Исследование влияния температуры роста на свойства легированных азотом углеродных нанотрубок для создания устройств нанопьезотроники
Российский научный фонд, № 22-79-10163
Ильина М.В.
1, Рудык Н.Н.
1, Соболева O.И.
1, Полывянова М.Р.
1, Хубежов С.А.
2, Ильин О.И.
11Южный федеральный университет, Институт нанотехнологий, электроники и приборостроения, Таганрог, Россия
2Северо-Осетинский государственный университет им. К.Л. Хетагурова, Владикавказ, Россия
Email: mailina@sfedu.ru, nnrudyk@sfedu.ru
Поступила в редакцию: 18 апреля 2023 г.
В окончательной редакции: 18 апреля 2023 г.
Принята к печати: 18 апреля 2023 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2023 г.
Установлены закономерности влияния температуры роста на геометрические параметры, концентрацию легирующей примеси азота и тип формирующихся дефектов в углеродных нанотрубках, выращенных на подслое молибдена. Показано, что наилучшие пьезоэлектрические и резистивные свойства наблюдаются в легированных азотом углеродных нанотрубках, выращенных при температуре 525oC. На основе результатов термодинамического анализа показана зависимость концентрации легирующей примеси азота и типа формирующихся дефектов от тенденции образования нитридов и карбидов молибдена в процессе роста нанотрубок. Полученные результаты могут быть использованы при разработке устройств нанопьезотроники на основе массивов вертикально ориентированных нанотрубок - наногенераторов, сенсоров деформации и элементов памяти. Ключевые слова: углеродные нанотрубки, PECVD, нанопьезотроника, азотные дефекты, пьезоэлектрический отклик, рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия.
- S. Zhu, X. Dong, H. Huang, M.J. Qi. Power Sources, 459, 228104 (2020). https:/doi.org/10.1016j.jpowsour.2020.228104
- X. Li, J. Zhou, J. Zhang, M. Li, X. Bi, T. Liu, T. He, J. Cheng, F. Zhang, Y. Li, X. Mu, J. Lu, B. Wang. Adv. Mater., 31 (39), 1 (2019). https://doi.org/10.1002/adma.201903852
- W.Y. Shin, H.M. Jeong, B.G. Kim, J.K. Kang, J.W. Choi. Nano Lett., 12 (5), 2283 (2012). https://doi.org/10.1021/n13000908
- M. Il'ina, O. Il'in, O. Osotova, S. Khubezhov, N. Rudyk, I. Pankov, A. Fedotov, O. Ageev. Carbon N.Y., 190, 348 (2022). https://doi.org/10.1016/j.carbon.2022.01.014
- S.H. Lim, H.I. Elim, X.Y. Gao, A.T.S. Wee, W. Ji, J.Y. Lee, J. Lin. Phys. Rev. B - Condens. Matter. Mater. Phys., 73 (4), 1 (2006). https://doi.org/10.1103/PhysRevB73045402
- R. Sanchez-Salas, S. Kashina, R. Galindo, A.K. Cuentas-Gallegos, N. Rayon-Lopez, M. Miranda-Hernandez, R. Fuentes-Rami rez, F. Lopez-Uri as, E. Munoz-Sandoval. Carbon N.Y., 183, 743 (2021). https://doi.org/10.1016/j.carbon.2021.07.033
- M. Il'ina, O. Il'in, Y. Blinov, A. Konshin, B. Konoplev, O. Ageev. Materials (Basel), 11 (4), 638 (2018). https://doi.org/10.3390/ma11040638
- M.V. Il'ina, O.I. Il'in, A.V. Guryanov, O.I. Osotova, Y.F. Blinov, A.A. Fedotov, O.A. Ageev. J. Mater. Chem. C, 18, 6014 (2021). https://doi.org/10.1039/D1TC00356A
- Z.L. Wang. Adv. Mater., 19 (6), 889 (2007). https://doi.org/10.1002/adma.200602918
- M.V. Il'ina, O.I. Soboleva, S.A. Khubezov, V.A. Smirnov, O.I. Il'in. J. Low Power Electron. Appl., 13 (1), 11 (2023). https://doi.org/10.3390/jlpeal13010011
- H. Chen, A. Roy, J.B. Baek, L. Zhu, J. Qu, L. Dai. Mater. Sci. Eng. Reports, 70 (3-6), 63 (2019). https://doi.org/10.1016/j.mser.2010.06.003
- M.V. Il'ina, O.I. Osotova, N.N. Rudyk, S.A. Khubezhov, I.V. Pankov, O.A. Ageev, O.I. Il'in. Diam. Relat. Mater., 126, 109069 (2022). https://doi.org/10.1016/j.diamond.2022.109069
- M.V. Il'ina, O.I. Il'in, N.N. Rudyk, O.I. Osotova, A.A. Fedotov, O.A. Ageev. Nanomaterials, 11 (11), 2912 (2021). https://doi.org/10.3390/nano11112912
- O.A. Louchev. Phys. Status Solidi Appl. Res., 193 (3), 585 (2022). https://doi.org/10.1002/1521-396X(200210)193:3<585::AID-PSSA585>3.0.CO:2-Y
- E.A. Arkhipova, A.S. Ivanov, N.E. Strokova, S.E. Chernyak, A.V. Shumyantsev, K.I. Maslakov, S.V. Savilov, V.V. Lunin. Carbon N.Y., 125, 20 (2017). https://doi.org/10.1016/j.carbon.2017.09.013
- S. Kundu, W. Xia, W. Busser, M. Becker, D.A. Schmidt, M. Havenith, M. Muhler. Phys. Chem. Chem. Phys., 12 (17), 4351 (2010). https://doi.org/10.1039/B923651A
- R. Arrigo, M. Havecker, R. Schlogl, D.S. Su. Chem. Commun., 40, 4891 (2008). https://doi.org/10.1039/B812769G
- M.V. Il'ina, O.I. Il'in, O.I. Osotova, S.A. Khubezhov, O.A. Ageev. Nanobiotechnology Reports, 16 (6), 821 (2021). https://doi.org/10.1134/S2635167621060082
- M.V. Il'ina, O.I. Il'in, Y.F. Blinov, V.A. Smirnov, A.S. Kolomiytsev, A.A. Fedotov, B.G. Konoplev, O.A. Ageev. Carbon N.Y., 123, 514 (2017). https://doi.org/10.1016/j.carbon.2017.07.090
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
