Влияние режимов облучения наносекундным иттербиевым лазером на морфологию пленок пористого кремния
Министерство науки и высшего образования РФ , Государственное задание, FSSN-2020-0003
Рыбина Н.В.1, Рыбин Н.Б.1, Хилов В.С.2, Трегулов В.В.2, Горбунова Ю.Н.2
1Рязанский государственный радиотехнический университет, Рязань, Россия
2Рязанский государственный университет им. С.А. Есенина, Рязань, Россия
Email: nikolay.rybin@yandex.ru
Поступила в редакцию: 30 января 2024 г.
В окончательной редакции: 12 марта 2024 г.
Принята к печати: 19 марта 2024 г.
Выставление онлайн: 23 апреля 2024 г.
Показано, что морфологией поверхности пленок пористого кремния можно гибко управлять за счет изменения параметров облучения импульсным наносекундным иттербиевым волоконным лазером. Установлена взаимосвязь между параметрами лазерного облучения пористых пленок и информационно-корреляционными характеристиками их фронтальной поверхности. Исследуемые полупроводниковые структуры могут быть актуальны для реализации нейронных сетей, систем искусственного интеллекта, а также химических датчиков. Ключевые слова: пористый кремний, металл-стимулированное травление, лазерная абляция, взаимная информация, флуктуационный анализ, информационное состояние.
- T. Dzhafarov, A. Bayramov. Handbook of Porous Silicon, ed. by L. Canham (Springer International Publishing AG, part of Springer Nature, 2018), p. 1479-1492
- H.V. Bandarenka. Handbook of Porous Silicon, ed. by L. Canham (Springer International Publishing AG, part of Springer Nature, 2018), p. 1315-1335
- R.A. Ismail, M.K. Abood. Intern. Nano Lett., 3, 11, (2013). http://www.inl-journal.com/content/3/1/11
- V.V. Tregulov, V.A. Stepanov, N.N. Melnik. Polytechnical State University J. Phys. Mathem., 11 (1), 18 (2018). DOI: 10.18721/JPM.11102
- М.С. Русецкий, Н.М. Казючиц, Г.Д. Ивлев. Сб. науч. тр. III Междунар. науч. конф. (Минск, Беларусь, 2008), с. 150
- Л.М. Сорокин, В.И. Соколов, А.П. Бурцев, А.Е. Калмыков, Л.В. Григорьев. Письма в ЖТФ, 33 (24), 69 (2007)
- А.В. Алпатов, С.П. Вихров, Н.В. Вишняков, С.М. Мурсалов, Н.Б. Рыбин, Н.В. Рыбина. ФТП, 50 (1), 23 (2016)
- Madhavi Karanam, Mohan Rao G., Habibuddin Shaik, Padmasuvarna R. Intern. Lett. Chem. Phys. Astronomy, 71, 40 (2016)
- H. Han, Z. Huang, W. Lee. Nano Today, 9 (3), 271 (2014)
- Y. Zhao, Z. Liu, C. Liang, M.Yu. Maximov, B. Liu, J. Wang, F. Yin. Int. J. Electrochem. Sci., 12, 8591 (2017)
- Е.В. Бармина, Э. Стратакис, К. Фотакис, Г.А. Шафеев. Квантовая электроника, 40 (11), 1012 (2010)
- А.В. Алпатов, С.П. Вихров, Н.В. Гришанкина. ФТП, 47 (3), 340 (2013)
- С.П. Вихров, Т.Г. Авачева, Н.В. Бодягин, Н.В. Гришанкина, А.П. Авачев. ФТП, 46 (4), 433 (2012)
- Н.В. Рыбина, С.П. Вихров, Н.Б. Рыбин. Вестник Рязанского гос. радиотехнического ун-та, 61 (3), 143 (2017)
- В.В. Круглов, M.И. Дли, Р.Ю. Голунов. Нечеткая логика и искусственные нейронные сети (Физматлит, М., 2000)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.