Вышедшие номера
Многослойные структуры на основе Ni для зеркал гебелевского типа
Министерство образования и науки Российской Федерации, 075-15-2021-1362
Дуров К.В. 1, Полковников В.Н.1, Чхало Н.И.1, Ахсахалян А.А.1, Малышев И.В.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: zevs2801@mail.ru
Поступила в редакцию: 7 мая 2024 г.
В окончательной редакции: 7 мая 2024 г.
Принята к печати: 7 мая 2024 г.
Выставление онлайн: 27 июля 2024 г.

Впервые исследованы характеристики многослойной структуры Ni80Mo20/Si, перспективной для изготовления зеркал Гебеля. Определены структурные параметры многослойной структуры. Показано, что величины переходных областей для σ(Ni80Mo20) и σ(Si) составляют 5 и 8.5 Angstrem соответственно. Найден состав структур, при котором достигалась лучшая отражательная способность R=69.5-56.1% для периодов 41.5-32 Angstrem. Ключевые слова: многослойные рентгеновские зеркала, магнетронное напыление, гебелевские зеркала.
  1. M. Schuster, H. Gobel. J. Phys. D: Appl. Phys., 28, 270 (1995). DOI: 10.1088/0022-3727/28/4A/053
  2. Э.П. Кругляков, А.Д. Николенко, Е.П. Семенов, Е.Д. Чхало, Н.И. Чхало. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 1, 151 (1999)
  3. D.L. Windt, F.E. Christensen, W.W. Craig, C. Hailey, F.A. Harrison, M. Jimenez-Garate, R. Kalyanaraman, P.H. Mao. J. Аppl. Рhys., 88 (1), 460 (2000)
  4. A.V. Andreev, A.G. Michette, A. Renwick. J. Modern Opt., 35, 1667 (1988)
  5. O. Renner, M. Kopecky, E. Krousky, F. Schafers, B.R. Muller, N.I. Chkhalo. Rev. Sci. Instrum., 63 (1), 1478 (1992). DOI: 10.1063/1.1143047
  6. M. Svechnikov. J. Appl. Crystallogr., 53 (1), 244 (2020)
  7. B.L. Henke, E.M. Gullikson, J.C. Davis. Atomic Data Nucl. Data Tables, 54 (2), 181 (1993)
  8. H. Takenaka, T. Kawamura, H. Kinoshita. Thin Solid Films, 288 (1-2), 99 (1996). DOI: 10.1016/S0040-6090(96)08837-2
  9. C. Sella, K. Youn, R. Barchewitz, M. Arbaoui, R. Krishnan. Appl. Surf. Sci., 33--34, 1208 (1988). DOI: 10.1016/0169-4332(88)90436-9
  10. M. Cilia, J. Verhoeven. J. Appl. Phys., 82, 4137 (1997). DOI: 10.1063/1.366213
  11. D.G. Stearns. Appl. Phys. Lett., 62 (15), 1745 (1993)
  12. G. Palasantzas. Phys. Rev. B, 48 (19), 14472 (1993)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.