Журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Зависимость энергетического распределения распыленных атомов от закона межатомного взаимодействия
Переводная версия: 10.1134/S1063784220060262 
1Российский новый университет, Москва, Россия 
2Universita della Calabria, Cosenza, Italia
2Universita della Calabria, Cosenza, Italia
Email: tolmachev.alex@rambler.ru, forlano@vegachess.com
Поступила в редакцию: 11 октября 2019 г.
В окончательной редакции: 11 октября 2019 г.
Принята к печати: 9 января 2019 г.
Выставление онлайн: 24 марта 2020 г.
Проведен расчет энергетического распределения атомов, распыленных при бомбардировке твердого тела ионами. Теоретическое рассмотрение основано на решении системы двух уравнений переноса методом дискретных потоков. Показано, что при малых энергиях распыленных атомов их энергетическое распределение описывается универсальной формулой, содержащей единственную постоянную. Значение постоянной увеличивается с ростом массы ионов и уменьшается при переходе от резерфордовского взаимодействия к взаимодействию по закону твердых сфер. Ключевые слова: ионная бомбардировка, распыление, теоретический анализ, сечение рассеяния, энергетическое распределение.
- Борисов A.М., Машкова Е.С. Физические основы ионно-лучевых технологий. II. Распыление поверхности твердых тел. М.: МАКС Пресс, 2013. 196 с
- Behrish R., Eckstein W. (editors). Sputtering by Particle Bombardment. Berlin, Springer, 2007. 470 p
- Sigmund P. // Phys. Rev. 1969. Vol. 184. N 2. P. 383-416
- Waldeer K.T., Urbassek H.M. // Appl. Phys. 1988. Vol. A 45. N 3. P. 207-215
- Tolmachev A.I. // Nucl. Instr. Methods. 1994. Vol. B 93. N 4. P. 415-420
- Барат А.А., Манухин В.В. // ЖТФ. 2009. Т. 79. Вып. 2. С. 117-124. [ Barat A.A., Manukhin V.V. // Tech. Phys. 2009. Vol. 54. N 2. P. 281-288.]
- Roosendaal H.E., Sanders J.B. // Radiation Effects. 1980. Vol. 52. P. 137-144
- Leibfried G., Oen O.S. // J. Appl. Phys. 1962. Vol. 33. N 7. P. 2257-2262
- Eckstein W. Computer Simulation of Ion-Solid Interactions. Berlin, Springer, 1991. Chapter 4
- Толмачев А.И., Форлано Л. // ЖТФ. 2018. Т. 88. Вып. 10. С. 1502-1505. [ Tolmachev A.I., Forlano L. // Tech. Phys. 2018. Vol. 63. N 10. P. 1455-1458.]
- Chandrasekhar S. Radiative Transfer. Oxford, Clarendon Press, 1950. 393 p
- Толмачев А.И. // Известия АН СССР. Серия физическая. 1990. Т. 54. Вып. 7. С. 1247-1249. [ Tolmachev A.I. // Bulletin of the Academy of Sciences of the USSR. Physical Series. 1990. Vol. 54. N 7. P. 13-15.]
- Толмачев А.И., Форлано Л. // Поверхность. 2020. Вып. 5. С. 89--92
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
