Журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Нанесение жидкого стекла на подложки оптических элементов и его молекулярный состав
Переводная версия: 10.61011/TP.2023.07.56647.107-23 
РНФ , 21-72-30029.
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия 
2Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
2Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Email: petrovadar@ipmras.ru
Поступила в редакцию: 2 мая 2023 г.
В окончательной редакции: 2 мая 2023 г.
Принята к печати: 2 мая 2023 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2023 г.
Представлены результаты, полученные при нанесении раствора жидкого стекла на подложки оптических элементов, с последующим их травлением ионным пучком. Особое внимание уделено шероховатости поверхности оптического элемента как после нанесения жидкого стекла, так и после травления. Проведены исследования пленки наносимого состава стекла с помощью вторичной ионной масс-спектрометрии. Ключевые слова: жидкое стекло, пленки, шероховатости, полировка, ионное травление, вторичная ионная масс-спектрометрия.
- A. Marechal. Rev. Opt., 26, 257 (1947)
- N.I. Chkhalo, M.S. Mikhaylenko, A.V. Mil'kov, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, I.L. Strulya, M.V. Zorina, S.Yu. Zuev. Effect of Ion Beam Etching on the Surface Roughness of Bare and Silicon Covered Beryllium. Proc. SPIE 10235, EUV and X-ray Optics: Synergy between Laboratory and Space V, 102350M (31 May 2017). DOI: 10.1117/12.2269312
- M.S. Mikhailenko, N.I. Chkhalo, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, M.V. Zorina, S.Yu. Zuev, D.S. Kazakov, A.V. Milkov, I.L. Strulya, V.A. Filichkina, A.S. Kozlov. Appl. Opt., 58 (13), 3652 (2019). DOI: 10.1364/AO.58.003652
- О.Л. Фиговский, П.Г. Кудрявцев. Инженерный вестн. Дона, 2 (29), 117 (2014)
- М.С. Михайленко, М.В. Зорина, Д.В. Петрова, А.Е. Пестов, И.Л. Струля, Н.И. Чхало. Поверхность, (2023) (в печати)
- N.I. Chkhalo, I.A. Kaskov, I.V. Malyshev, M.S. Mikhaylenko, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov, I.G. Zabrodin. Precision Engin., 48, 338 (2017). DOI: 10.1016/j.precisioneng.2017.01.004
- N.I. Chkhalo, N.N. Salashchenko, M.V. Zorina. Rev. Sci. Instrum., 86 (1), 016102 (2015). DOI: 10.1063/1.4905336
- А.Е. Шупенев, Н.С. Панкова, И.С. Коршунов, А.Г. Григорьянц. Известия вузов. Машиностроение, 4, 18 (2019). DOI: 10.18698/0536-1044-2019-4-18-27
- Ю.М. Николаенко, А.С. Корнеевец, Н.Б. Эфрос, В.В. Бурховецкий, И.Ю. Решидова. Письма в ЖТФ, 45, 44 (2019). DOI: 10.21883/PJTF.2019.13.47958.17743
- Н.Е. Николаев, В.Ю. Мирецкий. Связующее для древесных плит. Патент N1377262. Б.И. 1988. N 8. С. 4
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
