Вышедшие номера
Электрические и оптические свойства тонких пленок оксида кобальта, полученных методом ионно-лучевого распыления
Ministry of Science and Higher Education of the Russian Federation , Basic part of State assignment, FZGM-2020-007
Габриельс К.С. 1, Калинин Ю.Е. 1, Макагонов В.А. 1, Панков С.Ю. 1, Ситников А.В. 1
1Воронежский государственный технический университет, Воронеж, Россия
Email: vlad_makagonov@mail.ru
Поступила в редакцию: 10 ноября 2021 г.
В окончательной редакции: 17 марта 2022 г.
Принята к печати: 18 марта 2022 г.
Выставление онлайн: 22 апреля 2022 г.

Исследованы оптические и электрические свойства тонких пленок оксида кобальта, полученных методом ионно-лучевого распыления в атмосфере аргона и аргона с добавлением кислорода (PAr=1.1·10-5 Torr). Показано, что для пленок оксида кобальта, полученных в атмосфере аргона, оптическая ширина запрещенной зоны не зависит от толщины пленки и составляет 3.24 eV. Для пленок с добавлением кислорода были обнаружены два прямых оптических перехода с энергиями 1.45 и 2.1 eV. Установлено, что для всех исследованных образцов электрическая проводимость не зависит от напряженности электрического поля до значения E=106 V/m. Нелинейность зависимости удельной электрической проводимости синтезированных пленок от величины напряженности электрического поля при E>106 V/m обсуждена в рамках модели прыжковой проводимости и модели ионизации ловушек, описываемой эффектом Пула-Френкеля. Ключевые слова: оксидные полупроводники, коэффициент оптического поглощения, электропроводность, сильные электрические поля.