Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2020, выпуск 1 » Статья стр. 149
<<<>>>
Удельное электросопротивление тонких углеродных пленок с различной долей sp-связей
DOI: 10.21883/JTF.2020.01.48677.453-18
Переводная версия: 10.1134/S1063784220010272
Завидовский И.А.1, Стрелецкий О.А.1, Нищак О.Ю.1, Хайдаров А.А.1, Павликов А.В. 1
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (физический факультет), Москва, Россия
Email: ilyazavid@yandex.ru, pavlikov@physics.msu.ru
Поступила в редакцию: 31 декабря 2018 г.
В окончательной редакции: 30 мая 2019 г.
Принята к печати: 30 мая 2019 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2019 г.
PDF версия
Методом ионно-плазменного импульсно-дугового распыления графита в атмосфере метана были получены углеродные пленки с различной долей sp-связей. Данные спектроскопии комбинационного рассеяния света и просвечивающей электронной микроскопии свидетельствуют о том, что с ростом концентрации метана в рабочем объеме увеличивается содержание фазы, соответствующей углеродным цепочкам с sp-гибридизацией. Электросопротивление образцов хорошо коррелирует с долей sp-гибридизованного углерода в структуре исследуемых пленок. Ключевые слова: sp-углерод, аморфный углерод, КР-спектроскопия, электронная дифракция, просвечивающая электронная микроскопия.
  1. Chhowalla M., Ferrari A. C., Robertson J., Amaratunga G.A.J. // Appl. Phys. Lett. 2000. Vol. 76. N 11. P. 1419--1421. doi: 10.1063/1.126050
  2. Zhang T.F., Deng Q.Y., Liu B., Wu B.J. // Surf. Coat. Technol. 2015. Vol. 273. P. 12--19. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2015.03.031
  3. Santra T.S., Bhattacharyya T.K., Patel P., Tseng F.G., Barik T.K. Microelectromechanical Systems and Devices. InTech. 2012. 480 p. DOI: 10.5772/29671
  4. Moers J., Trellenkamp S., Goryll M., Marso M., van der Hart A., Hogg S. et al. // Microelectronic Engineering. 2002. Vol. 64. N 1--4. P. 465--471. doi: 10.1016/s0167- 9317(02)00822-55)
  5. Grill A. // Thin Solid Films. 1999. Vol. 355--356. P. 189--193. https://doi.org/10.1016/S0040- 6090(99)00516-7
  6. Allen M.T., Shtanko O., Fulga I.C., Akhmerov A., Watanabi K., Taniguchi T., Jarillo-Herrero P., Levitov L.S., Yacoby A. // Nat. Phys. 2016. Vol. 12. P. 128--133. doi: 10.1038/nphys3534
  7. Banszerus L., Schmitz M., Engels S., Goldsche M., Watanabe K., Taniguchi T. et al. // Nano Lett. 2016. Vol. 16. N 2. P. 1387--1391. doi: 10.1021/acs.nanolett.5b04840
  8. Casari C.S., Milani A. // MRS Communications. 2018. Vol. 8. N 02. P. 207--219. doi: 10.1557/mrc.2018.48
  9. Cretu O., Botello-Mendez A.R., Janowska I., Pham-Huu C., Charlier J.-C., Banhart F. // Nano Letters. 2013. Vol. 13. N 8. P. 3487--3493. doi: 10.1021/nl4018918
  10. Ben Romdhane F., Adjizian J.-J., Charlier J.-C., Banhart F. // Carbon. 2017. Vol. 122. P. 92--97. doi: 10.1016/j.carbon.2017.06.039
  11. Liu Y., Meletis E. // J. Mater. Sci. 1997. Vol. 32. P. 3491--3495. https://doi.org/10.1023/A:1018641304944
