Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Изменение состояния поверхности монокристаллического германия в результате имплантации ионами серебра и отжига световыми импульсами

DOI: 10.21883/JTF.2022.12.53750.159-22

Переводная версия: 10.21883/TP.2022.12.55194.159-22

Российский научный фонд, № 19-79-10216

Гаврилова Т.П.¹, Фаррахов Б.Ф.¹, Фаттахов Я.В.¹, Хантимеров С.М.¹, Нуждин В.И.¹, Рогов А.М.¹, Валеев В.Ф.¹, Коновалов Д.А.¹, Степанов А.Л.¹

¹Казанский физико-технический институт им. Е.К. Завойского, ФИЦ Казанский научный центр РАН, Казань, Россия Zavoisky Physical-Technical Institute, FRC Kazan Scientific Center of RAS, Kazan, Russia

Zavoisky Physical-Technical Institute, FRC Kazan Scientific Center of RAS, Kazan, Russia

Email: tatyana.gavrilova@gmail.com, aanstep@gmail.com

Поступила в редакцию: 15 июня 2022 г.

В окончательной редакции: 12 июля 2022 г.

Принята к печати: 12 августа 2022 г.

Выставление онлайн: 31 октября 2022 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Пластины монокристаллического c-Ge, имплантированные ионами Ag⁺ энергией E=30 keV, плотностью тока в ионном пучке J = 5 μА/cm² и дозой D = 2.5· 10¹⁶ ion/cm², были подвергнуты быстрому термическому отжигу одиночными световыми импульсами различной длительности от 1 до 9.5 s. Методами сканирующей электронной микроскопии и оптического отражения установлено, что в результате ионной имплантации на поверхности подложек c-Ge образуется аморфный пористый слой Ag : PGe губчатой структуры, состоящий из нанонитей Ge. Установлено, что отжиг c возрастанием длительности импульсов до 5 s последовательно приводит к увеличению диаметров нанонитей Ge от 26 до 35 nm. При более длительных импульсах наблюдались разрушение пористой структуры Ag : PGe и испарение Ag из имплантированных слоев. На поверхности образца, отожженного при максимальной температуре, наблюдалось образование террас и каплевидных сферических образований германия. Обнаружено влияние длительности быстрого термического отжига на ВАХ отожженных образцов. Ключевые слова: нанопористый германий, ионная имплантация, быстрый термический отжиг. DOI: 10.21883/JTF.2022.12.53750.159-22

S. Prucnal, L. Rebohle, W. Skorupa. Mater. Sci. Semicond. Process., 62, 115 (2017). DOI: 10.1016/j.mssp.2016.10.040
S. Prucnal, J. Zuk, R. Hubner, J. Duan, M. Wang, K. Pyszniak, A. Drozdziel, M. Turek, S. Zhou. Materials, 13, 1408 (2020). DOI: 10.3390/ma13061408
Т.П. Гаврилова, С.М. Хантимеров, В.И. Нуждин, В.Ф. Валеев, А.М. Рогов, А.Л. Степанов. Письма в ЖТФ, 48, 33 (2022). DOI: 10.21883/PJTF.2022.08.52364.19096
А.Л. Степанов, В.И. Нуждин, А.М. Рогов, В.В. Воробьев. Формирование слоев пористого кремния и германия с металлическими наночастицами (Изд-во ФИЦ КазНЦ РАН, Казань, 2019)
P.W. Voorhees. J. Stat. Phys., 38, 231 (1985). DOI: 10.1007/BF01017860
A.F. Lopeandi a, J. Rodri guez-Viejo. Thermochim. Acta, 461, 82 (2007). DOI: 10.1016/j.tca.2007.04.010
H. Liu, S. Li, P. Sun, X. Yang, D. Liu, Y. Ji, F. Zhang, D. Chen, Y. Cui. Mater. Sci. Semicond. Process., 83, 58 (2018). DOI: 10.1016/j.mssp.2018.04.019
T.M. Donovan, W.E. Spicer, J.M. Bennett, E.J. Ashley. Phys. Rev. B, 2, 397 (1970). DOI: 10.1103/PhysRevB.2.397
A.L. Stepanov, A.M. Rogov. Opt. Commun., 474, 126052 (2020). DOI: 10.1016/j.optcom.2020.126052Get
K.L. Bhatia, P. Singh, M. Singh, N. Kishore, N.C. Mehra, D. Kanjilal. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B, 94, 379 (1994). DOI: 10.1016/0168-583X(94)95412-7
Q.-C. Zhang, J.C. Kelly, M.J. Kenny. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B, 47, 257 (1990). DOI: 10.1016/0168-583X(90)90755-J
S. Schicho, A. Jaouad, C. Sellmer, D. Morris, V. Aimez, R. Ar\`es. Mater. Lett., 94, 86 (2013). DOI: 10.1016/j.matlet.2012.12.014
A.V. Pavlikov, A.M. Rogov, A.M. Sharafutdinova, A.L. Stepanov. Vacuum, 184, 109881 (2021). DOI: 10.1016/j.vacuum.2020.109881
S.A. Gavrilov, A.A. Dronov, I.M. Gavrilin, R.L. Volkov, N.I. Borgardt, A.Y. Trifonov, A.V. Pavlikov, P.A. Forsh, P.K. Kashkarov. J. Raman Spectrosc., 49, 810 (2018). DOI: 10.1002/jrs.5353
К. Борен, Д. Хафмен. Поглощение и рассеяние света малыми частицами (Мир, М., 1986)
A. Dimoulas, P. Tsipas, A. Sotiropoulos. Appl. Phys. Lett., 89, 252110 (2006). DOI: 10.1063/1.2410241
E. Akkari, O. Touayar. Int. J. Nanotechnology, 10, 553 (2013). DOI: 10.1504/IJNT.2013.053524

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель