Журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Зависимость коэффициента распыления от угла падения ионов на поверхность мишени
Переводная версия: 10.21883/TP.2022.05.53670.2-22 
1Российский новый университет, Москва, Россия 
2Университет Калабрии, Козенца, Италия
2Университет Калабрии, Козенца, Италия
Email: tolmachev.alex@rambler.ru
Поступила в редакцию: 4 января 2022 г.
В окончательной редакции: 27 февраля 2022 г.
Принята к печати: 27 февраля 2022 г.
Выставление онлайн: 22 марта 2022 г.
Исследована зависимость коэффициента распыления от угла падения ионов на поверхность твердого тела. Диапазон углов падения менялся от 0o (нормальное падение) до 90o (предельное скользящее падение). Компьютерное моделирование выполнялось с помощью программы PAOLA. Теоретический анализ основан на численном решении интегрального уравнения Чандрасекара. Полученные результаты сопоставлены с результатами других авторов. Ключевые слова: распыление под действием ионной бомбардировки, наклонное падение, коэффициент распыления, компьютерное моделирование, теоретический анализ.
- W. Eckstein. Computer Simulation of Ion-Solid Interactions (Springer, Berlin, 1991)
- Sputtering by Particle Bombardment, ed. by R. Behrish, W. Eckstein (Springer, Berlin, 2007)
- J.F. Ziegler. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B 136-138, 141 (1998)
- V.I. Shulga. Appl. Surf. Sci., 439, 456 (2018). https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2018.01.039
- А.И. Толмачев, Л. Форлано. ЖТФ, 88 (10), 1502 (2018). DOI: 10.21883/JTF.2022.05.52369.2-22 [A.I. Tolmachev, L. Forlano. Tech. Phys., 63 (6), 1455 (2018). DOI: 10.1134/S1063784218100225]
- P. Sigmund. Phys. Rev., 184 (2), 383 (1969)
- J.B. Sanders, H.E. Roosendaal. Radiation Effects, 24, 161 (1975)
- M. Vicanek, H.M. Urbassek. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B 30, 507 (1988)
- G. Falcone. Rivista del Nuovo Cimento, 13 (1), 1 (1990)
- A.I. Tolmachev. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B 93 (4), 415 (1994)
- А.Н. Зиновьев, П.Ю. Бабенко. Письма в ЖТФ, 46 (18), 23 (2020). DOI: 10.21883/JTF.2022.05.52369.2-22 [A.N. Zinoviev, P.Yu. Babenko. Tech. Phys. Lett., 46, 909 (2020). DOI: 10.1134/S106378502009031X]
- G. Leibfreid, O.M. Oen. J. Appl. Phys., 33 (7), 2257 (1962)
- S. Chandrasekhar. Radiative Transfer (Clarendon Press, Oxford, 1950)
- V.S. Remizovich, A.V. Radkevich. Laser Phys., 10, 560 (2000)
- H. Bateman, A. Erdelyi. Tables of Integral Transforms. (McGraw Hill, NY., 1954), v. 1
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
