Адаптация золь-гель технологии наноструктурированного оксида цинка для целей гибкой электроники
Аверин И.А.1, Пронин И.А.1,2, Якушова Н.Д.1, Карманов А.А.1, Алимова Е.А.3, Игошина С.Е.1, Мошников В.А.2, Теруков Е.И.2,4
1Пензенский государственный университет, Пенза, Россия
2Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
3АО "Научно-исследовательский институт электронно-механических приборов", Пенза, Россия
4Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: pronin_i90@mail.ru
Поступила в редакцию: 4 июня 2019 г.
В окончательной редакции: 4 июня 2019 г.
Принята к печати: 10 июня 2019 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2019 г.
Проанализирована возможность замены классической для золь-гель методов операции высокотемпературного отжига операцией фотоотжига с использованием излучения ультрафиолетового диапазона длин волн. Предложена методика синтеза иерархически организованных пленок оксида цинка в рамках золь-гель технологии, основанная на параллельном совмещении низкотемпературной обработки и УФ-фотоотжига. Проведены спектроскопические исследования качественного состава пленкообразующего золя и наноматериалов на его основе, полученных на различных типах подложек, до и после инициации фотохимических реакций. Ключевые слова: оксид цинка, фотоотжиг, золь-гель технология, гибкая электроника.
- Kim J., Yoo H., Ba V.A.P., Shin N., Hong S. // Sci. Reps. 2018. Vol. 8. 11958. DOI: 10.1038/s41598-018-30481-y
- Kou H., Zhang L., Tan Q., Liu G., Dong H., Zhang W., Xiong J. // Sci. Rep. 2019. Vol. 9. 3916. DOI: 10.1038/s41598-019-40828-8
- Abad E., Zampolli S., Marco S., Scorzoni A., Mazzolai B., Juarros A., Gomez D., Elmi I., Cardinali G.-C., Gomez J.M., Palacio F., Cicioni M., Mondini A., Becker T., Sayhan I. // Sensor Actuat. B-Chem. 2007. Vol. 127. P. 2--7. DOI: 10.1016/j.snb.2007.07.007
- Konvalina G., Haick H. // Acc. Chem. Res. 2014. Vol. 47. P. 66--76. DOI: 10.1021/ar400070m
- Koskela J., Sarfraz J., Ihalainen P., Maattanen A., Pulkkinen P., Tenhu H., Nieminen T., Kilpela A., Peltonen J. // Sensor Actuat. B-Chem. 2015. Vol. 218. P. 89--96. DOI: 10.1016/j.snb.2015.04.093
- Chiu S.-W., Tang K.-T. // Sensors. 2013. Vol. 13. P. 14214--14247. DOI: 10.3390/s131014214
- Briand D., Oprea A., Courbat J., B\^arsan N. // Mater. Today. 2011. Vol. 14. P. 416--423. DOI: 10.1016/S1369-7021(11)70186-9
- Yang G., Lee C., Kim J., Ren F., Pearton S.J. // Phys. Chem. Chem. Phys. 2013. Vol. P. 1798--1801. DOI: 10.1039/C2CP43717A
- Han J.-W., Kim B., Meyyappan M., Li. J // Appl. Phys. Lett. 2013. Vol. 102. P. 193104. DOI: 10.1063/1.4805025
- Parikh K., Cattanach K., Rao R., Suh D.-S., Wu A., Manohar S.K. // Sensor Actuat. B-Chem. 2006. Vol. 113. P. 55--63. DOI: 10.1016/j.snb.2005.02.021
- Lee C., Ahn J., Lee K.B., Kim D., Kim J. // Thin Solid Films. 2012. Vol. 520. P. 5459--5462. DOI: 10.1016/j.tsf.2012.03.095
- Janata J., Josowicz M. // Nat. Mater. 2003. Vol. 2. P. 19--24. DOI: 10.1038/nmat768
- Comini E. // Sensors. 2013. Vol. 13. P. 10659--10673. DOI: 10.3390/s130810659
- Kim W., Jang B., Lee H.-S., Lee W. // Sensor Actuat. B-Chem. 2016. Vol. 224. P. 547--551. DOI: 10.1016/j.snb.2015.10.092
- Пронин И.А., Канева Н.В., Божинова А.С., Аверин И.А., Папазова К.И., Димитров Д.Ц., Мошников В.А. // Кинетика и катализ. 2014. Т. 55. N 2. С. 176
- Fedorov F., Vasilkov M., Lashkov A., Varezhnikov A., Fuchs D., Kubel Ch., Bruns M., Sommer M., Sysoev V. // Sci. Rep. 2017. Vol. 7. P. 9732. DOI: 10.1038/s41598-017-10495-8
- Dimitrov D.Tz., Nikolaev N.K., Papazova K.I., Krasteva L.K., Pronin I.A., Averin I.A., Bojinova A.S., Georgieva A.Ts., Yakushova N.D., Peshkova T.V., Karmanov A.A., Kaneva N.V., Moshnikov V.A. // Appl. Surf. Sci. 2017. Vol. 392. P. 95-108. DOI: 10.1016/j.apsusc.2016.08.049
- Пронин И.А., Якушова Н.Д., Димитров Д.Ц., Крастева Л.К., Папазова К.И., Карманов А.А., Аверин И.А., Георгиева А.Ц., Мошников В.А., Теруков Е.И. // Письма в ЖТФ. 2017. Т. 43. Вып. 18. С. 11--16
- Мошников В.А., Таиров Ю.М., Хамова Т.В., Шилова О.А. Золь-гель технология микро- и нанокомпозитов. СПб: Химиздат, 2013. 304 с
- Kim Y.-H., Heo J.-S., Kim T.-H., Park S., Yoon M.-H., Kim J., Oh M.S., Yo G.-R., Noh Y.-Y., Park S.K. // Nature. 2012. Vol. 489. P. 128--133. DOI: 10.1038/nature11434
- Pronin I.A., Averin I.A., Yakushova N.D., Dimitrov D.T., Krasteva L.K., Papazova K.I., Chanachev A.S., Bojinova A.S., Georgieva A.T., Moshnikov V.A. // Sensor Actuat. A-Phys. 2014. Vol. 206. P. 88--96. DOI: 10.1016/j.sna.2013.11.035
- Крупкин Е.И., Аверин И.А., Пронин И.А., Карманов А.А., Якушова Н.Д. // Нано- и микросистемная техника. 2019. Т. 21. N 1. С. 23--34
- Gomez-Nunez A., Alonso-Gil S., Lopez C., Roura P., Vil\`a A. // J. Phys. Chem. C 2017. Vol. 121. P. 23839--23846. DOI: 10.1021/acs.jpcc.7b09935
- Аверин И.А., Карманов А.А., Мошников В.А., Пронин И.А., Игошина C.Е., Сигаев А.П., Теруков Е.И. // ФТТ. 2015. Т. 57. Вып. 12. С. 2304--2312
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
