Влияние имплантации ионов Ba+ на состав и электронные свойства пленок MoO3/Mo (111)
Умирзаков Б.Е.1, Ташмухамедова Д.А.1, Гулямова С.Т.1, Аллаярова Г.Х.1
1Ташкентский государственный технический университет им. И.А. Каримова, Ташкент, Узбекистан
Email: ftmet@mail.ru
Поступила в редакцию: 11 октября 2019 г.
В окончательной редакции: 11 октября 2019 г.
Принята к печати: 11 ноября 2019 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2020 г.
Представленные данные показывают, что при имплантации MoO3 ионами Ba+ в ионно-легированном слое формируется пленка, состоящая из соединений типа Mo-O, Mo-Ba-O и Ba-O. Это приводит к резкому изменению плотности состояния валентных электронов, уменьшению работы выхода eφ до 2.7 eV, уменьшению ширины запрещенной зоны Eg в ~1.5 раза и увеличению максимального значения коэффициента вторичной электронной эмиссии sigmam в 1.5 раза. Установлено, что эмиссионная эффективность вторичных электронов приповерхностного слоя чистого Mo заметно больше, чем эмиссионная эффективность ионно-имплантированных слоев Mo. Поэтому увеличение sigmam после ионной имплантации в основном объясняется уменьшением eφ поверхности. При прогреве ионно-имплантированного MoO3 до 900 K значение eφ уменьшается до 2 eV, а значение sigmam увеличивается до T=1000 K. Ключевые слова: ионная имплантация, эмиссионная эффективность, прогрев, термоэлектронная работа выхода, ширина запрещенной зоны, фотоэлектроны.
- Бугерко Л.Н., Борисова Н.В., Суровая В.Э., Еремеева Г.О. // Ползуновский вестник. Общая и теоретическая химия. 2013. N 1. С. 77-82. 8.510 http://elib.altstu.ru/journals/Files/pv2013\_01/pdf/077bugerko.pdf
- Андреев В.Н., Никитин С.Е., Климов В.А., Козырев С.В., Лещев Д.В., Штельмах К.Ф. // ФТТ. 2001. Т. 43. Вып. 4. С. 755-758. http://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/38146
- Yao J.N., Yang Y.A., Loo B.H. // J. Phys. Chem. B. 1998. Vol. 102. P. 1856-1860. https://doi.org/10.1021/jp972217u
- Суровой Э.П., Бугерко Л.Н., Борисова Н.В., Суровая В.Э., Рамазанова Г.О. // ЖФХ. 2013. Т. 87. N 12. С. 2105-2109. https://elibrary.ru/item.asp?id=20398941 [ Surovoi E.P., Borisova N.V., Bugerko L.N., Surovaya V.E., Ramazanova G.O. // Russ. J. Phys. Chem. A. 2013. Vol. 87. N 12. P. 2063-2067.]
- Maosong Tong, Guorui Dai, Yuanda Wu, Xiuli He, Dingsan Gao // J. Mater. Sci. 2001. Vol. 36. P. 2535-2538. 8.510 https://link.springer.com/article/10.1023/A%3A1017950619864
- Driscoll T., Kim H.-T., Chae B.-G., Di Ventra M., Basov D.N. // Appl. Phys. Lett. 2009. Vol. 95. N 4. P. 043503. https://doi.org/10.1063/1.3187531
- Xie R., Bui C.T., Varghese B., Zhang Q., Sow C.H., Li B., Thong J.T.L. // Adv. Funct. Mater. 2011. Vol. 21. P. 1602-1607. https://doi.org/10.1002/adfm.201002436
- Малиненко В.П., Пергамент А.Л., Горбаков А.О. // Ученые записки Петрозаводского гос. ун-та. Физико-математические науки. 2014. N 2. С. 100-106. http://uchzap.petrsu.ru/files/n139.pdf
- Гаврилюк А.И., Секушин Н.А. Электрохромизм и фотохромизм в оксидах вольфрама и молибдена. Л.: Наука, 1990. 100 с
- Ковивчак В.С., Панова Т.В. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2016. N 12. С. 41-45. DOI: 10.7868/S0207352816100115 [ Kovivchak V.S., Panova T.V. J. Surf. Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques. 2016. Vol. 10. N 10. P. 1226-1230. DOI: 10.1134/S1027451016050311]
- Ковивчак В.С., Панова Т.В. Воздействие мощного ионного пучка на поликристаллические оксиды металлов // 11-я Mеждунар. конф. "Взаимодействие излучений с твердым телом". 23-25 сентября 2015. Минск. Беларусь. С. 302-304
- Аллаярова Г.Х., Содикжанов Ж.Ш., Ёркулов Р.М., Хужаниязова А.У., Ташмухамедова Д.А. Влияние имплантации ионов Ba+ на состав и электронные свойства Mo и MoO3 Тезисы докладов XLIX Mеждунар. Тулиновской конф. по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами. 29-31 мая 2019. М. С. 39
- Умирзаков Б.Е., Ташмухамедова Д.А., Турсунов М.А., Эргашов Ё.С., Аллаярова Г.Х. // ЖТФ. 2019. Т. 89. Вып. 7. C. 1121-1123. DOI: 10.21883/JTF.2019.07.47809.4-19 [ Umirzakov B.E., Tashmukhamedova D.A., Tursunov M.A., Ergashov Y.S., Allayarova G.K. // Tech. Phys. 2019. Vol. 64. N 7. P. 1051-1054. DOI: 10.1134/S1063784219070260]
- Donaev S.B., Djurabekova F., Tashmukhamedova D.A., Umirzakov B.E. // Phys. Stat. Solid. (C). 2015. Vol. 12. N 1-2. P. 89-93. DOI 10.1002/pssc.201400156
- Юсупжанова М.Б., Ташмухамедова Д.А., Умирзаков Б.Е. // ЖТФ. 2016. Т. 86. Вып. 4. C. 148-150. [ Yusupjanova M.B., Tashmukhamedova D.A., Umirzakov B.E. // Tech. Phys. 2016. Vol. 61. N 4. P. 628-630. DOI: 10.1134/S1063784216040253]
- Адамчук В.К., Федосеенко С.И. // Изв. АН СССР. Сер. физ. 1979. Т. 43. N 3. С. 523.
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.