Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2020, выпуск 3 » Статья стр. 489
<<<>>>
Структурные свойства углеродных пленок, полученных методом ионно-стимулированного импульсно-плазменного осаждения в атмосфере азота
DOI: 10.21883/JTF.2020.03.48937.232-19
Переводная версия: 10.1134/S1063784220030263
Завидовский И.А.1, Стрелецкий О.А.1, Нищак О.Ю.1, Савченко Н.Ф.1, Дворяк С.В.1, Павликов А.В. 1
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Email: ilyazavid@yandex.ru, pavlikov@physics.msu.ru
Поступила в редакцию: 5 июня 2019 г.
Выставление онлайн: 18 февраля 2020 г.
PDF версия
Углеродные пленки, полученные методом импульсно-плазменного ионно-стимулированного распыления графита в атмосфере смеси аргона и азота, были исследованы при помощи КР-спектроскопии, электронной дифракции и РФЭС. Согласно полученным данным, азот эффективно встраивается в структуру материала, что приводит к формированию ориентированных графитовых нанокластеров, доля которых растет с увеличением энергии стимуляции. Ключевые слова: аморфный углерод, тонкие пленки, ионная стимуляция, КР-спектроскопия, рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия.
  1. Chu P.K., Li L. // Mater. Chem. Phys. 2006. Vol. 96. N 2-3. P. 253
  2. Casiraghi C., Robertson J., Ferrari A.C. // Mater. Today. 2007. Vol. 10. N 1-2. P. 44
  3. Amaratunga G.A.J., Silva S.R.P. // Appl. Phys. Lett. 1996. Vol. 68. N 18. P. 2529
  4. Poplavsky A.I., Kolpakov A.Y., Kudriavtsev Y., Asomoza R., Goncharov I.Yu., Galkina M.E., Manokhin S.S., Kharchenko V.A. // Vacuum. 2018. Vol. 152. P. 193
  5. Ray S.C., Mukherjee D., Sarma S., Bhattacharya G., Mathur A., Roy S.S., Mc Laughlin J.A. // Diamond Relat. Mater. 2017. Vol. 80. P. 59
  6. Silva S.R.P., Robertson J., Amaratunga G.A.J., Rafferty B., Brown L.M. // J. Appl. Phys. 1997. Vol. 81. N 6. P. 2626
  7. Yamamoto S., Kawana A., Ichimura H., Masuda C. // Surf. Coat. Technol. 2012. Vol. 210. P. 1
  8. Tsuchiya M., Murakami K., Magara K., Nakamura K., Ohashi H., Tokuda K., Takami T., Ogasawara H., Enta Y., Suzuki Y., Ando S., Nakazawa H. // Jpn. J. Appl. Phys. 2016. Vol. 55. N 6. P. 065502
  9. Seker Z., Ozdamar H., Esen M., Esen R., Kavak H. // Appl. Surf. Sci. 2014. Vol. 314. P. 46
  10. Hu J., Tian Q., Wan P., Chen B., Tian X., Gong C., Golosov D.A. // Diamond and Related Mater. 2019. Vol. 98. P. 107479
  11. Streletskiy O.A., Zavidovskiy I.A., Nischak O.Y., Pavlikov A.V. // Thin Solid Films. 2018. Vol. 671. P. 31
  12. Poplavsky A.I., Kolpakov A.Y., Kudriavtsev Y. et al. // Vacuum. 2018. Vol. 152. P. 193
  13. Volosova M. // Key Engineer. Mater. 2016. Vol. 723. P. 262
  14. Corbella C., Portal S., Zolotukhin D.B., Martinez L.G., Lin L., Kundrapu M., Keidar M. // Plasma Sources Sci. Technol. 2019. Vol. 28. P. 4
  15. Kolpakov A.Y., Poplavsky A.I., Galkina M.E., Sudzhanskaya I.V., Goncharov I.Yu., Druchinina O.A., Strigunov N.V., Kharchenko V.A., Merchansky O.Yu. // Nanotechnol. Russia. 2010. Vol. 5. N 3-4. P. 160-164
  16. Ferrari A., Robertson J. // Phil. Trans. R. Soc. Lond. 2004. A. Vol. 362. P. 2477
  17. Mominuzzaman S.M., Krishna K.M., Soga T., Jimbo T., Umeno M. // Carbon. 2000. Vol. 38. N 1. P. 127
  18. Ogwu A., Lamberton R., Morley S., Maguire P., Mc Laughlin J. // Physica B: Condensed Matter. 1999. Vol. 269. N 3-4. P. 335
  19. Wang Q., Wang C., Wang Z., Zhang J., He D. // Appl. Phys. Lett. 2007. Vol. 91. N 14. P. 141902
  20. Voevodin A.A., Jones J.G., Zabinski J.S., Czigany Z., Hultman L. // J. Appl. Phys. 2002. Vol. 92. N 9. P. 4980
  21. Neidhardt J., Hultman L., Czigany Z. // Carbon. 2004. Vol. 42. P. 2729
  22. Moafi A., Partridge J.G., Sadek A.Z., Mc Culloch D.G. // J. Mater. Chem. A. 2012. Vol. 1. N 2. P. 402. DOI: 10.1039/c2ta00198e
  23. Shiell T.B., McCulloch D.G., Bradby J.E., Haberl B., Boehler R., Mc Kenzie D. R. // Scientific Reports. 2016. Vol. 6. P. 37232
  24. Jiang X., Zhang W.J., Klages C.-P. // Phys. Rev. B. 1998. Vol. 58. N 11. P. 7064
  25. Zhang L., Tong S., Zhang L., Tong S., Liu H., Li Y., Wang Z. // Mater. Lett. 2016. Vol. 171. P. 304. // Mater. Lett. 2016. Vol. 171. P. 304
  26. Cuomo J.J., Rossnagel S.M., Kaufman H.R. Handbook of Ion Beam Processing Technology: Principles, Deposition, Film Modification and Synthesis, Noyes Publications, Westwood, New Jersey, USA. 1989. P. 175-176
  27. Chattopadhyay S., Chen L.C., Wu C.T., Chen K.H., Wu J.S., Chen Y.F., Lehmann J., Hess. P. // Appl. Phys. Lett. 2001. Vol. 79. N 3. P. 332. DOI:10.1063/1.1386619
  28. Seah M.P. // Vacuum. 1984. Vol. 34. N 3-4. P. 463
  29. Li X., Yang S., Wu X. // J. Univer. Sci. Technol. Beijing, Mineral, Metallurgy, Mater. 2006. Vol. 13. N 3. P. 272
  30. Sivkov A., Pak A., Shanenkov I., Kolganova J., Shatrova K. // IOP Conference Series: Materials Science and Engineering. 2014. Vol. 66. P. 012001
  31. Бржезинская М.М., Байтингер Е.М., Смирнов А.Б. // ФТТ. 2006. Vol. 48. P. 5
  32. Logothetidis S. // Diamond Related Mater. 2003. Vol. 12. N 2. P. 141
  33. Calliari L., Fanchenko S., Filippi M. // Carbon. 2007. Vol. 45. N 7. P. 1410
  34. Leiro J.A., Heinonen M.H., Laiho T., Batirev I.G. // J. Electron. Spectr. Related Phenomena. 2003. Vol. 128. P. 205
  35. Ostling D., Apell P., Rosen A. // EPL (Europhys. Lett.) 1992. Vol. 21. P. 5
  36. Filippi M., Calliari L. // Surf. Interf. Anal. 2006. Vol. 38. N 4. P. 595

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme