Журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Расчет компонентного состава поверхностных слоев карбида титана при распылении легкими ионами
Переводная версия: 10.61011/TP.2023.06.56533.52-23 
1Национальный исследовательский университет "МЭИ", Москва, Россия 
Email: ManukhinVV@mpei.ru
Поступила в редакцию: 24 марта 2023 г.
В окончательной редакции: 23 апреля 2023 г.
Принята к печати: 23 апреля 2023 г.
Выставление онлайн: 6 июня 2023 г.
На основе ранее апробированной модели распыления бинарных слоистых неоднородных мишеней легкими ионами предложен метод расчета компонентного состава поверхностных слоев карбида титана при стационарном (стехиометричном) распылении легкими ионами. Результаты расчетов сравниваются с экспериментальными данными и результатами компьютерного моделирования. Предложенный метод, основанный на модели распыления бинарных слоистых неоднородных мишеней, позволил провести оценку толщины измененного поверхностного слоя. Предлагаемая методика расчета позволила разработать технологию создания поверхностей карбида титана с заданным соотношением компонентов. Ключевые слова: модифицированная поверхность, парциальный коэффициент распыления, стационарное (стехиометричное) распыление, слоисто-неоднородная поверхность. DOI: 10.21883/JTF.2023.06.55610.52-23
- R. Behrisch. Sputtering by Particle Bombardment II: Sputtering of Alloys and Compounds, Electron and Neuron Sputtering, Surface Topography (Springer, NY., 1983)
- H. Wiederish. Surface Modification and Alloying (NY., 1983)
- Z. Luo, S. Wang. Phys. Rev., B 36, 1885 (1987)
- R. Kelly, D.E. Harrison. Mater. Sci. Eng., 69, 449 (1985)
- R. Kelly, A. Oliva. Nucl. Instr. Meth., B 13, 283 (1986)
- M. Vicanek, J.J. Jimenez-Rodriguez, P. Sigmund. Nucl. Instr. Meth., B 36, 124 (1989)
- W. Eckstein, J.P. Biersack. Appl. Phys., A 37, 95 (1985)
- P. Varga, E. Taglauer. J. Nucl. Mat., 111/112, 726 (1982)
- E. Taglauer, W. Heiland. Proc. Symp. Sputtering (Wien, 1980), p. 423
- J. Roth, J. Bohdansky, W. Eckstein. Nucl. Instr. Meth., 128, 751 (1985)
- W.L. Patterson, G.A. Shirn. J. Vac. Sci. Technol., 4, 343 (1967)
- K. Saiki, H. Tanaka, S. Tanaka. J. Nucl. Mater., 128 \& 129, 744 (1984)
- S. Hofmann, Y. Liu, J.Y. Wang, J. Kovac. Appl. Surf. Sci., 314, 942 (2014)
- S. Lian, H. Yang, J.J. Terblans, H.C. Swart, J. Wang, C. Xu. Thin Solid Films, 721, 138545 (2021). DOI: 10.1016/j.tsf.2021.138545
- S. Berg, I.V. Katardjiev. J. Vacuum Sci. Technol., 17, 1916 (1999). DOI: 10.1116/1.581704
- В.В. Манухин. Прикладная физика, 6, 69 (2018)
- В.В. Манухин. ЖТФ, 92 (11), 1733 (2022). DOI: 10.21883/JTF.2022.11.53448.48-22 [V.V. Manukhin. Tech. Phys., 67 (11), 1500 (2022). DOI: 10.21883/TP.2022.11.55182.48-22]
- В.В. Манухин. Прикладная физика, 5, 5 (2016)
- W. Eckstein. Computer Simulation of Ion-Solid Interaction, Springer Series in Materials Science (Springer, Berlin, Heidelberg, NY., 1991), v. 10
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
