Профильный анализ пленок ферритов-гранатов методом оптической эмиссионной спектроскопии тлеющего разряда
Russian Science Foundation,, "Н1 - Transition to advanced digital, intelligent manufacturing technologies, robotic systems, new materials and design methods, creation of large-volume processing systems data, machine learning and artificial intelligence ”, Agreement No. 19-72-20154
Федоренко А.А.
1, Бержанский В.Н.
1, Каравайников А.В.
1, Шапошников А.Н.
1, Прокопов А.Р.
11Крымский федеральный университет им. В.И. Вернадского, Симферополь, Россия
Email: v.n.berzhansky@gmail.com, a.karavainikov@cfuv.ru, shalex53@gmail.com, a.prokopov@cfuv.ru.
Поступила в редакцию: 24 мая 2020 г.
В окончательной редакции: 19 августа 2020 г.
Принята к печати: 21 августа 2020 г.
Выставление онлайн: 11 октября 2020 г.
Представлены результаты экспериментов по применению метода оптической эмиссионной спектроскопии тлеющего разряда для профильного анализа вакуумно-осажденных одно- и двуслойных пленок многокомпонентных ферритов-гранатов различного состава до и после кристаллизационного отжига. Выявлено наличие внутренних и внешних переходных слоев, и исследована модификация их элементного состава при кристаллизации и различной последовательности синтеза отдельных компонент в феррит-гранатовых гетероструктурах. Ключевые слова: оптическая эмиссионная спектроскопия тлеющего разряда, профильный анализ, пленки ферритов-гранатов.
- T. Nelis, R. Payling. Glow Discharge Optical Emission Spectroscopy: A Practical Guide (Royal Society of Chemistry, Cambridge, 2003). DOI: 10.1039/9781847550989
- A. Bengtson. Spectrochim. Acta, 49B (4), 411 (1994). DOI: 10.1016/0584-8547(94)80034-0
- М. Нехин, А. Кузнецов, П. Шапон. Аналитика, 5 (4), 34 (2012)
- Ф.В. Кирюханцев-Корнеев. Известия вузов. Порошковая металлургия и функциональные покрытия, 2, 60 (2013). DOI: 10.17073/1997-308X-2013-2-60-70
- J.M. Long. Proc. of the 10th Asia-Pacific-Conf. on Non-Destructive Testing (Brisbane, Australia, 2001) http://www.ndt.net/article/apcndt01/
- D.V. Shtansky, A.V. Bondarev, Ph.V. Kiryukhantsev-Korneev, A.N. Sheveyko, Yu.S. Pogozhev. Surf. Coat. Technol., 206, 2506 (2012). DOI: 10.1016/j.surfcoat.2011.10.057
- E. Levashov, M. Petrzhik, M. Tyurina, F. Kiryukhantsev-Korneev, P. Tsygankov, A. Rogachev. Metallurgist, 54 (9-10), 623 (2011). DOI: 10.1007/s11015-011-9350-5
- R. Grieseler, T. Kups, M. Wilke, M. Hopfeld, P. Schaaf. Mater. Lett., 82, 74 (2012). DOI: 10.1016/j.matlet.2012.05.055
- T. Polcar, R. Martinez, T. Vi tu-4pt^o, L. Kopecky, R. Rodriguez, A. Cavaleiro. Surf. Coat. Technol., 203, 3254 (2009). DOI: 10.1016/j.surfcoat.2009.04.005
- S. Fouvry, B. Wendler, T. Liskiewicz, M. Dudek, L. Kolodziejczyk. Wear, 257 (7-8), 641 (2004). DOI: 10.1016/j.wear.2004.02.009
- T. Nelis, J. Pallosi. Appl. Spectrosc. Rev., 41 (3), 227 (2006). DOI: 10.1080/05704920600620345
- R. Escobar Galindo, E. Fornii s, J.M. Albella. J. Anal. At. Spectrom., 20, 1108 (2005). DOI: 10.1039/B502771C
- M. Wilkeac, G. Teicherta, R. Gemmab, A. Pundtb, R. Kirchheimb, H. Romanusc, P. Schaafac. Thin Solid Films, 520 (5), 1660 (2011). DOI: 10.1016/j.tsf.2011.07.058
- H. Habazaki, M. Uemura, K. Fushimi, E. Tsuji, Y. Aoki, S. Nagata. J. Surf. Finish. Soc. Jpn., 66 (12), 670 (2015). DOI: 10.4139/sfj.66.670
- А.Е. Кудряшов, Е.И. Замулаева, Е.А. Левашов, Ф.В. Кирюханцев-Корнеев, А.Н. Шевейко, Н.В. Швындина. Электронная обработка материалов, 55 (2), 10 (2019). DOI: 10.5281/zenodo.2629552
- K. Shimizu, H. Habazaki, P. Skeldon, G.E. Thompson. Surf. Interface Anal., 29 (12), 887 (2000). DOI: 10.1002/1096-9918(200012)29:12<887::AID-SIA942>3.0.CO;2-X
- K. Shimizu, H. Habazaki, P. Skeldon, G.E. Thompson, G.C. Wood. Surf. Interface Anal., 29 (2), 151 (2000). DOI: 10.1002/(SICI)1096-9918(200002)29:2<151::AID-SIA 728>3.0.CO;2-V
- K. Shimizu, R. Payling, H. Habazaki, P. Skeldon, G.E. Thompson. J. Anal. At. Spectrom., 19, 692 (2004). DOI: 10.1039/B400918P
- B. Ferna ndez, N. Bordel, R. Pereiro, A. Sanz-Medel. J. Anal. At. Spectrom., 18, 151 (2003). DOI: 10.1039/B211422D
- P. Le Coustumer, M. Motelica-Heino, P. Chapon, H. Francois Saint-Cyr, R. Payling. Surf. Interface Anal., 35 (7), 623 (2003). DOI: 10.1002/sia.1584
- V.-D. Hodoroaba, W.E.S. Unger, H. Jenett, V. Hoffmann, B. Hagenhoff, S. Kayser, K. Wetzig. Appl. Surf. Sci., 179 (1-4), 30 (2001). DOI: 10.1016/S0169-4332(01)00259-8
- S. Suzuki, K. Kakita. J. Surf. Anal., 12 (2), 174 (2005)
- V.N. Berzhansky, T.V. Mikhailova, A.V. Karavainikov, A.R. Prokopov, A.N. Shaposhnikov, I.N. Lukienko, Yu.N. Kharchenko, O.V. Miloslavskaya, N.F. Kharchenko. J. Magn. Soc. Jpn., 36 (1-2), 42 (2012). DOI: 10.3379/msjmag.1108M006
- E.Yu. Semuk, V.N. Berzhansky, A.R. Prokopov, A.N. Shaposhnikov, A.V. Karavainikov, O.Yu. Salyuk, V.O. Golub. J. Magn. Magn. Mater., 394, 92 (2015). DOI: 10.1016/j.jmmm.2015.06.047
- A.N. Shaposhnikov, A.V. Karavainikov, A.R. Prokopov, V.N. Berzhansky, O.Y. Salyuk. Mater. Res. Bull., 47, 1407 (2012). DOI: 10.1016/j.materresbull.2012.02.049
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.