Вышедшие номера
Многослойные структуры на основе Ni для зеркал гебелевского типа
Министерство образования и науки Российской Федерации, 075-15-2021-1362
Дуров К.В. 1, Полковников В.Н.1, Чхало Н.И.1, Ахсахалян А.А.1, Малышев И.В.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: zevs2801@mail.ru
Поступила в редакцию: 7 мая 2024 г.
В окончательной редакции: 7 мая 2024 г.
Принята к печати: 7 мая 2024 г.
Выставление онлайн: 27 июля 2024 г.

Впервые исследованы характеристики многослойной структуры Ni80Mo20/Si, перспективной для изготовления зеркал Гебеля. Определены структурные параметры многослойной структуры. Показано, что величины переходных областей для σ(Ni80Mo20) и σ(Si) составляют 5 и 8.5 Angstrem соответственно. Найден состав структур, при котором достигалась лучшая отражательная способность R=69.5-56.1% для периодов 41.5-32 Angstrem. Ключевые слова: многослойные рентгеновские зеркала, магнетронное напыление, гебелевские зеркала.