  12. Бабаев В., Гусева М., Новиков Н., Савченко Н., Хвостов В. // Нанотехнологии: разработка, применение. 2010. Т. 2. N 1. С. 88--94
  13. Chien J.C.W. Polyacetylene. Chemistry, Physics, and Material Science. Orlando, Florida: Academic Press, 1984. 648 p
  14. Enkelmann V. // Advanc. Polymer Sci. 1984. P. 91--136. doi: 10.1007/bfb0017652
  15. Ferrari A., Robertson J. // Phil. Trans. R. Soc. Lond. A. 2004. Vol. 362. P. 2477--2512. DOI: 10.1098/rsta.2004.1452
  16. Pimenta M.A., Dresselhaus G., Dresselhaus M.S., Can cado L.G., Jorio A., Saito R. // Phys. Chem. Chem. Phys. 2007. Vol. 9. N 11. P. 1276--1290. doi: 10.1039/b613962k
  17. Shchegolikhin A., Lazareva O. // Biomolecular Spectroscopy. 1997. Vol. 53. P. 67--79. doi: 10.1016/s1386-1425(97)83010-7
  18. Shi L., Rohringer P., Suenaga K. // Nature Materials. 2016. P. 634--640. DOI: 10.1038
  19. Milani A., Lucotti A., Russo V. // J. Phys. Chem. C. 2011. Vol. 115. P. 12836--12843. DOI: 10.1021/jp203682c
  20. Lucotti A., Tommasini M., Del Zoppo M. // Chem. Phys. Lett. 2006. Vol. 417. P. 78--82. https://doi.org/10.1016/j.cplett.2005.10.016
  21. Teke A., Ozgur U., Dov gan S., Gu X., Morkoc H., Nemeth B., Nause J., Everitt H.O. // Phys. Rev. B. 2004. Vol. 70. P. 195207. DOI: 10.1103/PhysRevB.70.195207
  22. Blanks D.K., Bicknell R.N., GilesTaylor N.C., Schetzina J.F., Petrou A., Warnock J. // J. Vacuum Sci. Technol. 1986. A 4. P. 2120. http://avs.scitation.org/doi/10.1116/1.574040
  23. Tsukada N., Kikuta T., Ishida K. // Phys. Rev. 1986. Vol. 3. N 12. P. 8859--8862
  24. Goasa K., Grzeszczyk M., Leszczynski P., Faugeras C., Nicolet A.A.L., Wysmo ek A., Potemski M., Babinski A. // Appl. Phys. Lett. 2014. Vol. 104. P. 092106. http://aip.scitation.org/doi/abs/10.1063/1.4867502
  25. Manasreh M.O., Covington B.C. // Phys. Rev. B. 1987. Vol. 35. N 5. https://journals.aps.org/prb/abstract/10.1103/ Phys.Rev.B.35.2524
  26. Collins A.T., Lawson S.C., Davies G., Kanda H. // Phys. Rev. Lett. 1990. Vol. 65. N 7. P. 891--894. doi:10.1103/physrevlett.65.891
  27. Watanabe H., Hayashi K., Takeuchi D., Yamanaka S., Okushi H., Kajimura K., Sekiguchi T. Appl. Phys. Lett. 1998. Vol. 73. N 7. P. 981--983. doi: 10.1063/1.122059
  28. Weima J.A., Zaitsev A.M., Job R., Kosaca G.C., Blum F., Grabosch G., Knopp J. // IECON'99. Conf. Proc. 25th Annual Conf. of the IEEE Industrial Electronics Society (Cat. N 99CH37029). doi: 10.1109/iecon.1999.822170
  29. Bazhenov A.V., Kveder V.V., Maksimov A.A., Tartakovskii I.I., Oganyan R.A., Ossipyan Y.A., Shalynin A.I. // J. Experiment. Theoret. Phys. 1998. Vol. 86. N 5. P. 1030--1034. doi: 10.1134/1.558550
  30. Brazhkin V.V., Lyapin A.G., Popova S.V. // JETP Lett. 2002. Vol. 76. N 11. P. 681--692. https://doi.org/10.1134/1.1545583
  31. Ravagnan L., Piseri P., Bruzzi M., Miglio S., Bongiorno G., Baserga A. // Phys. Rev. Lett. 2007. Vol. 98. N 21. doi: 10.1103/physrevlett.98.216103
  32. Mansano R.D., Massi M., Verdonck P., Nogueira P.M. // Superficies y Vaci o. 1999. Vol. 9. P. 111--114.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme