Вышедшие номера
Модель поведения МОП-структур при радиационно-термических обработках
Александров О.В.1, Мокрушина С.А.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Email: Aleksandr_ov@mail.ru
Поступила в редакцию: 15 июля 2024 г.
В окончательной редакции: 19 сентября 2024 г.
Принята к печати: 26 сентября 2024 г.
Выставление онлайн: 29 октября 2024 г.

Разработана количественная модель влияния радиационно-термических обработок на стойкость МОП-структур к ионизирующему облучению. В основе модели лежат реакции взаимодействия дырок, образующихся при ионизирующем облучении, с водородосодержащими и безводородными ловушками в подзатворном диэлектрике. Захват дырок водородосодержащими ловушками стимулирует разрыв водородной связи и превращение их в безводородные ловушки с меньшим сечением захвата. Модель позволила описать повышение радиационной стойкости МОП-структур при последовательных циклах облучение-отжиг при сохранении интегральной концентрации ловушек. Ключевые слова: МОП-структуры, радиационно-термические обработки, ионизирующее облучение, радиационная стойкость.