Вышедшие номера
Кристаллизация и формирование карбида кремния в двухслойных аморфных пленках кремний-углерод при электронном облучении
Приоритет 2030, программа «Приоритет 2030» , 000
Сидоров А.И.1, Лекс Е.Я.2, Подсвиров О.А.2, Виноградов А.Ю.3
1Университет ИТМО, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Санкт-Петербург, Россия
3Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: sidorov@oi.ifmo.ru, lexelenaya@gmail.com, olegpodsvir@mail.ru, vingrdov@gmail.com
Поступила в редакцию: 6 июля 2022 г.
В окончательной редакции: 2 августа 2022 г.
Принята к печати: 9 августа 2022 г.
Выставление онлайн: 3 сентября 2022 г.

Показано, что облучение сфокусированным электронным лучом с энергией электронов 10 keV двухслойных аморфных пленок кремний-углерод толщиной 60 nm приводит к частичной кристаллизации пленок. Кроме того, в облученной зоне формируется слой кристаллического карбида кремния, обладающий люминесцентными свойствами. Наблюдаемые явления подтверждены методами спектроскопии комбинационного рассеяния и спектрами люминесценции. Ключевые слова: кремний, углерод, карбид кремния, пленка, структура, электронный луч, рамановская спектроскопия.