Вышедшие номера
Home » Оптика и спектроскопия » Год 2024, выпуск 12 » Статья стр. 1290
<<<>>>
Комплексное прецизионное измерение оптических характеристик серийных пластин фосфида индия
Федюхин Л.А.1, Колосовский Е.А.1, Горчаков А.В.2
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
2Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Россия
Email: leogal2007@mail.ru, kolos@isp.nsc.ru, galex1111@gmail.com
Поступила в редакцию: 6 июня 2024 г.
В окончательной редакции: 27 октября 2024 г.
Принята к печати: 18 ноября 2024 г.
Выставление онлайн: 12 февраля 2025 г.
PDF версия
Выполнено прецизионное измерение оптических характеристик пластин фосфида индия серийного производства, включая толщины, показатели преломления подложки и переходных слоёв, а также поглощение переходного слоя. Измерения проведены методом инвариантов при длине световой волны 1549.14 nm. Детальный анализ целевой функции обнаружил существование регулярных областей локализации значений целевой функции - карманов. Определена ширина карманов, период, связь с параметрами, определяющими количество минимумов угловых распределений коэффициентов пропускания. Проведен расчёт доверительных интервалов измеряемых значений оптических параметров фосфида индия. Ключевые слова: классическая оптика, интерферометрия, показатель преломления, интерферометр Фабри-Перо, метод инвариантов.
  1. D.B. Leviton, B.J. Frey, Proc. SPIE, 6273, 62732K (2006), DOI: 10.1117/12.672853
  2. C.W. Wilmsen, H. Temkin, L.A. Coldren. Optics \& Laser Technology, 32, 293-296 (1999)
  3. C.F. Lin, B.L. Lee. Appl. Phys. Lett., 71, 1598-1600 (1997). DOI: 10.1063/1.119844
  4. L. Kozlowski, G. Williams, G. Sullivan, C. Farley, R. Anderson, J. Chen, D. Cheung, W. Tennant, R. DeWames. IEEE Transactions on Electron Devices, 38, 1124-1130 (1991). DOI: 10.1109/16.78388
  5. H. Cotal, C. Fetzer, J. Boisvert, G. Kinsey, R. King, P. Hebert, H. Yoon, N. Karam. Energy Environ. Sci., 2, 174 (2009)
  6. G. Rempe, R.J. Thompson, H.J. Kimble, R. Lalezari. Opt. Lett., 17, 363-365 (1992)
  7. A. Bruner, D. Eger, M.B. Oron, P. Blau, M. Katz. Opt. Lett., 28, 194-196 (2003)
  8. K.A. Koc. Opt. Spectrosc., 127, 1117-1121 (2019). DOI: 10.1134/S0030400X1912035X
  9. B.J.H. Stadler, J.P. Lorenzo. MRS Online Proceedings Library, 422, 357-362 (1996). DOI: 10.1557/PROC-422-357
  10. El-Sayed El-Zaiat. Opt. Review, 21, 54-59 (2014). DOI: 10.1007/s10043-014-0009-x
  11. S.V. Mutilin, T. Khasanov. Opt. Spectrosc., 105, 461-465 (2008). DOI: 10.1134/S0030400X0809018X
  12. G.D. Pettit, W.J. Turner. J. Appl. Phys., 36, 2081 (1965). DOI: 10.1063/1.1714410
  13. M.S. Whalen, J. Stone. J. Appl. Phys., 53, 4340 (1982). DOI: 10.1063/1.331213
  14. В.А. Швец, С.В. Рыхлицкий, И.Я. Миттова, Е.В. Томина. ЖТФ, 83 (11), 92 (2013)
  15. C.M. Herzinger, P.G. Snyder, B. Johs, J.A. Woollam. J. Appl. Phys., 77 (4), 1715 (1995)
  16. T.S. Chao, C.L. Lee, T.F. Lei. J. Materials Science Lett., 12, 721 (1993)
  17. J.A. McCaulley, V.M. Donnelly, M. Vernon, I. Taha. Phys. Rev. B, 49 (11), 7408 (1994)
  18. Shyam Singh. Phys. Scr., 65, 167 (2002)
  19. А.Л. Брикс. В кн. Исследования в области оптических и световых измерений. Труды метрологических институтов СССР (Энергия, Л., 1976), Т. 193, с. 14-19
  20. ГОСТ 28869-90. Межгосударственный стандарт ИПК (Издательство стандартов, Москва, 2005)
  21. Л.А. Федюхин, А.В. Горчаков, Е.А. Колосовский. Письма в ЖЭТФ, 116 (5), 275 (2022) DOI: 10.31857/S1234567822170025
  22. Л.А. Федюхин, А.В. Горчаков, Н.Г. Коробейщиков, И.В. Николаев. Письма в ЖЭТФ, 114 (5), 304 (2021). DOI: 10.31857/S1234567821170031
  23. М.М. Горшков. Эллипсометрия (Советское радио, М., 1974)
  24. F. Scandonne, L. Ballerini. Nuovo Cemento, 3, 81 (1946) DOI: 10.1007/BF02858126
  25. Н.И. Калитиевский. Волновая оптика (Высшая школа, М., 1995)
  26. Л.А. Федюхин, А.В. Горчаков, Е.А. Колосовский. Опт. и спектр., 128, 266 (2020). DOI: 10.21883/OS.2020.02.48975.219-19
  27. Л.А. Федюхин, А.В. Горчаков. ЖЭТФ, 158 (5), 792 (2020). DOI: 10.31857/S0044451020110036

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme