Вышедшие номера
Влияние осаждения атомов Ba и имплантации ионов Ba+ на электронную структуру монокристаллического Ge
Ташмухамедова Д.А.1, Умирзаков Б.Е.1, Эргашов Ё.С.1, Юсупжанова М.Б.1, Ёркулов Р.М.1
1Ташкентский государственный технический университет им. И.А. Каримова, Ташкент, Узбекистан
Email: ftmet@mail.ru
Поступила в редакцию: 5 августа 2021 г.
В окончательной редакции: 24 декабря 2021 г.
Принята к печати: 27 декабря 2021 г.
Выставление онлайн: 14 февраля 2022 г.

Впервые исследовано влияние осаждения атомов Ba с толщиной theta≤3-4 монослоя и имплантации ионов Ba+ с энергией E0=0.5-2 keV на плотность состояний электронов валентной зоны, параметров энергетических зон, эмиссионных и оптических свойств Ge(111). Показано, что при осаждении атомов Ba с theta=1 монослой значение термоэлектронной работы выхода φ уменьшается на ~ 1.9 eV, а значение коэффициента вторичной электронной эмиссии sigmam и квантового выхода фотоэлектронов Y увеличивается в 1.5-2 раза. В случае имплантации ионов Ba+ с E0=0.5 keV при дозе облучения D=6·1016 cm-2 плотность состояния валентных электронов и параметры энергетических зон резко изменяются; квантовый выход фотоэлектронов увеличивается в 2 и более раз. Наблюдаемые изменения объясняются формированием на поверхности тонкого (~25-30 Angstrem) аморфного легированного слоя, состоящего из наноразмерных фаз типа Ba-Ge (~60-65 at.%) и избыточных (несвязанных) атомов Ba и Ge. При этом происходит уменьшение ширины запрещенной зоны Eg на ~ 0.3 eV. Ключевые слова: ионная имплантация, квантовый выход фотоэлектронов, эмиссионная эффективность, прогрев, ширина запрещенной зоны, аморфный слой.