Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Перспективы применения реактивного ионно-пучкового травления плавленого кварца смесью тетрафторметана и аргона для асферизации поверхности оптических элементов

DOI: 10.21883/JTF.2022.08.52792.111-22

Переводная версия: 10.21883/TP.2022.08.54574.111-22

Михайленко М.С.¹, Пестов А.Е.¹, Чернышев А.К.¹, Перекалов А.А.¹, Зорина М.В.¹, Чхало Н.И.¹

¹Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия Institute for Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences, Nizhny Novgorod, Russia

Institute for Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences, Nizhny Novgorod, Russia

Email: mikhaylenko@ipmras.ru

Поступила в редакцию: 26 апреля 2022 г.

В окончательной редакции: 26 апреля 2022 г.

Принята к печати: 26 апреля 2022 г.

Выставление онлайн: 12 июня 2022 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Предложено использовать энергию разряда для синтеза химически-активных частиц с целью проведения коррекции формы и асферизации поверхности оптических элементов реактивным ионно-пучковым травлением. Собран стенд на основе радиочастотного источника ускоренных ионов КЛАН-105М, конструкция которого позволила работать с химически активными газами. Показана возможность увеличения скорости травления плавленого кварца более чем в 5 раз по сравнению с ионным травлением инертными газами путем создания смеси тетрафторметана (CF₄) и аргона (Ar) в соотношении 1:1, при сохранении исходно гладкой шероховатости поверхности (sigma_eff~0.3 nm) в диапазоне пространственных частот ν[5.0·10^-2-6.4·10¹ μm^-1]. Ключевые слова: ионное травление, реактивное ионное травления, шероховатость, поверхность, рентгеновская оптика.

N.I. Chkhalo, A. Kaskov, I.V. Malyshev, M.S. Mikhaylenko, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov, G. Zabrodin. Precis Eng., 48, 338-346 (2017). DOI: 10.1016/j.precisioneng.2017.01.004
T. Arnold, G. Bohm, R. Fechner, J. Meister, A. Nickel, F. Frost, T. Hansel, A. Schindler. Nucl. Instrum. Meth. B, 616 (2-3), 147-156 (2010). DOI: 10.1016/j.nima.2009.11.013
M. Weiser. Nucl. Instrum. Meth. B, 267 (8--9), 1390-1393 (2009). DOI: 10.1016/j.nimb.2009.01.051
M.S. Mikhailenko, N.I. Chkhalo, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, M.V. Zorina, S.Yu. Zuev, D.S. Kazakov, A.V. Milkov, I.L. Strulya, V.A. Filichkina, A.S. Kozlov. Appl. Opt., 58, 13 (2019). DOI: 10.1364/AO.58.003652
M.S. Mikhailenko, D.S. Sidorov, N.I. Chkhalo, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov. Nucl. Instrum. Meth. B, 387, 73--76 (2016). DOI: 10.1016/j.nimb.2016.10.007
N.I. Chkhalo, N.N. Salashchenko, M.V. Zorina. Rev. Sci. Instrum., 86, 016102 (2015). DOI: 10.1063/1.4905336

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель