Перспективы использования рентгеновских трубок с автоэмиссионным катодом и "прострельным" анодом в диапазоне мягкого рентгеновского излучения
Российского фонда фундаментальных исследований (РФФИ), 18-07-00633
Российского фонда фундаментальных исследований (РФФИ), 18-02-00173
Российского фонда фундаментальных исследований (РФФИ), 18-42-520007
Российского фонда фундаментальных исследований (РФФИ), 19-07-00173
Барышева М.М.1,2, Зуев С.Ю.1, Лопатин А.Я.1, Лучин В.И.1, Пестов А.Е.1, Салащенко Н.Н.1, Цыбин Н.Н.1, Чхало Н.И.
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
2Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Email: aepestov@ipm.sci-nnov.ru
Поступила в редакцию: 28 апреля 2020 г.
В окончательной редакции: 28 апреля 2020 г.
Принята к печати: 28 апреля 2020 г.
Выставление онлайн: 15 июля 2020 г.
Использование автоэмиссионных катодов в конструкциях рентгеновских трубок требует размещения катодного узла с малым зазором от анода, а это затрудняет вывод излучения. Наибольшие сложности возникают при генерации относительно мягкого спектра с длинами волн 1-10 nm: в этом случае ускоряющее напряжение не превышает нескольких kV, а межэлектродный зазор - нескольких сотен μm. В работе экспериментально продемонстрированы возможности применения субмикронных пленок на основе бериллия как "прострельных" анодов для генерации линии Be Kalpha (λ=11.4 nm) и сопутствующего тормозного спектра. В частности, зарегистрировано характеристическое излучение трубки с автоэмиссионным лезвийным катодом и пленочным Be-анодом, установленной в схему решеточного спектрометра скользящего падения. Определены характеристики бериллиевых пленок, необходимые при проектировании рентгеновских трубок такого типа с большей выходной мощностью. Ключевые слова: автоэмиссия, рентгеновская трубка, тонкопленочная мишень.
- The Center for X-Ray Optics [Электронный ресурс] URL: http://cxro.lbl.gov/
- Бибишкин М.С., Пестов А.Е., Лопатин А.Я., Чхало Н.И. // Тез. докл. VIII Нижегородской сессии молодых ученых. (Естественнонаучные дисциплины). Нижний Новгород, Россия, 2003. С. 22
- Бибишкин М.С., Забродин И.Г., Зуев С.Ю., Клюенков Е.Б., Пестов А.Е., Салащенко Н.Н., Чехонадских Д.П., Чхало Н.И. // Микросистемная техника. 2004. N 11. С. 34-40
- Chkhalo N.I., Drozdov M.N., Gusev S.A., Kluenkov E.B., Lopatin A.Ya., Luchin V.I., Salashchenko N.N., Shmaenok L.A., Tsybin N.N., Volodin B.A. // Proc. SPIE. 2011. Vol. 8076. Р. 80760O-1-80760O-11
- Дюжев Н.А., Демин Г.Д., Филиппов Н.А., Евсиков И.Д., Глаголев П.Ю., Махиборода М.А., Чхало Н.И., Салащенко Н.Н., Филиппов С.В., Колосько А.Г., Попов Е.О., Беспалов B.A. // ЖТФ. 2019. Т. 89. Вып. 12. С. 1836
- Chkhalo N., Zabrodin I., Kas'kov I., Kluenkov E., Pestov A., Salashchenko N. // Proc. Int. Conf. "Micro- and nanoelectronics - 2007". Moscow-Zvenigorod, Russia, 2007. P. 1-03
- Casnati E., Tartari A., Baraldi C. // J. Phys. B: At. Mol. Phys. 1982. Vol. 15. N 1. P. 155
- Maihom T., Sukuba I., Janev R., Becker K., Mark T., Kaiser A., Limtrakul J., Urban J., Mach P., Probst M. // Eur. Phys. J. D. 2013. Vol. 67. N 2
- Лопатин А.Я., Парьев Д.Е., Пестов А.Е., Салащенко Н.Н., Чхало Н.И., Дёмин Г.Д., Дюжев Н.А., Махиборода М.А., Кочетков А.А. // ЖЭТФ. 2018. Т. 154. Вып. 6 (12). С. 1067-1076
- Chkhalo N.I., Drozdov M.N., Kluenkov E.B., Lopatin A.Ya., Luchin V.I., Salashchenko N.N., Tsybin N.N., Sjmaenok L.A., Banine V.E., Yakunin A.M. // J. Micro-Nanolith. Mem. 2012. Vol. 11. N 2. 021115. DOI: 10.1117/1.JMM.11.2.021115
- Chkhalo N.I., Kluenkov E.B., Lopatin A.Ya., Luchin V.I., Salashchenko N.N., Sjmaenok L.A., Tsybin N.N. // Thin Solid Films. 2017. Vol. 631. P. 93-98. DOI: 10.1016/j.tsf.2017.04.015
- Chkhalo N.I., Kuzin S.V., Lopatin A.Ya., Luchin V.I., Salashchenko N.N., Zuev S.Yu., Tsybin N.N. // Thin Solid Films. 2018. Vol. 653. P. 359-364
- Svechnikov M., Chkhalo N., Lopatin A., Pleshkov R., Polkovnikov V., Salashchenko N., Schafers F., Sertsu M.G., Sokolov A., Tsybin N. // J. Synchrotron Radiat. 2020. Vol. 27. P. 75-82. DOI: 10.1107/S1600577519014188
- Migliori A., Ledbetter H., Thoma D.J., Darling T.W. // J. Appl. Phys. 2004. Vol. 95. N 5. P. 2436-2440. DOI: 10.1063/1.1644633
- Pinto N.P. Beryllium Science and Technology / Ed. by D.R. Floyd, J.N. Lowe. NY.: Plenum, 1979. Vol. 2. P. 319-350
- Chkhalo N.I., Lopatin A.Ya., Pestov A.E., Salashchenko N.N., Demin G.D., Dyuzhev N.A., Makhiboroda M.A. // Proc. SPIE. 2019. Vol. 11022. 110221M. DOI: 10.1117/12.2522105
- Aita O., Sagawa T. // J. Phys. Soc. Jpn. 1969. Vol. 27. N 1. P. 164-175
- Аруев П.Н., Барышева М.М., Бер Б.Я., Забродская Н.В., Забродский В.В., Лопатин А.Я., Пестов А.Е., Петренко М.В., Полковников В.Н., Салащенко Н.Н., Суханов В.Л., Чхало Н.И. // Квант. электрон. 2012. Т. 42. N 10. С. 943-948
- Бибишкин М.С., Забродин И.Г., Каськов И.А., Клюенков Е.Б., Пестов А.Е., Салащенко Н.Н., Чехонадских Д.П., Чхало Н.И., Шмаенок Л.А. // Изв. РАН. Сер. физ. 2004. Т. 68. N 4. С. 560-564
- Jin-Woo Jeong et al. // Nanotechnology. 2013. Vol. 24. P. 085201
- Basu A., Swanwick M.E., Fomani A.A. et al. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2015. Vol. 48. P. 225501
- Дюжев Н.А., Махиборода М.А., Преображенский Р.Ю., Демин Г.Д., Гусев Е.Э., Дедкова А.А. // Поверхность. 2017. N 4. С. 64-70
- [Электронный ресурс] URL: www.evex.com
- The MA-Table software [Электронный ресурс] URL: http://microanalyst.mikroanalytik.de/software.phtml
- Electron Beam Scattering Modeling [Электронный ресурс] URL: http://montecarlomodeling.mcgill.ca/
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
