Вышедшие номера
Анализ спектральной зависимости коэффициента пропускания системы пленка диоксида титана-стеклянная подложка
Сотникова Л.В.1,2, Ханефт А.В.1
1Кемеровский государственный университет, Кемерово, Россия
2Институт углехимии и химического материаловедения СО РАН, Кемерово, Россия
Email: avkhaneft@mail.ru
Поступила в редакцию: 20 июня 2024 г.
В окончательной редакции: 23 сентября 2024 г.
Принята к печати: 16 октября 2024 г.
Выставление онлайн: 6 января 2025 г.

Получены слабопоглощающие пленки диоксида титана (фаза анатаз) различной толщины на стеклянной подложке. Определены спектральные зависимости коэффициентов пропускания стеклянной подложки и системы стеклянная подложка-пленка диоксида титана в интервале длин волн 350-900 nm. Спектральная зависимость коэффициента пропускания системы пленка-подложка от длины волны света спектрофотометра имеет ярко выраженные чередующиеся максимумы и минимумы, обусловленные интерференцией. Определены толщины одно-, трех- и пятислойной пленок анатаза и дисперсия показателя преломления для пятислойной пленки. Проведены расчеты спектральной зависимости коэффициента пропускания. Показано, что чем меньше отношение толщины пленки диоксида титана к длине волны света, тем лучше результаты расчетов дисперсии коэффициента пропускания согласуются с экспериментом. Определена спектральная зависимость коэффициента поглощения для пятислойной пленки диоксида титана. Ключевые слова: диоксид титана (анатаз), показатель преломления, дисперсия, коэффициенты пропускания и поглощения.
  1. В.И. Фистуль. Сильно легированные полупроводники (Наука, М., 1967)
  2. В.М. Зайнулина, В.П. Жуков, В.Н. Красильников, М.Ю. Янченко, Л.Ю. Булдакова, Е.В. Поляков. ФТТ, 52 (2), 253 (2010). [V.M. Zainulina, V.P. Zhukov, V.N. Krasil'nikov, M.Yu. Yanchenko, L.Y. Buldakova, E.V. Polyakov. Phys. of the Solid State, 52 (2), 271 (2010).]
  3. Л.С. Лунин, М.Л. Лунина, A.A. Кравцов, И.А. Сысоев, А.В. Блинов. ФТП, 50 (9), 1253 (2016). [L.S. Lunin, M.L. Lunina, A.A. Kravtsov, I.A. Sysoev, A.V. Blinov, Semiconductors, 50 (9), 1231 (2016). DOI: 10.1134/S1063782616090141]
  4. В.А. Логачева, А.Н. Лукин, H.H. Афонин, O.B. Сербин. Опт. и спектр., 126 (6), 751 (2019). DOI: 10.21883/OS.2019.06.47769.32-19 [V.A. Logacheva, A.N. Lukin, N.N. Afonin, O.V. Serbin, Opt. Spectr., 126 (6), 674 (2019). DOI: 10.1134/S0030400X19060158]
  5. В.В. Брус, З.Д. Ковалюк, П.Д. Марьянчук. ЖТФ, 82 (8), 110 (2012). [V.V. Brus, Z.D. Kovalyuk, P.D. Maryanchuk. Tech. Phys., 57 (8), 1148 (2012).]
  6. В.М. Калыгина, И.М. Егорова, И.А. Прудаев, О.П. Толбанов. ФТП, 50 (8), 1036 (2016). [V.M. Kalygina, I.M. Egorova, V.A. Novikov, I.A. Prudaev, O.P. Tolbanov. Semiconductors, 50 (9), 1156 (2016).]
  7. В.М. Калыгина, И.М. Егорова, И.А. Прудаев, О.П. Толбанов. ФТП, 50 (9), 1178 (2016). [V.M. Kalygina, I.M. Egorova, V.A. Novikov, I.A. Prudaev, O.P. Tolbanov, Semiconductors, 50 (9), 1015 (2016).]
  8. Н.В. Чиркунова, М.В. Дорогов, А.Е. Романов. Письма в ЖТФ, 49 (11), 7, (2023). DOI: 10.21883/PJTF.2023.11.55530.19522. [N.V. Chirkunov, M.V. Dorogov, A.E. Romanov. Tech. Phys. Lett., 49 (6), 7 (2023).]
  9. M. Landmann, E. Rauls, W.G. Schmidt. J. Phys.: Condensed Matter., 24 (19), 1 (2012). DOI: 10.1088/0953-8984/24/19/195503
  10. А.А. Гончаров, А.Н. Евсюков, Е.Г. Костин, Б.В. Стеценко, Е.К. Фролов, А.И. Щуренко. ЖТФ, 80 (8), 127 (2010). [A.A. Goncharov, A.N. Evsyukov, E.G. Kostin, B.V. Stecenko, E.K. Frolov, A.I. Shchurenko. Tech. Phys., 55 (8), 1200 (2010).]
  11. А.Ю. Степанов, Л.В. Сотникова, А.А. Владимиров, А.В. Ханефт, Е.В. Просвиркина, Ф.В. Титов, Д.В. Дягилев. Ползуновский вестник, 3, 53 (2014)
  12. Д.В. Дягилев, T.A. Ларичев, B.M. Пугачев, A.A. Владимиров, Л.В. Сотникова, T.C. Манина, А.Ю. Степанов, Ю.H. Дудникова. Журнал структурной химии, 55 (6), 1208 (2014). [D.V. Dyagilev, T.A. Larichev, V.M. Pugachev, A.A. Vladimirov, L.V. Sotnikova, T.S. Manina, A.Yu. Stepanov, Yu.N. Dudnikova. J. Structural Chem., 55 (6), 1152 (2014). DOI: 10.1134/S0022476614060250
  13. В.И. Ильин, С.Ф. Мусихин, А.Я. Шик. Варизонные полупроводники и гетероструктуры (Наука, СПб., 2000)
  14. А.С. Валеев. Опт. и спектр., 15 (4), 500 (1963)
  15. Ю.И. Уханов. Оптические свойства полупроводников (Наука, М., 1966)
  16. M. Garbuny. Optical physics (Academic press, NY. and London, 1965)
  17. Н.М. Годжаев. Оптика (Высшая школа, М., 1977)
  18. А.Е. Мудров. Численные методы для ПЭВМ на языках Бейсик, Фортран и Паскаль (МП "РАСКО", Томск, 1991)
  19. В.Д. Попович, P. Potera, И.С. Вирт, М.Ф. Билык. ФТП, 43 (6), 759 (2009). [V.D. Popovych, P. Potera, I.S. Virt, M.F. Bilyk. Semiconductors, 43 (6), 730 (2009). DOI: 10.1134/S1063782609060086]
  20. N.F. Mott, E.A. Davis. Electronic Processes in Non-Crystalline Materials (Clarendon Press, Oxford, 1979)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.