Квантовый выход кремниевого лавинного фотодиода в диапазоне длин волн 120-170 nm
Аруев П.Н.1, Белик В.П.1, Забродский В.В.1, Круглов Е.М.1, Николаев А.В.1, Сахаров В.И.1, Серенков И.Т.1, Филимонов В.В.1, Шерстнев Е.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: sildet@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 5 февраля 2020 г.
В окончательной редакции: 11 марта 2020 г.
Принята к печати: 11 марта 2020 г.
Выставление онлайн: 21 апреля 2020 г.
Разработан кремниевый лавинный фотодиод для регистрации вакуумного ультрафиолета. Проведено исследование внешнего квантового выхода кремниевого лавинного фотодиода в диапазоне длин волн 120-170 nm. Показано, что лавинный фотодиод обладает внешним квантовым выходом 24-150 electron/photon при напряжении обратного смещения 230-345 V соответственно. Тестирование разработанного лавинного фотодиода импульсной засветкой на длинах волн 280 и 340 nm продемонстрировало быстродействие, соответствующее полосе пропускания не меньше 25 MHz. Ключевые слова: лавинный фотодиод, вакуумный ультрафиолет, кремний.
- Korde R., Cable J.S., Canfield L.R. // IEEE Trans. Nucl. Sci. 1993. Vol. 40. P. 1655--1659
- Canfield L.R., Vest R.E., Korde R., Schmidtke H. Desor R. // Metrologia. 1998. Vol. 35. P. 329--334
- Scholze F., Klein R., Muller R. // Metrologia. 2006. Vol. 43. S6--S10
- Sladkomedova A.D., Alekseev A.G., Bakharev N.N., Gusev V.K., Khromov N.A., Kurskiev G.S., Minaev V.B., Patrov M.I., Petrov Yu.V., Sakharov N.V., Shchegolev P.B., Solokha V.V., Telnova A.Yu., Tolstyakov S.Yu., Zabrodsky V.V. // Rev. Sci. Instrum. 2018. Vol. 89. P. 083509-1--083509-9
- Kolodinski S., Werner J.H., Wittchen T., Queisser H.J. // Appl. Phys. Lett. 1993. Vol. 63. P. 2405--2407
- Palik E.D. (Ed.). Handbooks of Optical Constants of Solids, Vol. I: Academ. Press, USA, 1998
- Zabrodskii V., Aruev P., Belik V., Ber B., Filimomov V., Kholupenko E., Kirilenko D., Krassilchtchikov A., Nikolaev A., Sherstnev E., Vasil'ev A. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Section A. 2015. Vol. 787. P. 348--352
- Забродский В.В., Белик В.П., Аруев П.Н., Бер Б.Я., Бобашев С.В., Петренко М.В., Суханов В.Л. // Письма в ЖТФ. 2012. Т. 38. Вып. 17. С. 69--77. [ Zabrodsky V.V., Belik V.P., Aruev P.N., Ber B.Y., Bobashev S.V., Petrenko M.V., Sukhanov V.L. // Tech. Phys. Lett. 2012. Vol. 38. N 9. P. 812--815.]
- Zabrodsky V.V., Aruev P.N., Filimonov V.V., Sobolev N.A., Sherstnev E.V., Belik V.P., Nikolenko A.D., Ivlyushkin D.V., Pindyurin V.F., Shadrin N.S., Soldatov A.E., Mashkovtsev M.R. // Proc. SPIE. 2013. Vol. 8777. id. 8777R
- Забродский В.В., Аруев П.Н., Бер Б.Я., Казанцев Д.Ю., Горохов А.Н., Николаев А.В., Филимонов В.В., Шварц М.З., Шерстнев Е.В. // Письма в ЖТФ. 2019. Т. 45. Вып. 24. С. 10--13. [ Zabrodskii V.V., Aruev P.N., Ber B.Y., Kazantsev D.Y., Gorokhov A.N., Nikolaev A.V., Filimonov V.V., Shvarts M.Z., Sherstnev E.V. // Tech. Phys. Lett. 2019. Vol. 45. N 12 P. 1226--1229.]
- Гольдберг Ю.А., Забродский В.В., Оболенский О.И., Петелина Т.В., Суханов В.Л. // ФТП. 1999. Т. 33. Вып. 3. С. 344--345. [ Goldberg Yu.A., Zabrodsky V.V., Obolensky O.I., Petelina, T.V., Suhanov V.L. // Semiconductors. 1999. Vol. 33. N 3. P. 343--344.]
- Gottwald A., Kroth U., Richter M., Schoppe H., Ulm G. // Meas. Sci. Technol. 2010. Vol. 21. P. 125101
- Lux T., Freitas E.D.C., Amaro F.D., Ballester O., Jover-Manas G.V., Marti n C., Monteiro C.M.B., Sanchez F., Rico J. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A. 2012. Vol. 685. P. 11--15
- Solovov V.N., Hitachi A., Chepel V., Lopes M.I., Marques R.F. Policarpo A.J.P.L. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A. 2002. Vol. 488. N 3. P. 572--578
- Chandrasekharan R., Messina M., Rubbia A. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A. 2006. Vol. 567. N 1. P. 45--47.
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.