Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2024, выпуск 7 » Статья стр. 1029
<<<>>>
Применение метода ионно-пучкового травления свободновисящих пленок для разработки пленочных корректоров экстремального ультрафиолетового диапазона длин волн
Министерства науки и высшего образования Российской Федерации, Федеральная научно-техническая программа развития синхротронных и нейтронных исследований и исследовательской инфраструктуры на 2019 - 2027 годы, 075-15-2021-1350
Цыбин Н.Н.1, Клюенков Е.Б.1, Лопатин А.Я.1, Лучин В.И.1, Пестов А.Е.1, Чхало Н.И.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: tsybin@ipmras.ru, kluenkov@ipmras.ru, lopatin@ipmras.ru, luchin@ipmras.ru, aepestov@ipmras.ru, chkhalo@ipmras.ru
Поступила в редакцию: 26 апреля 2024 г.
В окончательной редакции: 26 апреля 2024 г.
Принята к печати: 26 апреля 2024 г.
Выставление онлайн: 1 июля 2024 г.
PDF версия
Предложена методика создания свободновисящих пленочных элементов, предназначенных для коррекции аберраций волнового фронта излучения в оптических схемах с рабочей длиной волны в спектральной области мягкого рентгеновского и экстремального ультрафиолетового диапазонов. Изготовлены образцы пленочных структур, служащих исходной основой при формировании фазовых корректоров с характерной величиной модуляции фазы, соответствующей оптической разности хода ~1 nm на длине волны 13.5 nm, и с однородным по апертуре пропусканием не менее 60%. Продемонстрирована возможность использования ионного травления для локального изменения толщины свободновисящих многослойных пленок. Ключевые слова: многослойные свободновисящие пленки, корректор волнового фронта, ионно-пучковое травление, мягкий рентгеновский и экстремальный ультрафиолетовый диапазон длин волн.
  1. М. Борн, Э. Вольф. Основы оптики (Наука, М., 1973)
  2. V. Bakshi. EUV Lithography (SPIE, John Wiley \& Sons, Inc., 2008)
  3. R. Saathof, G.J.M. Schutten, J.W. Spronck, R.H.M. Schmidt. Precision Engineer., 41, 102 (2015). DOI: 10.1016/j.precisioneng.2015.03.004
  4. M. Singh, M.F. Bal, J.J.M. Braat, D. Joyeux, U. Dinger. Appl. Opt., 42 (10), 1847 (2003). DOI:10.1364/ao.42.001847
  5. M. Yamamoto. Nucl. Instrum. Methods A, 467-468 (2), 1282 (2001). DOI: 10.1016/S0168-9002(01)00640-4
  6. B. Bittner, N. Wabra, S. Schneider et al. Patent DE102012202057B4. 10.02.2012
  7. N.I. Chkhalo, M.N. Drozdov, S.A. Gusev, E.B. Kluenkov, A.Ya. Lopatin, V.I. Luchin, N.N. Salashchenko, L.A. Shmaenok, N.N. Tsybin, B.A. Volodin. Proc. SPIE, 8076, 80760O-1 (2011). DOI: 10.1117/12.886781
  8. N.I. Chkhalo, M.N. Drozdov, E.B. Kluenkov, A.Ya. Lopatin, V.I. Luchin, N.N. Salashchenko, N.N. Tsybin, L.A. Sjmaenok, V.E. Banine, A.M. Yakunin. J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS., 11 (2), 021115 (2012). DOI: 10.1117/1.JMM.11.2.021115
  9. С.Ю. Зуев, А.Я. Лопатин, В.И. Лучин, Н.Н. Салащенко, Н.Н. Цыбин, Н.И. Чхало. Микроэлектроника, 52 (5), 354 (2023). DOI: 10.31857/S0544126923700539
  10. A.D. Akhsakhalyan, E.B. Kluenkov, A.Ya. Lopatin, V.I. Luchin, A.N. Nechay, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.V. Svechnikov, M.N. Toropov, N.N. Tsybin, N.I. Chkhalo, A.V. Shcherbakov. J. Surf. Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques, 11 (1), 1 (2017). DOI:10.1134/S1027451017010049
  11. Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало, Н.А. Дюжев. Поверхность. Рентген. синхротр. и нейтрон. исслед., 10, 10 (2018). DOI: 10.1134/S0207352818100165
  12. N.I. Chkhalo, N.N. Salashchenko. AIP Advances, 3, 082130 (2013). DOI: 10.1063/1.4820354
  13. Электронный ресурс. Режим доступа: https://cxro.lbl.gov/
  14. M.S. Bibishkin, N.I. Chkhalo, S.A. Gusev, E.B. Kluenkov, A.Y. Lopatin, V.I. Luchin, A.E. Pestov, N.N. Salashchenko, L.A. Shmaenok, N.N. Tsybin, S.Y. Zuev. Proc. SPIE, 7025, 702502 (2008). DOI:10.1117/12.802347
  15. N.I. Chkhalo, E.B. Kluenkov, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, D.G. Raskin, N.N. Salashchenko, L.A. Suslov, M.N. Toropov. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A, 603 (1-2), 62 (2009). DOI: 10.1016/j.nima.2008.12.160
  16. М.С. Бибишкин, И.Г. Забродин, И.А. Каськов, Е.Б. Клюенков, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, Д.П. Чехонадских, Н.И. Чхало, Л.А. Шмаенок. Известия АН. Сер. физ., 68 (4), 560 (2004)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme