Вышедшие номера
Структурные свойства углеродных пленок, полученных методом ионно-стимулированного импульсно-плазменного осаждения в атмосфере азота
Переводная версия: 10.1134/S1063784220030263
Завидовский И.А.1, Стрелецкий О.А.1, Нищак О.Ю.1, Савченко Н.Ф.1, Дворяк С.В.1, Павликов А.В. 1
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Email: ilyazavid@yandex.ru, pavlikov@physics.msu.ru
Поступила в редакцию: 5 июня 2019 г.
Выставление онлайн: 18 февраля 2020 г.

Углеродные пленки, полученные методом импульсно-плазменного ионно-стимулированного распыления графита в атмосфере смеси аргона и азота, были исследованы при помощи КР-спектроскопии, электронной дифракции и РФЭС. Согласно полученным данным, азот эффективно встраивается в структуру материала, что приводит к формированию ориентированных графитовых нанокластеров, доля которых растет с увеличением энергии стимуляции. Ключевые слова: аморфный углерод, тонкие пленки, ионная стимуляция, КР-спектроскопия, рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия.