Вышедшие номера
Формирование магнитных наноструктур с помощью зонда атомно-силового микроскопа
Переводная версия: 10.1134/S1063784219110288
РФФИ, № 18-57-76001 ЭРА_а
РФФИ, № 18-29-19137_мк
Министерство образования и науки Российской Федерации, № 8.1751.2017/ПЧ
Правительство Российской Федерации , № 074-02-2018-286
Темирязев А.Г.1, Темирязева М.П.1, Здоровейщев А.В.2, Вихрова О.В. 2, Никулин Ю.В.3, Хивинцев Ю.В.3, Никитов С.А.4,5
1Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Фрязино, Россия
2Научно-исследовательский физико-технический институт Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
3Саратовский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Саратов, Россия
4Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Москва, Россия
5Московский физико-технический институт (Государственный университет), Долгопрудный, Московская обл., Россия
Email: vikhrova@nifti.unn.ru, temiryazev@gmail.com
Поступила в редакцию: 28 марта 2019 г.
В окончательной редакции: 28 марта 2019 г.
Принята к печати: 15 апреля 2019 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2019 г.

Представлены примеры использования метода импульсной силовой нанолитографии, выполняемой с помощью зонда атомно-силового микроскопа, для формирования магнитных нанопроводов, наноконтактов, одно- и двумерных решеток с характерными размерами порядка 50-100 nm. Ключевые слова: магнитные пленки, литография, наноструктуры, атомно-силовая микроскопия.