Журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Распыление карбидных пленок с поверхности металла ионами гелия
Переводная версия: 10.21883/TP.2022.11.55182.48-22 
Ministry of Science and Higher Education of the Russian Federation , Project № FSWF-2020-0023
1Национальный исследовательский университет "МЭИ", Москва, Россия 
Email: ManukhinVV@mpei.ru
Поступила в редакцию: 6 мая 2022 г.
В окончательной редакции: 6 мая 2022 г.
Принята к печати: 25 июля 2022 г.
Выставление онлайн: 3 сентября 2022 г.
Исследована зависимость коэффициентов распыления легкими ионами поверхностных слоев титана и вольфрама, модифицированных углеродом, от толщины слоя. Теоретическое исследование проведено на основе модели распыления (ранее адаптированной для описания распыления двухкомпонентных мишеней и слоисто-неоднородных поверхностей), базирующейся на двух механизмах распыления, позволяющей проанализировать полученные зависимости. Теоретические расчеты полных коэффициентов распыления ионами гелия поверхностных слоев титана и вольфрама, модифицированных углеродом, приведены в сравнении с результатами компьютерного моделирования, полученными с помощью программы SRIM-2013pro. Ключевые слова: модифицированная поверхность, карбид металла, легкие ионы, ионная бомбардировка, парциальный коэффициент распыления, слоисто-неоднородные поверхности.
- R. Behrisch. Sputtering by Particle Bombardment I: Physical Sputtering of Single-Element Solids (Springer, NY., 1981)
- R. Behrisch. Sputtering by Particle Bombardment II: Sputtering of Alloys and Compounds, Electron and Neuron Sputtering, Surface Topography (Springer, NY., 1983)
- G. Falcone. La Rivista del Nuovo Cimento, 13 (1), 1 (1990)
- S. Chandrasekhar. Radiative Transfer (Oxford, Clarendon Press, 1950)
- В.В. Манухин. Прикладная физика, 5, 5 (2016)
- М.К. Абесаломов, В.П. Афанасьев, В.В. Манухин, С.Д. Федорович. Тезисы докладов XIXX Всесоюзного совещания по физике взаимодействия частиц с кристаллами, под ред. проф. А.Ф. Тулинова. (Изд-во МГУ, М., 1989), с. 188
- В.С. Ремизович, Д.В. Рогозкин, М.И. Рязанов. Флуктуации пробегов заряженных частиц (Энергоатомиздат, М., 1988)
- V.P. Afanasev, D. Naujoks, Z. Phys. B, 84, 397 (1991)
- В.В. Манухин. ЖТФ , 77 (8), 6 (2007). [V.V. Manukhin. Tech. Phys., 52 (8), 968 (2007).]
- N. Matsunami, Y. Yamamura, Y. Itikawa. Atomic Data Nuclear Data Tables., 31, 1 (1984)
- P. Sigmund. Phys. Rev., 184 (2), 303 (1969)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
