sci. 2005. Vol. 40. P. 3047-3050
- Lu H.C., Gustafsson T., Gusev E.P., Garfunkel E. // Appl. Phys. Lett. 1995. Vol. 67. P. 1742-1744
- Gusev E.P., Lu H.C., Gustafsson T., Garfunkel E. // Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 1994. Vol. 318. P. 69-74
- Deal B.E., Grove A.S. // J. Appl. Phys. 1965. Vol. 36. N 12. P. 3770-3778
- Tsetseris L., Pantelides S. T. // PRL. 2006. Vol. 97. P. 116101
- Akiyama T., Kageshima H. // Surf. Sci. 2005. Vol. 576. P. L65-L70
- Hattori T., Suzuki T. // Appl. Phys. Lett. 1983. Vol. 43. N 5. P. 470-472
- Himpsel F.G., Mc Feely F.R., Taleb-Ibrahimi A., Yarmoff J.A., Hollinger G. // Phys. Rev. B. 1998. Vol. 38. N 9. P. 6084-6096
- Borman V.D., Gusev E.P., Lebedinskii Yu.Yu., Troyan V.I. // Phys. Rev. Lett. 1991. Vol. 67. N 17. P. 2387-2390
- Ohishy K., Hattoty T. // Jpn. J. Appl. Phys. 1994. Vol. 33. P. L675-l678
- Szekeres A. // NATO Sci. Series 3 High Technol. 1998. Vol. 47. P. 65-73
- Almadia R.M.C., Goncalves S., Baumvol I.J.R. // Phys. Rev. B. 2000. Vol. 61. N 19. P. 12992-12999
- Александров О.В., Дусь А.И. // ФТП. 2008. Т. 42. Вып. 11. С. 1400-1406
- Gerlach G., Maser K. // Adv. Cond. Matt. Phys. 2016. Vol. 2016. P. 1-13
- Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Теоретическая физика. Статистическая физика. М.: Наука, 1998. C. 567
- Kageshima H., Shiraishi K. // Phys. Rev. Lett. 1998. Vol. 81. N 26. P. 5936-5939
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
