Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2024, выпуск 7 » Статья стр. 1015
<<<>>>
Газовые мишени для точечного источника вакуумного и экстремального ультрафиолетового излучения, поддерживаемого сфокусированным электромагнитным излучением
Российский научный фонд, 19-72-20166
Сидоров А.В. 1, Веселов А.П.1, Водопьянов А.В. 1, Мурзанев А.А.1, Степанов А.Н.1
1Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова РАН, Нижний Новгород, Россия
Email: alexsv@ipfran.ru, veselov@ipfran.ru, avod@ipfran.ru, murzanev@ipfran.ru, step1an@ipfran.ru
Поступила в редакцию: 23 апреля 2024 г.
В окончательной редакции: 23 апреля 2024 г.
Принята к печати: 23 апреля 2024 г.
Выставление онлайн: 1 июля 2024 г.
PDF версия
Проведено экспериментальное исследование различных газовых мишеней для источника точечной плазмы на основе разряда в неоднородном потоке газа. В результате проведенных экспериментов удалось пронаблюдать структуры напускаемых струй для различных мишеней с разными отверстиями напуска газа. Продемонстрировано, что при существенном снижении давления фонового газа происходит практический развал струи и газ напускается равномерно во всех направлениях. Ключевые слова: разряд в неоднородном потоке газа, экстремальное ультрафиолетовое излучение, интерферометрия газовой струи.
  1. H.J. Levinson. Proc. Int. Workshop on EUV Lithography (CXRO, LBNL, Berkeley, CA, USA. June 13-16, 2016), p. 1. https://www.euvlitho.com/2016/P1.pdf
  2. В.М. Борисов, Г.Н. Борисова, А.Ю. Виноходов, С.В. Захаров, A.С. Иванов, Ю.Б. Кирюхин, В.А. Мищенко, А.В. Прокофьев, O.Б. Христофоров. Квантовая электроника, 40 (8), 720 (2010). [V.M. Borisov, G.N. Borisova, A.Yu. Vinokhodov, S.V. Zakharov, A.S. Ivanov, Yu.B. Kiryukhin, V.A. Mishchenko, A.V. Prokof'ev, O.B. Khristoforov. Quant. Electron., 40 (8), 720 (2010). DOI: 10.1070/QE2010v040n08ABEH014369]
  3. B. Jiang, Ch. Feng, Ch. Li, Zh. Bai, W. Wan, D. Xiang, Q. Gu, K. Wang, Q. Zhang, D. Huang, S. Chen. Scientif. Reports, 12, 3325 (2022). DOI: 10.1038/s41598-022-07323-z
  4. N.I. Chkhalo, N.N. Salashchenko. AIP Advances, 3, 082130 (2013). DOI: 10.1063/1.4820354
  5. H. Fiedorowicz, A. Bartnik, Z. Patron, P. Parys. Appl. Phys. Lett., 62, 2778 (1993)
  6. S.A. Bogachev, N.I. Chkhalo, S.V. Kuzin, D.E. Pariev, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, S.V. Shestov, S.Y. Zuev. Appl. Optics, 55, 2126 (2016). DOI: 10.1364/AO.55.002126
  7. N.I. Chkhalo, S.A. Garakhin, A.Ya. Lopatin, A.N. Nechay, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, N.N. Tsybin, S.Yu. Zuev. AIP Advances, 8, 105003 (2018). DOI: 10.1063/1.5048288
  8. S.G. Kalmykov, P.S. Butorin, M.E. Sasin. J. Appl. Phys., 126, 103301 (2019). DOI: 10.1063/1.5115785
  9. V.Y. Banine, K.N. Koshelev, G.H.P.M. Swinkels. J. Phys. D: Appl. Phys., 44, 253001 (2011). DOI: 10.1088/0022-3727/44/25/253001
  10. A.V. Sidorov. J. Phys. D: Appl. Phys., 55, 293001 (2022). DOI: 10.1088/1361-6463/ac5556
  11. I.S. Abramov, E.D. Gospodchikov, A.G. Shalashov. Phys. Rev. Appl., 10, 034065 (2018). DOI: 10.1103/PhysRevApplied.10.034065
  12. A. Shalashov, E. Gospodchikov. IEEE Trans. Antennas Propag., 64, 3960 (2016). DOI: 10.1109/TAP.2016.2583487
  13. A.G. Shalashov, A.V. Vodopyanov, I.S. Abramov, A.V. Sidorov, E.D. Gospodchikov, S.V. Razin, N.I. Chkhalo, N.N. Salashchenko, M.Yu. Glyavin, S.V. Golubev. Appl. Phys. Lett., 113, 153502 (2018). DOI: 10.1063/1.5049126
  14. Yu.K. Kalynov, S.V. Razin, A.V. Sidorov, A.V. Vodopyanov, A.P. Veselov. Proc. SPIE 11582, Fourth International Conference on Terahertz and Microwave Radiation: Generation, Detection, and Applications (Tomsk, Russia, 24-26 August 2020), 11582, 115820P (2020). DOI: 10.1117/12.2580161
  15. V.V. Kubarev, Ya.I. Gorbachev, O.A. Shevchenko, A.V. Vodopyanov, A.V. Sidorov, A.P. Veselov. Plasma Sourc. Sci. Technol., 32, 055004 (2023). DOI: 10.1088/1361-6595/accca9
  16. П.С. Буторин, С.Г. Калмыков, М.Э. Сасин. Письма в ЖТФ, 44 (23), 111 (2018). DOI: 10.21883/PJTF.2018.23.47018.17340 [P.S. Butorin, S.G. Kalmykov, M.E. Sasin. Tech. Phys. Lett., 44 (12), 1100 (2018). DOI: 10.1134/S1063785018120209]
  17. T. Barmashova, A. Luchinin, A. Murzanev, S. Razin, A. Sidorov, A. Stepanov, A. Veselov, A. Vodopyanov. IEEE Trans. Terahertz Sci. Technol., 13, 3-9 (2023). DOI: 10.1109/TTHZ.2022.3164546
  18. В.Н. Очкин. Спектроскопия низкотемпературной плазмы (ФМЛ, М., 2006) [V.N. Ochkin. Spectroscopy of Low Temperature Plasma (Wiley-VCH, Berlin, 2009)]
  19. R. Rakowski, A. Bartnik, H. Fiedorowicz, F. de Gaufridy de Dortan, R. Jarocki, J. Kostecki, J. Miko ajczyk, L. Ryc', M. Szczurek, P. Wachulak. Appl. Phys. B, 101, 773 (2010). DOI: 10.1007/s00340-010-4327-9

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme