Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2019, выпуск 12 » Статья стр. 1836
<<<>>>
Разработка технологических принципов создания системы микрофокусных рентгеновских трубок на основе кремниевых автоэмиссионных нанокатодов
DOI: 10.21883/JTF.2019.12.48479.137-19
Переводная версия: 10.1134/S1063784219120053
Дюжев Н.А.1, Демин Г.Д.1, Филиппов Н.А.1, Евсиков И.Д.1, Глаголев П.Ю.1, Махиборода М.А.1, Чхало Н.И.2, Салащенко Н.Н.2, Филиппов С.В.3, Колосько А.Г.3, Попов Е.О.3, Беспалов B.A.1
1Национальный исследовательский университет "МИЭТ", Зеленоград, Москва, Россия
2Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
3Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: gddemin@edu.miet.ru
Поступила в редакцию: 28 марта 2019 г.
В окончательной редакции: 28 марта 2019 г.
Принята к печати: 15 апреля 2019 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2019 г.
PDF версия
Обсуждены технологические перспективы создания системы микрофокусных рентгеновских трубок с применением кремниевых автоэмиссионных нанокатодов. Проведен численный анализ автоэмиссионного тока с наноразмерного полупроводникового катода, регулируемого напряжением на сеточном электроде, на основе чего предложена схема управления элементами матрицы автоэмиссионных катодных узлов. Измерены вольт-амперные характеристики кремниевых автоэмиссионных нанокатодов, которые демонстрируют хорошее согласие с предполагаемыми теоретическими оценками автоэмиссионного тока. Проведен полный технологический цикл разработки элементов микрофокусных рентгеновских трубок - набора автоэмиссионных катодных узлов и набора анодных узлов. Полученные результаты могут быть использованы при создании систем микрофокусных рентгеновских трубок для нанолитографического оборудования нового поколения. Ключевые слова: автоэлектронная эмиссия, мягкое рентгеновское излучение, матрица автоэмиссионных катодных узлов, микрофокусная рентгеновская трубка, кремниевые полевые нанокатоды.
  1. Guerrera S.A., Akinwande A.I. // Nanotech. 2016. Vol. 27. P. 295302. DOI: 10.1088/0957-4484/27/29/295302
  2. Wang S.F., Chiang H.Y., Liao Y.J., Liu R.S., Cheng C.C., Yang H.W., Wang S.W., Lin Y.C., Hsu S.M. // Radiat. Phys. Chem. 2019. Vol. 158. P. 188. DOI: 10.1016/j.radphyschem.2019.02.005
  3. Demin G.D., Djuzhev N.A., Filippov N.A., Glagolev P.Yu., Evsikov I.D., Patyukov N.N. // J. Vac. Sci. Technol. B. 2019. Vol. 37. P. 022903. DOI: 10.1116/1.5068688
  4. Djuzhev N.A., Demin G.D., Gryazneva T.A., Pestov A.E., Salashchenko N.N., Chkhalo N.I., Pudonin F.A. // Lebedev Phys. Inst. 2018. Vol. 45. N 1. P. 1. DOI: 10.3103/S1068335618010013
  5. Salashchenko N.N., Chkhalo N.I., Djuzhev N.A. // J. Surf. Invest.: X-Ray, Synchrotron Neutron Tech. 2018. Vol. 10. P. 10. DOI: 10.1134/S1027451018050324
  6. Lopatin A.Ya., Par'ev D.E., Pestov A.E., Salashchenko N.N., Chkhalo N.I., Demin G.D., Dyuzhev N.A., Makhiboroda M.A., Kochetkov A.A. // JETP. 2018. Vol. 127. N 6. P. 985. DOI: 10.1134/S1063776118100175
  7. Chkhalo N.I., Salashchenko N.N. // AIP Adv. 2013. Vol. 3. P. 082130. DOI: 10.1063/1.4820354
  8. Djuzhev N.A., Demin G.D., Glagolev P.Yu., Makhiboroda M.A., Patyukov N.N. / Proc. 2018 31st International Vacuum Nanoelectronics Conference. Kyoto, Japan, 2018. P. 116. DOI: 10.1109/IVNC.2018.8520046
  9. Forbes R.G. / Proc. 2018 31st International Vacuum Nanoelectronics Conference. Kyoto, Japan, 2018. P. 126. DOi: 10.1109/IVNC.2018.8520077
  10. Tsong T.T. // Surf. Sci. 1979. Vol. 85. P. 1. DOI: 10.1016/0039-6028(79)90228-0
  11. Eimre K., Aabloo A., Djurabekova F., Zadin V. // J. Appl. Phys. 2015. Vol. 118. P. 033303. DOI: 10.1063/1.4926490
  12. Jensen K.L. Introduction to the physics of electron emission. Wiley \& Sons Ltd. 2018, 712 p
  13. Popov E.O., Kolosko A.G., Filippov S.V., Romanov P.A., Fedichkin I.L. // Mater. Today: Proc. 2018. Vol. 5. N 5. P. 13800. DOI: 10.1016/j.matpr.2018.02.021
  14. Popov E.O., Kolosko A.G., Filippov S.V., Romanov P.A., Terukov E.I., Shchegolkov A.V., Tkachev A.G. // Appl. Surf. Sci. 2017. Vol. 424. P. 239. DOI: 10.1016/j.apsusc.2017.04.120
  15. Elinson M.I. (Ed.) The cold cathodes. M.: Sov. Radio, 1974. 336 p
  16. Maldonado J.R., Peckerar M. // Microelectron. Eng. 2016. Vol. 161. P. 87. DOI: 10.1016/j.mee.2016.03.052

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme