Исследование характеристик сверхрешетки InGaAs/InAlGaAs для вертикально-излучающих лазеров спектрального диапазона 1300 nm
Блохин С.А.
1, Бабичев А.В.
2, Гладышев А.Г.
2, Карачинский Л.Я.
1,2,3, Новиков И.И.
1,2,3, Блохин А.А.
1, Бобров М.А.
1, Малеев H.А.
1, Кузьменков А.Г.
4, Надточий А.М.
5, Неведомский В.Н.
6, Андрюшкин В.В.
2, Рочас С.С.
2, Денисов Д.В.
7, Воропаев К.О.
8, Жумаева И.О.
8, Устинов В.М.
4, Егоров А.Ю.
3, Бугров В.Е.
21Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Университет ИТМО, Санкт-Петербург, Россия
3ООО "Коннектор Оптикс", Санкт-Петербург, Россия
4Научно-технологический центр микроэлектроники и субмикронных гетероструктур Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
5Национальный исследовательский университет "Высшая школа экономики", Санкт-Петербург, Россия
6Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, ЦКП "Материаловедение и диагностика в передовых технологиях", Санкт-Петербург, Россия
7Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
8АО «ОКБ-Планета», Великий Новгород, Россия
Email: blokh@mail.ioffe.ru, a.babichev@mail.ioffe.ru, leonid.karachinsky@connector-optics.com, Innokenty.Novikov@connector-optics.com, bloalex91@yandex.ru, bobrov.mikh@gmail.com, Maleev@beam.ioffe.ru, kuzmenkov@mail.ioffe.ru, anadtochiy@hse.ru, nevedom@mail.ioffe.ru, vvandriushkin@itmo.ru, stanislav_rochas@itmo.ru, dmitry.denisov@connector-optics.com, voropaevko@okbplaneta.ru, ZhumaevaIO@okbplaneta.ru, anton@beam.ioffe.ru, vladislav.bougrov@niuitmo.ru
Поступила в редакцию: 19 августа 2021 г.
В окончательной редакции: 2 сентября 2021 г.
Принята к печати: 3 сентября 2021 г.
Выставление онлайн: 2 октября 2021 г.
Методами рентгеноструктурного анализа и спектроскопии фотолюминесценции проведены исследования выращенных методом молекулярно-пучковой эпитаксии гетероструктур на основе сверхрешетки InGaAs/InAlGaAs для активных областей лазеров спектрального диапазона 1300 nm. Показано, что созданные гетероструктуры обладают высоким кристаллическим совершенством. Величина рассогласования средней постоянной кристаллической решетки сверхрешетки InGaAs/InAlGaAs относительно постоянной кристаллической решетки подложки InP оценена на уровне ~+0.01%. Анализ спектров фотолюминесценции позволил сделать вывод о том, что в исследованном диапазоне уровней накачки вклад оже-рекомбинации несущественен. Исследования вертикально-излучающих лазеров с активной областью на основе сверхрешетки InGaAs/InAlGaAs позволили для стандартной логарифмической аппроксимации зависимости усиления от плотности тока накачки оценить параметр усиления на уровне 650 cm-1. При умеренных температурах (20-60oC) плотность тока прозрачности лазеров лежит в диапазоне 400-630 A/cm2, что сопоставимо с опубликованными результатами для активных областей на основе InAlGaAs-InP КЯ и сильнонапряженных квантовых ям InGaAsN-GaAs спектрального диапазона 1300 nm. Ключевые слова: сверхрешетка, вертикально-излучающий лазер, оптическое усиление.
- M.V.R. Murty, J. Wang, A.L. Harren, A.-N. Cheng, D.W. Dolfi, Z.-W. Feng, A. Sridhara, S.T. Joyo, J. Chu, L.M. Giovane. IEEE Photonics Technol. Lett., 33 (16), 812 (2021). DOI: 10.1109/lpt.2021.3069146
- Z. Ruan, Y. Zhu, P. Chen, Y. Shi, S. He, X. Cai, L. Liu. J. Lightwave Technol., 38 (18), 5100 2020. DOI:10.1109/jlt.2020.2999526
- M. G ebski, D. Dontsova, N. Haghighi, K. Nunna, R. Yanka, A. Johnson, R. Pelzel, J.A. Lott. OSA Continuum, 3 (7), 1952 (2020). DOI: 10.1364/osac.396242
- VCSELs: Fundamentals, Technology and Applications of Vertical-Cavity Surface-Emitting Lasers. Springer Series in Optical Sciences, ed. R. Michalzik (Springer, Berlin, Heidelberg, 2013) DOI: 10.1007/978-3-642-24986-0
- J. Minch, S.H. Park, T. Keating, S.L. Chuang. IEEE J. Quant. Electron., 35 (5), 771 (1999). DOI: 10.1109/3.760325
- J.C.L. Yong, J.M. Rorison, I.H. White. IEEE J. Quant. Electron., 38 (12), 1553 (2002). DOI: 10.1109/jqe.2002.805100
- Y.-K. Kuo, S.-H. Yen, M.-W. Yao, M.-L. Chen, B.-T. Liou. Opt. Commun., 275 (1), 156 (2007). DOI: 10.1016/j.optcom.2007.02.025
- M. Muller, C. Grasse, M.C. Amann. In Proc. 2012 14th International Conference on Transparent Optical Networks (ICTON) (IEEE, Coventry, UK, 2012) DOI: 10.1109/icton.2012.6254394
- S. Spiga, M.C. Amann. "High-Speed InP-Based Long-Wavelength VCSELs," Green Photonics and Electronics, ed. G. Eisenstein, D. Bimberg. (Springer, Cham, 2017), p. 17-35. DOI: 10.1007/978-3-319-67002-7\_2
- C. Grasse, M. Mueller, T. Gruendl, G. Boehm, E. Roenneberg, P. Wiecha, J. Rosskopf, M. Ortsiefer, R. Meyer, M.-C. Amann. J. Cryst. Growth, 370, 217 (2013). DOI: 10.1016/j.jcrysgro.2012.06.051
- Е.С. Колодезный, С.С. Рочас, А.С. Курочкин, А.В. Бабичев, И.И. Новиков, А.Г. Гладышев, Л.Я. Карачинский, Д.В. Денисов, Ю.К. Бобрецова, А.А. Климов, С.А. Блохин, К.О. Воропаев, А.С. Ионов. Опт и спектр., 125 (2), 229 (2018). DOI: 10.21883/JTF.2021.12.51767.240-21 [E.S. Kolodeznyi, S.S. Rochas, A.S. Kurochkin, A.V. Babichev, I.I. Novikov, A.G. Gladyshev, L.Y. Karachinskii, D.V. Denisov, Y.K. Bobretsova, A.A. Klimov, S.A. Blokhin, K.O. Voropaev, A.S. Ionov. Opt. Spectr., 125 (2), 238 (2018). DOI: 10.1134/s0030400x18080143]
- M. Muller, P. Debernardi, C. Grasse, T. Grundl, M.-C. Amann. IEEE Photonics Technol. Lett., 25 (2), 140 (2013). DOI: 10.1109/lpt.2012.2229975
- J. Faist, F. Capasso, D.L. Sivco, C. Sirtori, A.L. Hutchinson, A.Y. Cho. Science, 264 (5158), 553 (1994). DOI: 10.1126/science.264.5158.553
- Л.Я. Карачинский, И.И. Новиков, А.В. Бабичев, А.Г. Гладышев, Е.С. Колодезный, С.С. Рочас, А.С. Курочкин, Ю.К. Бобрецова, А.А. Климов, Д.В. Денисов, К.О. Воропаев, А.С. Ионов, В.Е. Бугров, А.Ю. Егоров. Опт. и спектр., 127 (6), 963 (2019). DOI: 10.21883/OS.2019.12.48693.124-19 [L.Y. Karachinsky, I.I. Novikov, A.V. Babichev, A.G. Gladyshev, E.S. Kolodeznyi, S.S. Rochas, A.S. Kurochkin, Y.K. Bobretsova, A.A. Klimov, D.V. Denisov, K.O. Voropaev, A.S. Ionov, V.E. Bougrov, A.Y. Egorov. Opt. Spectr., 127 (6), 1053 (2019). DOI: 10.1134/s0030400x19120099]
- C.A. Wang, B. Schwarz, D.F. Siriani, L.J. Missaggia, M.K. Connors, T.S. Mansuripur, D.R. Calawa, D. McNulty, M. Nickerson, J.P. Donnelly, K. Creedon, F. Capasso. IEEE J. Sel. Top. Quant. Electron., 23 (6), 1 (2017). DOI: 10.1109/jstqe.2017.2677899
- B. Schwarz, C.A. Wang, L. Missaggia, T.S. Mansuripur, P. Chevalier, M.K. Connors, D. McNulty, J. Cederberg, G. Strasser, F. Capasso. ACS Photonics, 4 (5), 1225 (2017). DOI: 10.1021/acsphotonics.7b00133
- С.С. Рочас, И.И. Новиков, А.Г. Гладышев, Е.С. Колодезный, А.В. Бабичев, В.В. Андрюшкин, В.Н. Неведомский, Д.В. Денисов, Л.Я. Карачинский, А.Ю. Егоров, В. Бугров. Письма в ЖТФ, 46 (22), 27 (2020). DOI: 10.21883/pjtf.2020.22.50304.18421 [S.S. Rochas, I.I. Novikov, A.G. Gladyshev, E.S. Kolodeznyi, A.V. Babichev, V.V. Andryushkin, V.N. Nevedomskii, D.V. Denisov, L.Ya. Karachinsky, A.Yu. Egorov, V.E. Bougrov. Tech. Phys. Lett., 46 (11), 1128 (2020). DOI: 10.1134/S1063785020110267]
- G.M. Yang, M.H. MacDugal, V. Pudikov, P.D. Dapkus. IEEE Photon. Technol. Lett., 7 (11), 1228 (1995). DOI: 10.1109/68.473454
- С.А. Блохин, В.Н. Неведомский, М.А.Бобров, Н.А. Малеев, А.А. Блохин, А.Г. Кузьменков, А.П. Васильев, С.С. Рочас, А.В. Бабичев, А.Г. Гладышев, И.И. Новиков, Л.Я. Карачинский, Д.В. Денисов, К.O. Воропаев, А.С. Ионов, А.Ю.Егоров, В.М. Устинов. ФТП, 54 (10), 1088 (2020). [S.A. Blokhin, S.N. Nevedomsky, M.A. Bobrov, N.A. Maleev, A.A. Blokhin, A.G. Kuzmenkov, A.P. Vasyl'ev, S.S. Rohas, A.V. Babichev, A.G. Gladyshev, I.I. Novikov, L.Ya. Karachinsky, D.V. Denisov, K.O. Voropaev, A.S. Ionov, A.Yu. Egorov, V.M. Ustinov. Semiconductors, 54, 1276 (2020). DOI: 10.1134/S1063782620100048]
- S. Blokhin, A. Babichev, A. Gladyshev, L. Karachinsky, I.Novikov, A. Blokhin, S. Rochas, D. Denisov, K. Voropaev, A. Ionov, N. Ledentsov, A. Egorov. Electron. Lett., (just accepted) (2021). DOI: 10.1049/ell2.12232
- D. Pierscinska, P. Gutowski, G. Ha das, A. Kolek, I. Sankowska, J. Grzonka, J. Mizera, K. Pier sinski, M. Bugajski. Semicond. Sci. Technol., 33 (3), 035006 (2018). DOI: 10.1088/1361-6641/aaa91a
- N. Volet, Optical Mode Control in Long-Wavelength Vertical-Cavity Surface-Emitting Lasers. (Diss. Ph. D. thesis, 2014), DOI: 10.5075/epfl-thesis-6064
- A.V. Babichev, L.Y. Karachinsky, I.I. Novikov, A.G. Gladyshev, S.A. Blokhin, S. Mikhailov, V. Iakovlev, A. Sirbu, G. Stepniak, L. Chorchos, J.P. Turkiewicz, K.O. Voropaev, A.S. Ionov, M. Agustin, N.N. Ledentsov, A.Y. Egorov. IEEE J. Quant. Electron., 53 (6), 1 (2017). DOI: 10.1109/jqe.2017.2752700
- S. Spiga, D. Schoke, A. Andrejew, G. Boehm, M.-C. Amann. J. Lightwave Technol., 35 (15), 3130 (2017). DOI: 10.1109/jlt.2017.2660444
- I. Sankowska, P. Gutowski, A. Jasik, K. Czuba, J. Dabrowski, M. Bugajski. J. Appl. Crystallogr., 50 (5), 1376 (2017). DOI: 10.1107/s1600576717011815
- G. Capuzzo, D. Kysylychyn, R. Adhikari, T. Li, B. Faina, A. Tarazaga Marti n-Luengo, A. Bonanni. Sci. Rep., 7 (1), 42697 (2017). DOI: 10.1038/srep42697
- I.B. Karomi, A.T. Zakar, M.S. Al-Ghamdi. IOP Conf. Ser.: Mater. Sci. Eng., 1126 (1), 012004 (2021). DOI: 10.1088/1757-899x/1126/1/012004
- Y. Huang, Z. Pan, R. Wu. J. Appl. Phys., 79 (8), 3827 (1996). DOI: 10.1063/1.361809
- G.R. Hadley. Opt. Lett., 20 (13), 1483 (1995). DOI: 10.1364/OL.20.001483
- D. Ellafi, V. Iakovlev, A. Sirbu, G. Suruceanu, Z. Mickovic, A. Caliman, A. Mereuta, E. Kapon. IEEE J. Sel. Top. Quant. Electron., 21 (6), 414 (2015). DOI: 10.1109/jstqe.2015.2412495
- С.А. Блохин, М.А. Бобров, А.А. Блохин, А.Г. Кузьменков, А.П. Васильев, Н.А. Малеев, С.С. Рочас, А.Г. Гладышев, А.В. Бабичев, И.И. Новиков, Л.Я. Карачинский, Д.В. Денисов, К.O. Воропаев, А.С. Ионов, А.Ю. Егоров, В.М. Устинов. Письма в ЖТФ, 46 (24), 49 (2020). [S.A. Blokhin, M.A. Bobrov, A.A. Blokhin, A.P. Vasil'ev, A.G. Kuz'menkov, N.A. Maleev, S.S. Rochas, A.G. Gladyshev, A.V. Babichev, I.I. Novikov, L.Ya. Karachinsky, D.V. Denisov, K.O. Voropaev, A.S. Ionov, A.Yu. Egorov, V.M. Ustinov. Tech. Phys. Lett. 46, 1257 (2020). DOI: 10.1134/S1063785020120172]
- J. Bengtsson, J. Gustavsson, Angstrem Haglund, A. Larsson, A. Bachmann, K. Kashani-Shirazi, M.-C. Amann. Opt. Express, 16 (25), 20789 (2008)
- С.А. Блохин, М.А. Бобров, А.А. Блохин, А.Г. Кузьменков, Н.А. Малеев, В.М. Устинов, Е.С. Колодезный, С.С. Рочас, А.В. Бабичев, И.И. Новиков, А.Г. Гладышев, Л.Я. Карачинский, Д.В. Денисов, К.О. Воропаев, А.С. Ионов, А.Ю. Егоров. Опт. и спектр., 127 (1), 145 (2019). [S.A. Blokhin, M.A. Bobrov, A.A. Blokhin, A.G. Kuzmenkov, N.A. Maleev, V.M. Ustinov, E.S. Kolodeznyi, S.S. Rochas, A.V. Babichev, I.I. Novikov, A.G. Gladyshev, L.Ya. Karachinsky, D.V. Denisov, K.O. Voropaev, A.S. Ionov, A.Yu. Egorov. Opt. Spectr. 127 (1), 140 (2019). DOI: 10.1134/S0030400X1907004X]
- S. Adachi. J. Appl. Phys. 66 (12), 6030 (1989). DOI: 10.1063/1.343580
- S. Gehrsitz, F.K. Reinhart, C. Gourgon, N. Herres, A. Vonlanthen, H. Sigg. J. Appl. Phys., 87 (11), 7825 (2000). DOI: 10.1063/1.373462
- T.A. DeTemple, C.M. Herzinger. IEEE J. Quant. Electron., 29 (5), 1246 (1993). DOI: 10.1109/3.236138
- T. Higashi, T. Yamamoto, S. Ogita, M. Kobayashi. IEEE J. Sel. Topics Quant. Electron., 3 (2), 513 (1997). DOI: 10.1109/islc.1996.553742
- N. Tansu, Y.-L. Chang, T. Takeuchi, D.P. Bour, S.W. Corzine, M.R.T. Tan, L.J. Mawst. IEEE J. Quant. Electron., 38 (6), 640 (2002). DOI: 10.1109/jqe.2002.1005415
- T. Kageyama, T. Miyamoto, S. Makino, Y. Ikenaga, F. Koyama, K. Iga. IEICE Trans. Electron., E85- C(1), 71 (2002). DOI: 10.7567/ssdm.1999.le-1-1
- J. Piprek, Y.A. Akulova, D.I. Babic, L.A. Coldren, J.E. Bowers. Appl. Phys. Lett., 72 (15), 1814 (1998). DOI: 10.1063/1.121318
- S. Mogg, N. Chitica, U. Christiansson, R. Schatz, P. Sundgren, C. Asplund, M. Hammar. IEEE J. Quant. Electron., 40 (5), 453 (2004). DOI: 10.1109/jqe.2004.826421
- H. Riechert, A. Ramakrishnan, G. Steine. Semicond. Sci. Technol., 17 (8), 892--897 (2002). DOI: 10.1088/0268-1242/17/8/318
- H. Shimizu, K. Kumada, N. Yamanaka, N. Iwai, T. Mukaihara, A. Kasukawa. IEEE J. Quant. Electron., 36 (6), 728 (2000). DOI: 10.1109/3.845730
- M. Rosenzweig, M. Mohrle, H. Duser, H. Venghaus. IEEE J. Quant. Electron., 27 (6), 1804 (1991). DOI: 10.1109/3.90008
- N. Tansu, J.-Y. Yeh, L.J. Mawst. IEEE J. Sel. Topics Quant. Electron., 9 (5), 1220 (2003). DOI: 10.1109/jstqe.2003.820911
- C.Y. Liu, S.F. Yoon, W.J. Fan, J.W.R. Teo, S. Yuan. Opt. Express, 13 (22), 9045 (2005). DOI: 10.1364/opex.13.009045
- H. Wada, K. Takemasa, T. Munakata, M. Kobayashi, T. Kamijoh. IEEE J. Sel. Topics Quantum Electron., 5 (3), 420--427 (1999). DOI: 10.1109/2944.788400
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.