Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2025
- 1 2 3 4
2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Особенности трансформации микрорельефа структур "кремний на изоляторе" при воздействии фотонных и корпускулярных излучений

DOI: 10.21883/JTF.2023.07.55764.91-23

Переводная версия: 10.61011/TP.2023.07.56645.91-23

Логинов Б.А.

¹, Блинников Д.Ю.², Второва В.C.², Кириллова В.В.², Ляшко Е.А.², Макеев В.С.², Первых А.Р.², Абросимова Н.Д.³, Забавичев И.Ю.

^3,4, Пузанов А.С.

^3,4, Волкова Е.В.⁴, Тарасова Е.А.

⁴, Оболенский С.В.^3,4

¹Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники", Москва, Зеленоград, Россия National Research University of Electronic Technology (MIET), Zelenograd, Russia

National Research University of Electronic Technology (MIET), Zelenograd, Russia

²Образовательный центр "Сириус", Сочи, Россия Educational Center “Sirius”, Sochi, Russia

³Российский федеральный ядерный центр --- Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики, филиал Российского федерального ядерного центра --- Всероссийского научно-исследовательского института экспериментальной физики "Научно-исследовательский институт измерительных систем им. Ю.Е. Седакова", Нижний Новгород, Россия Federal State Unitary Enterprise RFNC-VNIIEF, RFNC-VNIIEF Branch «Measuring Systems Research Institute named after Yu. Ye. Sedakov», Nizhny Novgorod, Russia,

Federal State Unitary Enterprise RFNC-VNIIEF, RFNC-VNIIEF Branch «Measuring Systems Research Institute named after Yu. Ye. Sedakov», Nizhny Novgorod, Russia,

⁴Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия Lobachevsky University of Nizhny Novgorod, Nizhny Novgorod, Russia

Lobachevsky University of Nizhny Novgorod, Nizhny Novgorod, Russia

Email: b-loginov@mail.ru, blinnikovdanil@yandex.ru, vlada_vtorova@mail.ru, uctasili@yandex.ru, ea.lyashko@gmail.com, sevulek06@gmail.com, pervantrom@gmail.com, zabavichev.rf@gmail.com, aspuzanov@inbox.ru, volkova@rf.unn.ru, tarasova@rf.unn.ru, andnenastik@inbox.ru

Поступила в редакцию: 4 мая 2023 г.

В окончательной редакции: 4 мая 2023 г.

Принята к печати: 4 мая 2023 г.

Выставление онлайн: 19 июня 2023 г.

PDF версия

Приведены результаты исследований параметров микрорельефа и электрофизических характеристик структур "кремний на изоляторе" после воздействия гамма- и гамма-нейтронного излучения. Экспериментальные исследования проведены методами атомно-силовой микроскопии и псевдо-МДП транзистора. На основе полученных данных проведена оценка эффективного радиуса ядер кластеров радиационных дефектов. Ключевые слова: Атомно-силовая микроскопия, кремний на изоляторе, "допороговое" дефектообразование, кластеры радиационных дефектов.

B.A. Loginov, P.B. Loginov, V.B. Loginov, A.B. Loginov. Nanoindustry, 12, 362 (2019)
С.В. Оболенский, Е.В. Волкова, А.Б. Логинов, Б.А. Логинов, Е.А. Тарасова, А.С. Пузанов, С.А. Королев. Письма в ЖТФ, 47 (5), 38 (2021). DOI: 10.21883/PJTF.2021.05.50676.18608
Е.В. Волкова, А.Б. Логинов, Б.А. Логинов, Е.А. Тарасова, А.С. Пузанов, С.А. Королев, Е.С. Семёновых, С.В. Хазанова, С.В. Оболенский. ФТП, 55 (10), 846 (2021). DOI: 10.21883/FTP.2021.10.51431.19
D.K. Schroder. Semiconductor Material and De-vice Characterization (New Jersey, John Wiley \& Sons Inc., 1990)
Е.Г. Григорьев, Ю.А. Перлович, Г.И. Соловьев, А.Л. Удовский, В.Л. Якушин. Под общей ред. Калина Б.А. Физическое материаловедение. Физические основы прочности. Радиационная физика твердого тела. Компьютерное моделирование (МИФИ, М., 2008), т. 4, 696 c
D.D. Vvedensky. J. Phys.: Condens. Matter., 16, 1537 (2004)
Y.N. Samolyuk, Y.N. Osetskiy, R.E. Stoller. J. Nucl. Mater., 465, 83 (2015)
В.С. Вавилов. Действие излучений на полупроводники (Физматгиз, М., 1963), 264 с
J.F. Ziegler, J.P. Biersak, U. Littmark. The Stopping and Range of Ions in Solids (Pergamon, NY., 1996), 192 p
S. Plimton. J. Comput. Phys., 117, 1 (1995)
F.H. Stillinger, T.A. Weber. Phys. Rev. B, 31 (8), 5262 (1985)
A. Jay, M. Raine, N. Richard, N. Mousseau, V. Goiffon, A. Hemeryck, P. Magnan. IEEE Transactions on Nucl. Sci., 64 (1), 141 (2017). DOI: 10.1109/TNS.2016.2628089
D. Duffy, A. Rutherford. J. Phys.: Condens. Matter, 19, 016207 (2007)
И.Ю. Забавичев, А.А. Потехин, А.С. Пузанов, С.В. Оболенский, В.А. Козлов. ФТП, 53 (9), 1279 (2019). DOI: 10.21883/FTP.2019.09.48139.23
Е.А. Крамер-Агеев. Экспериментальные методы нейтронных исследований (Энергоиздат, М., 1990)
В.М. Воротынцев, В.А. Перевощиков, В.Д. Скупов. Базовые процессы микро- и наноэлектроники (Проспект, М., 2017), 358 с
П.В. Павлов, Ю.А. Семин, В.Д. Скупов, Д.И. Тетельбаум. ФТП, 20 (3), 503 (1986)
В.Д. Скупов, Д.И. Тетельбаум. ФТП, 21 (8), 1495 (1987)
Ю.А. Семин, В.Д. Скупов, Д.И. Тетельбаум. ЖТФ, 14 (3), 273 (1988)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель