Журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Компактный ускоритель ионов для ионно-лучевых технологий
Переводная версия: 10.1134/S1063784221010023 
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), Проекты фундаментальных научных исследований, 19-05-00554
Белых С.Ф.1, Беккерман А.Д.2, Богуславский Д.А.3, Толстогузов А.Б.
4,5,6
1Московский авиационный институт (Национальный исследовательский университет), Москва, Россия 
2Shhulich Faculty of Chemistry, Technion --- Israel Institute of Technology, Haifa Haifa, Israel
3IB Labs Inc., 137 West End Ave, Brooklyn, NY New York, USA
4Centre for Physics and Technological Research, Universidade Nova de Lisboa, Caparica, Portugal
5Рязанский государственный радиотехнический университет, Рязань, Россия
6School of Physics and Technology, Wuhan University, Wuhan, China
2Shhulich Faculty of Chemistry, Technion --- Israel Institute of Technology, Haifa Haifa, Israel
3IB Labs Inc., 137 West End Ave, Brooklyn, NY New York, USA
4Centre for Physics and Technological Research, Universidade Nova de Lisboa, Caparica, Portugal
5Рязанский государственный радиотехнический университет, Рязань, Россия
6School of Physics and Technology, Wuhan University, Wuhan, China
Email: serolg@rambler.ru, chranato@technion.ac.il, dboguslavsky@ibeamlabs.com, a.tolstoguzov@fct.unl.pt
Поступила в редакцию: 9 мая 2020 г.
В окончательной редакции: 30 июня 2020 г.
Принята к печати: 30 июня 2020 г.
Выставление онлайн: 11 сентября 2020 г.
Предложены пути разработки и конструирования простого в изготовлении и компактного ускорителя положительных ионов металлов с разной кратностью заряда в диапазоне энергий 1-500 keV. Такой ускоритель будет пригоден для проведения исследований и прикладных работ в области передовых ионно-лучевых технологий. Компьютерное моделирование траекторий движения ионных пучков в ускорителе с использованием программного кода SIMION 8.0 подтвердило перспективность предлагаемого подхода. Ключевые слова: ускорители, многозарядные ионы, имплантация, ионно-лучевые технологии, компьютерное моделирование, переходные и редкоземельные металлы.
- E. Rimini. Ion Implantation: Basics to Device Fabrication (Kluwer Academic Publ., Boston, 1995)
- Ф.Ф. Комаров, А.П. Новиков, А.Ф. Буренков. Ионная имплантация (Унiверсiтэцкае, Минск, 1994)
- S. Bernal. A Practical Introduction to Beam Physics and Particle Accelerators (Morgan \& Claypool Publ., Bristol, 2016)
- А.П. Черняев. Ускорители в современном мире (Изд. МГУ, М., 2012)
- R.N. Evtukhov, S.F. Belykh, I.V. Redina. Rev. Sci. Instrum., 63 (4), 2463 (1992)
- S.F. Belykh, R.N. Evtukhov, I.V. Redina, V.Kh. Ferleger. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 95 (3), 300 (1995)
- С.Ф. Белых, Р.Н. Евтухов, Л.В. Луткова, Ю.Н. Лысенко, У.Х. Расулев, И.В. Редина. ЖТФ, 62 (6), 179 (1992)
- С.Ф. Белых, А.Б. Толстогузов, А.Д. Беккерман, Т.В. Богданова. Письма в ЖЭТФ, 109 (8), 511 (2019). [S.F. Belykh, A.B. Tolstoguzov, A.D. Bekkerman, T.V. Bogdanova. JETP Lett., 109 (8), 502 (2019).]
- А.Г. Кочур. Соросовский образовательный журнал, 6 (12), 94 (2000)
- J.A. Bearden, A.F. Burr. Rev. Mod. Phys., 39 (1), 125 (1967)
- M. Cardona, L. Ley (Eds.) Photoemission in Solids I: General Principles (Springer-Verlag, Berlin, 1978)
- D.A. Dahl. Simion 3D V. 8.0. User Manual. Idaho National Engineering and Environmental Laboratory, USA (2000) https://simion.com/
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
