Влияние неравновесных условий синтеза на структуру и оптические свойства аморфных углеродных пленок
Комитет науки МОН Республики Казахстан, Грантовое финансирование научных и научно-технических проектов, AP05131495
Рягузов А.П.1, Немкаева Р.Р.1,2, Юхновец О.И.1, Гусейнов Н.Р.1, Михайлова С.Л.3, Бекмурат Ф.3, Асембаева А.Р.1,4
1Национальная нанотехнологическая лаборатория открытого типа (ННЛОТ), Казахский национальный университет им. аль-Фараби, Алматы, Казахстан
2Лаборатория инженерного профиля, Казахский национальный университет им. аль-Фараби, Алматы, Казахстан
3Кафедра физики твердого тела и нелинейной физики, Казахский национальный университет им. аль-Фараби, Алматы, Казахстан
4Казахский национальный технический университет им. К.И. Сатпаева, Алматы, Казахстан
Email: ryaguzov_a@mail.ru
Выставление онлайн: 20 июля 2019 г.
Аморфные углеродные (a-С) тонкие пленки синтезированы неравновесным методом ионно-плазменного распыления графитовой мишени в атмосфере аргона при постоянном значении тока плазмы. Методом рамановской спектроскопии проведены исследования локальной структуры углеродных пленок. Используя нормальное распределение в разложении рамановских спектров, выявили, что при температурах синтеза менее 150oC появляется пик в области частоты 1260 сm-1, характерный для фононной плотности состояний с sp3-гибридизацией связей. Кроме этого, показано влияние размеров наноструктур из sp2-узлов на оптическую ширину запрещенной зоны и их корреляцию с результатами рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (XPS) в а-С-пленках. Ключевые слова: углеродные пленки, синтез, оптические свойства. -19
- Robertson J. // Mater. Sci. Eng. 2002. R37. P. 129
- Juan Manuel Mendez, Stephen Muhl, Contreras-Puente G., Aguilar-Hernandez J. // Thin Solid Films. 1992. V. 220. P. 125
- Equer B., Drevillon B., French I., Kallfass T. Thin Film Materials for Large Area Electronics. Elsevier Science. 1999. V. 80. 1st Edition. Hardcover, 978-0-08-043607-4
- Grierson D.S., Carpick R.W. // Nano Today. 2007. V. 2. N 5. P. 12
- Nilgun Dov gan Baydov gan // Materials Science and Engineering. 2004. B. 107. P. 70
- Wang H., Guo J.Q., Zhou Y.S. // Carbon. 2013. V. 64. P. 67
- Hevia S.A., Bejide M., Duran B., Rosenkranz A., Ruiz H.M., Favre M., del Rio R. // J. Solid State Electrochemistry. 2018. V. 22. N 9. P. 2845
- Gangopadhyay A. // Tribology Letters. 1998. V. 5. N 1. P. 25
- Shum P.W., Zhou Z.F., Li K.Y., Chan C.Y. // Thin Solid Films. 2004. V. 458. P. 203
- Yongjun Wanga, Hongxuan Lia, Li Jia, Fei Zhaoc, Qinghua Konga, Yongxia Wanga, Xiaohong Liua, Weilong Quana, Huidi Zhoua, Jianmin Chena // Surface and Coatings Technology. 2011. V. 205. N 8--9. P. 3058
- Ryaguzov A.P., Yermekov G.A., Nemkayeva R.R., Guseinov N.R., Aliaskarov R.K. // J. Mater. Res. 2016. V. 31. N 1. Р. 127
- Ferrari A.C., Robertson J. // Phil. Trans. R. Soc. Lond. A. 2004. V. 362. Р. 2477
- Casiraghi C., Piazza F., Ferrari A.C., Grambole D., Robertson J. // Diamond \& Related Materials. 2005. V. 14. Р. 1098
- Ferrari A.C. // Diamond and Related Materials. 2002. V. 11. Р. 1053
- Ferrari A.C., Robertson J. // Phys. Rev. B. 2000. V. 61 (20). Р. 14095
- Ferrari A.C., Robertson J. // Phys. Rev. B. 2001. V. 64. P. 075414
- Robertson J., O'Reilly E.P. // Phys. Rev. B. 1987. V. 35. N 6. Р. 2946
- Chhowalla M., Robertson J., Chen C.W., Silva S.R.P., Davis C.A., Amaratunga G.A.J., Milne W.I. // J. Appl. Phys. 1997. V. 81. P. 139
- Knight D.S., White W.B. // J. Mater. Res. Society. 1989. V. 4. N 2. Р. 385
- Tuinstra F., Koening J.L. // J. Chem. Phys. 1970. V. 53. Р. 1126
- Ferrari A.C., Robertson J. // Phys. Rev. B. 2001. V. 63. Р. 121405R
- Canсado L.G., Jorio A., Martins Ferreira E.H., Stavale F., Achete C.A., Capaz R.B., Moutinho M.V.O., Lombardo A., Kulmala T.S., Ferrari A.C. // Nano Lett. 2011. V. 11. Р. 3190
- Беленков Е.А., Грешняков В.А. // ФТТ. 2013. Т. 55. N 8. С. 1640; ( Belenkov E.A., Greshnyakov V.A. // Physics of the Solid State. 2013. V. 55. N 8. P. 1754.)
- Tauc J. // Prog. Semicond. 1965. V. 9. P. 89
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
