Вышедшие номера
Реактивный магнетронный синтез и исследование структуры и оптических свойств тонкопленочного оксида вольфрама, легированного молибденом
Российский научный фонд, Проведение фундаментальных научных исследований и поисковых научных исследований малыми отдельными научными группами, 22-22-00980
Маликов И.Ф.1,2, Лядов Н.М. 1, Салахов М.Х. 2, Тагиров Л.Р. 1
1Физико-технический институт им. Е.К. Завойского ФИЦ КазНЦ РАН, Казань, Россия
2Институт физики, Казанский федеральный университет, Казань, Россия
Email: insaf.malikov@gmail.com, nik061287@mail.ru, mkhsalakhov@gmail.com, ltagirov@mail.ru
Поступила в редакцию: 14 декабря 2022 г.
В окончательной редакции: 21 октября 2023 г.
Принята к печати: 22 октября 2023 г.
Выставление онлайн: 25 декабря 2023 г.

Для получения электрохромного катодного материала, спектральное пропускание которого можно регулировать уровнем легирования, применено катионное легирование оксида вольфрама молибденом. Методом реактивного магнетронного ко-распыления металлических мишеней вольфрама и молибдена в смеси газов аргона и кислорода синтезирована серия тонкопленочных образцов. Их морфология, структура, элементный состав и валентные состояния составляющих элементов охарактеризованы методами сканирующей электронной микроскопии, рентгеновской дифракции, энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Оптические свойства измерены с использованием спектрофотометрии пропускания и спектроскопической эллипсометрии. С повышением степени легирования полученные пленки приобретают серую окраску и становятся малопрозрачными. Эллипсометрические исследования показали, что при этом усиливается поглощение как в коротковолновой, так и в длинноволновой части видимого и прилежащих к нему частей спектра. В результате происходит взаимная компенсация цветового окрашивания, которая приводит к почти ахроматическому изменению оптического пропускания, улучшая, таким образом, потребительские качества электрохимического материала и устройств на основе оксида вольфрама. Ключевые слова: электрохромизм, триоксид вольфрама, легирование молибденом, оптическое пропускание, спектроскопическая эллипсометрия.