Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2025
- 1 2 3 4
2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Модель физического распыления аморфных материалов

DOI: 10.21883/JTF.2022.08.52789.84-22

Переводная версия: 10.21883/TP.2022.08.54571.84-22

Пестов А.Е.¹, Михайленко М.С.¹, Чернышев А.К.¹, Зорина М.В.¹, Чхало Н.И.¹

¹Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия Institute for Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences, Nizhny Novgorod, Russia

Institute for Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences, Nizhny Novgorod, Russia

Email: mikhaylenko@ipmras.ru

Поступила в редакцию: 6 апреля 2022 г.

В окончательной редакции: 6 апреля 2022 г.

Принята к печати: 6 апреля 2022 г.

Выставление онлайн: 12 июня 2022 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Продемонстрирован импульсный механизм физического распыления с учетом эволюции поверхности. Модель основана на импульсной передаче энергии в каскадах столкновений. Главной особенностью является учет шероховатости поверхности. Результаты численного моделирования качественно совпадают с наблюдаемыми в экспериментах. Показано, что угловые зависимости, посчитанные в рамках данной модели, имеют более близкие значения коэффициента распыления к экспериментальным нежели посчитанные с помощью пакета для моделирования в области облучения веществ различными ионами TRIM (Transport of ions in matter). Ключевые слова: ионное травление, численное моделирование, шероховатость, Монте-Карло.

M.S. Mikhailenko, N.I. Chkhalo, S.A. Churin, M.A. E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.V. Zorina. Appl. Opt. 55 (6), 1249--1256, (2016). https://doi.org/10.1364/AO.55.001249
X. Li, D. Wang, F. Nie, P. Wu, Sh. Zhao. 10th International Symposium on Advanced Optical Manufacturing and Testing Technologies: Advanced and Extreme Micro-Nano Manufacturing Technologies. 120730L (2021). https://doi.org/10.1117/12.2605262
Wen Hui Deng, Xian Hua Chen, Hui Liang Jin, Bo Zhong, Jin Hou, An Qi Li. Young Scientists Forum 2017. 107102W (2018). https://doi.org/10.1117/12.2316623
P. Sigmund. Phys. Rev., 187, 768 (1969). https://doi.org/10.1103/PhysRev.184.383
J. Lindhart, M. Scharff, H. Schiott. Mat. Fys. Medd. Dan. Vid. Selsk., 33 (1963)
O.B. Firsov. Zh. Eksp. Teor. Fiz., (1957)
[Электронный ресурс] Режим доступа: http://www.telstv.ru/?page=en_silicon_wafers
J.F. Ziegler, M.D. Ziegler, J.P. Biersack. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B, 268 (11-12), 1818--1823 (2010). https://doi.org/10.1016/j.nimb.2010.02.091
Ю.А. Вайнер, М.В. Зорина, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало, Р.А. Храмков. Известия РАН. Сер. физ. 75 (1), 65--67 (2011). [Y.A. Vainer, M.V. Zorina, A.E. Pestov, N.N. Salashchenko, N.I. Chkhalo, R.A. Khramkov. Bull. Russ. Academ. Sci.: Phys., 75 (1), 61--63 (2011). DOI: 10.3103/S1062873811010254]
Qiangmin Wei, Kun-Dar Li, Jie Lian, Lumin Wang. J. Phys. D: Appl. Phys., 41, 172002 (2008). DOI: 10.1088/0022-3727/41/17/172002
M. Karluvsic, M. Mivcetic, M. Kresic, M. Jakvsic, B. vSantic, I. Bogdanovic-Radovic, S. Bernstorff, H. Lebius, B. Ban-d'Etat, K. vZuvzek Rovzman, J.H. O'Connell, U. Hagemann, M. Schleberger. Appl. Surf. Sci., 541, 148467 (2021). https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2020.148467

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель