Журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Метод m-линий при рефлектометрии ультратонких слоев
Министерство образования Республики Беларусь, 1.15 Фотоника и электроника для инноваций, 20211116
Сотский А.Б.
1, Чудаков Е.А.
1, Шилов А.В.
1, Сотская Л.И.
2
1Могилевский государственный университет имени А.А. Кулешова, Могилев, Беларусь 
2Белорусско-Российский университет, Могилев, Беларусь
2Белорусско-Российский университет, Могилев, Беларусь
Email: ab_sotsky@mail.ru, kenni_mark@bk.ru, shilov@msu.by, li_sotskaya@tut.by
Поступила в редакцию: 19 июля 2023 г.
В окончательной редакции: 5 октября 2023 г.
Принята к печати: 23 октября 2023 г.
Выставление онлайн: 27 января 2024 г.
Получено решение векторной электродинамической задачи описания распределения интенсивности когерентного светового пучка, отраженного от плоскослоистой среды. Определены условия наблюдения m-линий в названном распределении при отражении гауссова пучка от ультратонкого (наноразмерного) слоя на подложке. Установлено, что контраст m-линий весьма чувствителен к толщине такого слоя. На этой основе предложен новый метод контроля толщины и показателя преломления ультратонких слоев. Его особенностями являются локальный контроль слоя, отсутствие опорного сигнала и отсутствие необходимости механического вращения образца, способствующие стабильности измерений. Выполнен анализ погрешностей метода. Представлены эксперименты по наблюдению и обработке m-линий при решении обратной оптической задачи для оксидных слоев на поверхности кремния. Результаты сопоставлены с данными многоугловой когерентной эллипсометрии. Ключевые слова: рефлектометрия, ультратонкий слой, m-линия, обратная оптическая задача, мода Ценнека, сфокусированный световой пучок, оксидный слой на кремнии.
- A.V. Tikhonravov, T.V. Amotchkina, M.K. Trubetskov, R.J. Francis, V. Janitski, J. Sancho-Parramon, H. Zorc, V. Pervak. Appl. Opt., 51 (2), 245 (2012). DOI: 10.1364/ao.51.000245
- А.Б. Сотский, С.С. Михеев, Н.И. Стаськов, Л.И. Сотская. Опт. и спектр., 128 (8), 1133 (2020). DOI: 10.21883/OS.2020.08.49711.79-20
- D.E. Aspnes. Thin Solid Films, 571, 334 (2014). DOI: 10.1016/j.tsf.2014.03.056
- Л.А. Федюхин, А.В. Горчаков, Е.А. Колосовский. Опт. и спектр., 128 (2), 266 (2020). DOI: 10.21883/OS.2020.02.48975.219-19
- Д.И. Биленко, А.А. Сагайдачный, В.В. Галушка, В.П. Полянская. ЖТФ, 80 (10), 89 (2010). [D.I. Bilenko, A.A. Sagaidachnyi, V.V. Galushka, V.P. Polyanskaya. Tech. Phys., 55 (10), 1478 (2010). DOI: 10.1134/S1063784210100130]
- И.М. Алиев, С.П. Зинченко, А.П. Ковтун, Г.Н. Толмачев, А.В. Павленко. ЖТФ, 85 (10), 145 (2015)
- A. Rosencwaig, J. Opsal, D.L. Willenborg, S.M. Kelso, J.T. Fanton. Appl. Phys. Lett., 60 (11), 1301 (1992). DOI: 10.1063/1.107323
- C. Garam, K. Mingyu, K. Jinyong, J.P. Heui. Opt. Express, 28, 26908 (2020). DOI: 10.1364/OE.405204
- J. Wang, L. Peng, F. Zhai, D. Tang, F. Gao, X. Zhang, R. Chen, L. Zhou, X. Jiang. Opt. Express, 31, 6552 (2023). DOI: 10.1364/OE.481389
- D.C. Holmes, R.P. Johnson. Proc. SPIE, 2337, 176 (1994). DOI:10.1117/12.186643
- A.V. Khomchenko. Waveguide Spectroscopy of Thin Films (Academic Press, Amsterdam, 2005)
- А.Б. Сотский. Теория оптических волноводных элементов (УО "МГУ им. А.А. Кулешова", Могилев, 2011)
- Э. Камке. Справочник по обыкновенным дифференциальным уравнениям. (Наука, М., 1951)
- Г. Корн, Т. Корн. Справочник по математике. (Наука, Москва, 1977)
- R. Ulrich. J. Opt. Soc. Am., 20 (10), 1337 (1970). DOI: 10.1364/JOSA.60.001337
- В.И. Смирнов. Курс высшей математики, т. 3, ч. 2 (БХВ-Петербург, СПб, 2010)
- E.D. Palik. Handbook of Optical Constants of Solids (Academic press, Orlando, 1985)
- А.Б. Сотский, С.С. Михеев, М.М. Назаров. Докл. НАН Беларуси, 63 (6), 672 (2019). DOI: 10.29235/1561-8323-2019-63-6-672-679
- А.Б. Сотский, М.М. Назаров, С.С. Михеев, Л.И. Сотская. ЖТФ, 91 (2), 315 (2020). DOI: 10.21883/JTF.2021.02.50368.199-20
- А.Б. Сотский, Л.М. Штейнгарт, С.О. Парашков, Л.И. Сотская. Известия РАН. Cер. физ., 80 (4), 465 (2016). DOI: 10.7868/S036767651604030X
- A. Piegari, E. Masetti. Thin Solid Films, 124, 249 (1985). DOI: 10.1016/0040-6090(85)90273-1
- D. Bing, Y. Wang, J. Bai, R. Du, G. Wu, L. Liu. Opt. Commun., 406, 128 (2018). DOI: 10.1016/j.optcom.2017.06.012
- Y. Ghim, H. Rhee. Opt. Lett., 44, 5418 (2019). DOI: 10.1364/OL.44.005418
- Н.И. Стаськов, Л.И. Сотская. ЖПС, 84 (5), 703 (2017). [N.I. Staskov, L.I. Sotskaya. J. Appl. Spectr., 84, 764 (2017). DOI: 10.1007/s10812-017-0542-z]
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
