Многослойные структуры на основе Ni для зеркал гебелевского типа
Министерство образования и науки Российской Федерации, 075-15-2021-1362
Дуров К.В.
1, Полковников В.Н.
1, Чхало Н.И.
1, Ахсахалян А.А.
1, Малышев И.В.
11Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: zevs2801@mail.ru
Поступила в редакцию: 7 мая 2024 г.
В окончательной редакции: 7 мая 2024 г.
Принята к печати: 7 мая 2024 г.
Выставление онлайн: 27 июля 2024 г.
Впервые исследованы характеристики многослойной структуры Ni80Mo20/Si, перспективной для изготовления зеркал Гебеля. Определены структурные параметры многослойной структуры. Показано, что величины переходных областей для σ(Ni80Mo20) и σ(Si) составляют 5 и 8.5 Angstrem соответственно. Найден состав структур, при котором достигалась лучшая отражательная способность R=69.5-56.1% для периодов 41.5-32 Angstrem. Ключевые слова: многослойные рентгеновские зеркала, магнетронное напыление, гебелевские зеркала.
- M. Schuster, H. Gobel. J. Phys. D: Appl. Phys., 28, 270 (1995). DOI: 10.1088/0022-3727/28/4A/053
- Э.П. Кругляков, А.Д. Николенко, Е.П. Семенов, Е.Д. Чхало, Н.И. Чхало. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 1, 151 (1999)
- D.L. Windt, F.E. Christensen, W.W. Craig, C. Hailey, F.A. Harrison, M. Jimenez-Garate, R. Kalyanaraman, P.H. Mao. J. Аppl. Рhys., 88 (1), 460 (2000)
- A.V. Andreev, A.G. Michette, A. Renwick. J. Modern Opt., 35, 1667 (1988)
- O. Renner, M. Kopecky, E. Krousky, F. Schafers, B.R. Muller, N.I. Chkhalo. Rev. Sci. Instrum., 63 (1), 1478 (1992). DOI: 10.1063/1.1143047
- M. Svechnikov. J. Appl. Crystallogr., 53 (1), 244 (2020)
- B.L. Henke, E.M. Gullikson, J.C. Davis. Atomic Data Nucl. Data Tables, 54 (2), 181 (1993)
- H. Takenaka, T. Kawamura, H. Kinoshita. Thin Solid Films, 288 (1-2), 99 (1996). DOI: 10.1016/S0040-6090(96)08837-2
- C. Sella, K. Youn, R. Barchewitz, M. Arbaoui, R. Krishnan. Appl. Surf. Sci., 33--34, 1208 (1988). DOI: 10.1016/0169-4332(88)90436-9
- M. Cilia, J. Verhoeven. J. Appl. Phys., 82, 4137 (1997). DOI: 10.1063/1.366213
- D.G. Stearns. Appl. Phys. Lett., 62 (15), 1745 (1993)
- G. Palasantzas. Phys. Rev. B, 48 (19), 14472 (1993)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
