Нанесение жидкого стекла на подложки оптических элементов и его молекулярный состав
Петрова Д.В.1,2, Михайленко М.С.1, Зорина М.В.1, Дроздов М.Н.1, Пестов А.Е.1, Чхало Н.И.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
2Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Email: petrovadar@ipmras.ru
Поступила в редакцию: 2 мая 2023 г.
В окончательной редакции: 2 мая 2023 г.
Принята к печати: 2 мая 2023 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2023 г.
Представлены результаты, полученные при нанесении раствора жидкого стекла на подложки оптических элементов, с последующим их травлением ионным пучком. Особое внимание уделено шероховатости поверхности оптического элемента как после нанесения жидкого стекла, так и после травления. Проведены исследования пленки наносимого состава стекла с помощью вторичной ионной масс-спектрометрии. Ключевые слова: жидкое стекло, пленки, шероховатости, полировка, ионное травление, вторичная ионная масс-спектрометрия.
- A. Marechal. Rev. Opt., 26, 257 (1947)
- N.I. Chkhalo, M.S. Mikhaylenko, A.V. Mil'kov, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, I.L. Strulya, M.V. Zorina, S.Yu. Zuev. Effect of Ion Beam Etching on the Surface Roughness of Bare and Silicon Covered Beryllium. Proc. SPIE 10235, EUV and X-ray Optics: Synergy between Laboratory and Space V, 102350M (31 May 2017). DOI: 10.1117/12.2269312
- M.S. Mikhailenko, N.I. Chkhalo, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, M.V. Zorina, S.Yu. Zuev, D.S. Kazakov, A.V. Milkov, I.L. Strulya, V.A. Filichkina, A.S. Kozlov. Appl. Opt., 58 (13), 3652 (2019). DOI: 10.1364/AO.58.003652
- О.Л. Фиговский, П.Г. Кудрявцев. Инженерный вестн. Дона, 2 (29), 117 (2014)
- М.С. Михайленко, М.В. Зорина, Д.В. Петрова, А.Е. Пестов, И.Л. Струля, Н.И. Чхало. Поверхность, (2023) (в печати)
- N.I. Chkhalo, I.A. Kaskov, I.V. Malyshev, M.S. Mikhaylenko, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov, I.G. Zabrodin. Precision Engin., 48, 338 (2017). DOI: 10.1016/j.precisioneng.2017.01.004
- N.I. Chkhalo, N.N. Salashchenko, M.V. Zorina. Rev. Sci. Instrum., 86 (1), 016102 (2015). DOI: 10.1063/1.4905336
- А.Е. Шупенев, Н.С. Панкова, И.С. Коршунов, А.Г. Григорьянц. Известия вузов. Машиностроение, 4, 18 (2019). DOI: 10.18698/0536-1044-2019-4-18-27
- Ю.М. Николаенко, А.С. Корнеевец, Н.Б. Эфрос, В.В. Бурховецкий, И.Ю. Решидова. Письма в ЖТФ, 45, 44 (2019). DOI: 10.21883/PJTF.2019.13.47958.17743
- Н.Е. Николаев, В.Ю. Мирецкий. Связующее для древесных плит. Патент N1377262. Б.И. 1988. N 8. С. 4
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
