Сглаживающий эффект Si-слоев в многослойных зеркалах Be/Al для спектрального диапазона 17-31 nm
Плешков Р.С.1, Зуев С.Ю.1, Полковников В.Н.1, Салащенко Н.Н.1, Свечников М.В.1, Чхало Н.И.1, Jonnard P.2
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
2Laboratoire de Chimie Physique --- Mati`ere et Rayonnement, UPMC Univ Paris 06/CNRS UMR Paris, France
Поступила в редакцию: 16 апреля 2020 г.
В окончательной редакции: 16 апреля 2020 г.
Принята к печати: 16 апреля 2020 г.
Выставление онлайн: 15 июля 2020 г.
Представлены результаты исследования сглаживающего эффекта тонких пленок Si, примененных в качестве буферных слоев в многослойных зеркалах Be/Al, оптимизированных для работы на длинах волн больше 17.1 nm. Исследованы многослойные зеркала околонормального (угол скольжения 88o) и скользящего падения (угол скольжения 33.5o). Показано, что эффект наблюдался для многослойных зеркал Be/Si/Al с периодами, по крайней мере, до 29 nm. Для зеркал нормального падения, оптимизированных на длину волны 17.14 nm, получен рекордный пиковый коэффициент отражения 62.5% при спектральной селективности λ/Deltaλ=59. Исследована временная стабильность данных зеркал. Ключевые слова: рентгеновское излучение, многослойные зеркала, магнетронное распыление, сглаживающий барьерный слой.
- Shestov S.V., Ulyanov A.S., Vishnyakov E.A., Kuzin S.V., Pertsov A.A. // Proc. SPIE. 2014. Vol. 9144. P. 91443G. DOI: 10.1117/12.2055946
- Кузин С.В., Богачев С.А., Перцов А.А., Шестов С.В., Рева А.А., Ульянов А.С. // Изв. РАН. Серия физическая. 2011. Т. 75. N 1. С. 91--94
- Wang D., Zuin L. // J. Power Sources. 2017. Vol. 337. P. 100--109
- O'Shaughnessy C., Henderson G.S., Moulton B.J.A., Zuin L., Neuville D.R. // J. Synchrotron Radiat. 2018. Vol. 25. P. 543--551
- Заверткин П.С., Ивлюшкин Д.В., Машковцев М.Р., Николенко А.Д., Сутормина С.А., Чхало Н.И. // Автометрия. 2019. Т. 55. N 2. С. 5--13
- Ахсахалян А.А., Вайнер Ю.А., Гарахин C.А., Елина К.А., Заверткин П.С., Зуев С.Ю., Ивлюшкин Д.В., Нечай А.Н., Николенко А.Д., Парьев Д.Е., Плешков Р.С., Полковников В.Н., Салащенко Н.Н., Свечников М.В., Чхало Н.И. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед. 2019. N 1. С. 14--20
- Электронный ресурс. Режим доступа: http://henke.lbl.gov/optical\_constants/
- Chkhalo N.I., Pariev D.E., Polkovnikov V.N., Salashchenko N.N., Shaposhnikov R.A., Stroulea I.L., Svechnikov M.V., Vainer Yu.A., Zuev S.Yu. // Thin Solid Films. 2017. Vol. 631. P. 106--111
- Полковников В.Н., Салащенко Н.Н., Свечников М.В., Чхало Н.И. // УФН. 2020. Т. 190. С. 92--106
- Гарахин С.А., Забродин И.Г., Зуев С.Ю., Каськов И.А., Лопатин А.Я., Нечай А.Н., Полковников В.Н., Салащенко Н.Н., Цыбин Н.Н., Чхало Н.И., Свечников М.В. // Квант. электрон. 2017. Т. 47. N 4. С. 385--392
- Schafers F., Bischoff P., Eggenstein F., Erko A., Gaupp A., Kunstner S., Mast M., Schmidt J.-S., Senf F., Siewert F., Sokolov A., Zeschke T. // J. Synchrotron Radiat. 2016. Vol. 23. P. 67--77
- Sokolov A., Bischoff P., Eggenstein F., Erko A., Gaupp A., Kunstner S., Mast M., Schmidt J.- S., Senf F., Siewert F., Zeschke Th., Scha fers F. // Rev. Sci. Instrum. 2016. Vol. 87. P. 052005
- Svechnikov M. // J. Appl. Crystallogr. 2020. Vol. 53. N 1. P. 253--261
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
