Расчет термоупругих напряжений в ленточных кристаллах оксида галлия, выращиваемых из расплава методом Степанова в различных кристаллографических ориентациях
Крымов В.М.
1, Галактионов Е.В.
1, Бахолдин С.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: V.Krymov@mail.ioffe.ru, evgalakt@mail.ru, s.bakholdin@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 1 мая 2024 г.
В окончательной редакции: 22 мая 2024 г.
Принята к печати: 30 октября 2024 г.
Выставление онлайн: 6 декабря 2024 г.
Проведено исследование влияния анизотропии на распределение термоупругих напряжений в тонких кристаллических пластинах оксида галлия. Приведены приближенные формулы для компонент тензора напряжений, полученные с помощью асимптотического интегрирования уравнений термоупругости с учетом прямолинейной анизотропии общего вида. Проведено сравнение величин напряжений для двух направлений выращивания. Показано, что выбор ориентации направления выращивания позволил управлять величиной и распределением термоупругих напряжений, возникающих в кристаллах оксида галлия при их выращивании из расплава. Ключевые слова: термоупругие напряжения, асимптотический метод, анизотропия тепловых и упругих свойств.
- S.J. Pearton, J. Yang, P.H. Cary IV, F. Ren, J. Kim, M.J. Tadjer, M.A. Mastro. Appl. Phys. Rev., 5, 011301 (2018). DOI: 10.1063/1.5006941
- S.I. Stepanov, V.I. Nikolaev, V.E. Bougrov, A.E. Romanov. Rev. Adv. Mater. Sci., 44, 63 (2016)
- J.D. Blevins, K. Stevens, A. Lindsey, G. Foundos, L. Sande. IEEE T S M, 32 (4), 466 (2019). DOI: 10.1109/TSM.2019.2944526
- A.V. Stepanov. Tech. Phys., 29, 382 (1959)
- H.E. LaBelle, A.I. Mlavsky. Mater. Res. Bull., 6, 571 (1971)
- M.A. Mastro, A. Kuramata, J. Calkins, J. Kim, F. Ren, S. Pearton. ECS J. Solid State Sci. Technol., 6, 356 (2017). DOI: 10.1149/2.0031707jss
- K. Shimamura, E.G. Villora, K. Matsumura, K. Aoki, M. Nakamura, S. Takekawa, N. Ichinose, K. Kitamura. Nihon Kessho Seicho Gakkaishi, 33, 147 (2006)
- H. Aida, K. Nishiguchi, H. Takeda, N. Aota, K. Sunakawa, Y. Yaguchi. Jpn. J. Appl. Phys., 47 (11), 8506 (2008). DOI: 10.1143/JJAP.47.8506
- A. Kuramata, K. Koshi, S. Watanabe, Y. Yamaoka, T. Masui, S. Yamakoshi. Jpn. J. Appl. Phys., 55, 1202A2 (2016). DOI: 10.7567/JJAP.55.1202A2
- H. Tang, N. He, H. Zhang, B. Liu, Z. Zhu, M. Xu, L. Chen, J. Liu, X. Ouyang, J. Xu. Cryst. Eng. Comm., 22, 924 (2020). DOI: 10.1039/C9CE01294J
- Y. Bu, J. Wei, Q. Sai, H. Qi. Cryst. Eng. Comm., 25, 3556 (2023). DOI: 10.1039/d3ce00249g
- C. Le, Z. Li, W. Mu, Z. Jia, L. Liu. J. Crystal Growth, 83, 506 (2019). DOI: 10.1016/j.jcrysgro.2018.10.029
- W. Jeong, S. Choi, S. Lim, Y. Shin, S. Bae, J. Kang, W. Lee, S. Kwon, S. Jeong. Crystals, 13, 1591 (2023). DOI: 10.3390/cryst13111591
- P.I. Antonov, S.I. Bakholdin, E.V. Galaktionov, E.A. Tropp, S.P. Nikanorov. J. Crystal Growth, 52 (1), 404 (1981)
- П.И. Антонов, С.И. Бахолдин, И.Ю. Вандакуров, Е.В. Галактионов, Э.А. Тропп. Изв. АН СССР, сер физич., 47 (2), 286 (1983)
- С.И. Бахолдин, Е.В. Галактионов, В.М. Крымов. ЖТФ, 93 (12), 1708 (2023). DOI: 10.61011/JTF.2023.12.56800.f249-23
- П.И. Антонов, С.И. Бахолдин, Е.В. Галактионов, Э.А. Тропп. Изв. АН СССР, сер физич., 44 (2), 255 (1980)
- W. Miller, K. Bottcher, Z. Galazka, J. Schreuer. Crystals, 7 (1), 26 (2017). DOI: 10.3390/ cryst7010026
- И.Е. Зино, Э.А. Тропп. Асимптотические метолы в задачах теории теплопроводности и термоупругости (ЛГУ, Л., 1978)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.