Тонкопленочные Al-мишени для лазерно-плазменного источника экстремального ультрафиолетового излучения
Гарахин С.А.1, Лопатин А.Я.1, Нечай А.Н.1, Перекалов А.А.1, Пестов А.Е.1, Салащенко Н.Н.1, Цыбин Н.Н.1, Чхало Н.И.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: lopatin@ipm.sci-nnov.ru
Поступила в редакцию: 4 апреля 2022 г.
В окончательной редакции: 4 апреля 2022 г.
Принята к печати: 4 апреля 2022 г.
Выставление онлайн: 12 июня 2022 г.
При помощи зеркального спектрометра экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) диапазона исследованы спектры излучения массивного алюминия в интервале длин волн 8.0-18.0 nm при лазерном возбуждении. Проведено тестирование тонкопленочных лазерных мишеней из алюминия и сравнительные измерения интенсивности ЭУФ излучения пленки толщиной 100 nm и мишени из массивного материала. Ключевые слова: МР, экстремальное ультрафиолетовое излучение, тонкие пленки, лазерная плазма.
- D.J. Nagel, C.M. Brown, M.C. Peckerar, M.L. Ginter, J.A. Robinson, T.J. McIlrath, P.K. Carroll. Appl. Opt., 23 (9), 1428-1433 (1984)
- A.V. Vinogradov, V.N. Shlyaptsev. Sov. J. Quant. Electron., 17 (1), 1-13 (1987)
- H.C. Gerritsen, H. van Brug, F. Bijkerk, M.J. van der Wiel. J. Appl. Phys., 59, 2337-2344 (1986)
- А.Н. Нечай, А.А. Перекалов, Н.И. Чхало, Н.Н. Салащенко. ЖТФ, 89 (11), 1656-1662 (2019). DOI: 10.21883/JTF.2019.11.48324.131-19 [A.N. Nechai, A.A. Perekalov, N.I. Chkhalo, N.N. Salashchenko. Tech. Phys., 64 (11), 1566-1572 (2019). DOI: 10.1134/S1063784219110203]
- А.Н. Нечай, А.А. Перекалов, Н.И. Чхало, Н.Н. Салащенко, И.Г. Забродин, И.А. Каськов, А.Е. Пестов. Поверхность, 9, 1-10 (2019)
- А.В. Водопьянов, С.А. Гарахин, И.Г. Забродин., С.Ю. Зуев, А.Я. Лопатин, А.Н. Нечай, А.Е. Пестов, А.А. Перекалов, Р.С. Плешков, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, Р.М. Смертин, Б.А. Уласевич, Н.И. Чхало. Квант. электрон., 51 (8), 700-707 (2021). http://mi.mathnet.ru/qe17892 [A.V. Vodop'yanov, S.A. Garakhin, I.G. Zabrodin, S.Yu. Zuev, A.Ya. Lopatin, A.N. Nechay, A.E. Pestov, A.A. Perekalov, R.S. Pleshkov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, R.M. Smertin, B.A. Ulasevich, N.I. Chkhalo. Quant. Electron., 51 (8),700 (2021). DOI:org/10.1070/QEL17598
- J.M. Bridges, C.L. Cromer, T.J. McIlrath. Appl. Opt., 25 (13), 2208-2214 (1986)
- N.I. Chkhalo, E.B. Kluenkov, A.Ya. Lopatin, V.I. Luchin, N.N. Salashchenko, L.A. Sjmaenok, N.N. Tsybin. Thin Solid Films, 631, 93-98 (2017)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
