Модель физического распыления аморфных материалов
Пестов А.Е.1, Михайленко М.С.1, Чернышев А.К.1, Зорина М.В.1, Чхало Н.И.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: mikhaylenko@ipmras.ru
Поступила в редакцию: 6 апреля 2022 г.
В окончательной редакции: 6 апреля 2022 г.
Принята к печати: 6 апреля 2022 г.
Выставление онлайн: 12 июня 2022 г.
Продемонстрирован импульсный механизм физического распыления с учетом эволюции поверхности. Модель основана на импульсной передаче энергии в каскадах столкновений. Главной особенностью является учет шероховатости поверхности. Результаты численного моделирования качественно совпадают с наблюдаемыми в экспериментах. Показано, что угловые зависимости, посчитанные в рамках данной модели, имеют более близкие значения коэффициента распыления к экспериментальным нежели посчитанные с помощью пакета для моделирования в области облучения веществ различными ионами TRIM (Transport of ions in matter). Ключевые слова: ионное травление, численное моделирование, шероховатость, Монте-Карло.
- M.S. Mikhailenko, N.I. Chkhalo, S.A. Churin, M.A. E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.V. Zorina. Appl. Opt. 55 (6), 1249--1256, (2016). https://doi.org/10.1364/AO.55.001249
- X. Li, D. Wang, F. Nie, P. Wu, Sh. Zhao. 10th International Symposium on Advanced Optical Manufacturing and Testing Technologies: Advanced and Extreme Micro-Nano Manufacturing Technologies. 120730L (2021). https://doi.org/10.1117/12.2605262
- Wen Hui Deng, Xian Hua Chen, Hui Liang Jin, Bo Zhong, Jin Hou, An Qi Li. Young Scientists Forum 2017. 107102W (2018). https://doi.org/10.1117/12.2316623
- P. Sigmund. Phys. Rev., 187, 768 (1969). https://doi.org/10.1103/PhysRev.184.383
- J. Lindhart, M. Scharff, H. Schiott. Mat. Fys. Medd. Dan. Vid. Selsk., 33 (1963)
- O.B. Firsov. Zh. Eksp. Teor. Fiz., (1957)
- [Электронный ресурс] Режим доступа: http://www.telstv.ru/?page=en_silicon_wafers
- J.F. Ziegler, M.D. Ziegler, J.P. Biersack. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B, 268 (11-12), 1818--1823 (2010). https://doi.org/10.1016/j.nimb.2010.02.091
- Ю.А. Вайнер, М.В. Зорина, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало, Р.А. Храмков. Известия РАН. Сер. физ. 75 (1), 65--67 (2011). [Y.A. Vainer, M.V. Zorina, A.E. Pestov, N.N. Salashchenko, N.I. Chkhalo, R.A. Khramkov. Bull. Russ. Academ. Sci.: Phys., 75 (1), 61--63 (2011). DOI: 10.3103/S1062873811010254]
- Qiangmin Wei, Kun-Dar Li, Jie Lian, Lumin Wang. J. Phys. D: Appl. Phys., 41, 172002 (2008). DOI: 10.1088/0022-3727/41/17/172002
- M. Karluvsic, M. Mivcetic, M. Kresic, M. Jakvsic, B. vSantic, I. Bogdanovic-Radovic, S. Bernstorff, H. Lebius, B. Ban-d'Etat, K. vZuvzek Rovzman, J.H. O'Connell, U. Hagemann, M. Schleberger. Appl. Surf. Sci., 541, 148467 (2021). https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2020.148467
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
