Формирование наноразмерных пленок SiO2 на поверхности свободной пленочной системы Si/Cu при имплантации ионов O2+
Умирзаков Б.Е.1, Рузибаева М.К.1, Исаханов З.А.1, Ёркулов Р.М.1
1Институт ионно-плазменных и лазерных технологий АН Узбекистана, Ташкент, Узбекистан
Email: za.isakhanov@gmail.com
Поступила в редакцию: 25 мая 2018 г.
В окончательной редакции: 25 мая 2018 г.
Принята к печати: 1 декабря 2018 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2019 г.
Исследованы состав и параметры энергетических зон тонких пленок SiО2, полученных на поверхности свободной системы Si/Cu. Показано, что в отличие от пленок SiО2, созданных на поверхности толстых пленок, значение Eg для тонких пленок SiО2 составляет всего лишь ~4.1 eV. Это объясняется наличием в пленке SiО2 примесных атомов Si и нестехиометрических окислов из-за невозможности прогрева системы выше температуры 700 K.
- Landry O., Bougerol C., Renevier H., Daudin B. // Nanotechnology. 2009. Vol. 20. N 41. P. 415602
- Wang D., Zou Z.-Q. // Nanotechnology. 2009. Vol. 20. N 27. P. 275607
- Домашевская Э.П., Терехов В.А., Турищев С.Ю., Коюда Д.А., Румянцева Н.А., Першин Ю.П., Кодратенко В.В., Appathurai N. // ФТТ. 2013. Т. 55. Вып. 3. С. 577-584
- А.А. Алексеев, Д.А. Олянич, Т.В. Утас, В.Г. Котляр, А.В. Зотов, А.А. Саранин // ЖТФ. 2015. Т. 85. Вып. 10. С. 94-100
- В.М. Ротштейн, Р.Х. Ашуров, Т.К. Турдалиев, И.Х. Ашуров. // Uzbek J. Phys., 2017. N 4. C. 12
- Мурадкабилов Д.М., Ташмухамедова Д.А.,. Умирзаков Б.Е. // Поверхность. Рентген., синхротрон. и нейтрон. исследования. 2013. N 10. С. 58-62. [ Muradkabilov D.M., Tashmukhamedova D.A., Umirzakov B.E. // J. Surf. Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniq. 2013. Vol. 7. N 5. September, P. 967-971.]
- Умирзаков Б.Е., Ташмухамедова Д.А., Рузибаева М.К., Ташатов А.К., Донаев С.Б., Мавлянов Б.Б. // ЖТФ. 2013. T. 83. Вып. 9. С. 146-149. [ Umirzakov B.E., Tashmukhamedova D.A., Ruzibaeva M.K., Tashatov A.K., Donaev S.B., Mavlyanov B.B. // Technic. Physics. 2013. Vol. 58. N 9. P. 1383-1386.]
- Шаропов У.Б., Атабаев Б.Г., Джаббарганов Р., Курбанов М.К. // Поверхность. Рентген., синхротрон. и нейтрон. исследования. 2016. N 2. С. 1-5. [ Sharopov U.B., Atabaev B.G., Djabbarganov R., Kurbanov M.K. // J. Surf. Investigation: X-ray, Synchrot. and Neutron Techniq. 2016. Vol. 10. N 1. P. 250-254.]
- Исаханов З.А., Кодиров Т., Халматов А.С., Рузибаева М.К., Мухтаров З.Э., Умирзаков Б.Е. // Поверхность. Рентген., синхротрон. и нейтрон. исслед. 2017. N 1. С.100-103. [ Isakhanov Z.A., Kodirov T., Halmatov A.S., Ruzibaeva M.K., Muhtarov Z.E., Umirzakov B.E. // J. Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniq. 2017. Vol. 11. N1. P.152-154.]
- Умирзаков Б.Е., Исаханов З.А., Рузибаева М.К., Мухтаров З.Э., Халматов А.С. // ЖТФ. 2015. T. 85. Вып. 4. С. 123-125. [ Umirzakov B.E., Isakhanov Z.A., Ruzibaeva M.K., Mukhtarov Z.E., Khalmatov A.S. // Techniс. Phys. 2015. Vol. 60. N 4. P. 600-602.]
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
