Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2025, выпуск 3 » Статья стр. 549
<<<>>>
Планаризация эпитаксиальных слоев HgCdTe, выращенных на подложках CdZnTe методом жидкофазной эпитаксии
Трофимов А.А.1, Денисов И.А.2, Андрусов Ю.Б.2, Гришечкин М.Б.2, Царегородцев Д.О.1, Косякова А.М.1, Курепин С.А.3, Смирнов А.С.3,4, Долматов В.Ю.5
1Государственный научный центр РФ Научно-производственное объединение "Орион", Москва, Россия
2Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности "Гиредмет" им. Н.П. Сажина, Москва, Россия
3Государственный научно-исследовательский институт машиностроения им. В.В. Бахирева, Дзержинск, Нижегородская обл., Россия
4Самарский государственный технический университет, Самара, Россия
5ФГУП "СКТБ "Технолог", Санкт-Петербург, Россия
Email: aa-trofimov@yandex.ru, iadenisov@rosatom.ru, andrusovyuri@gmail.com, grimb@mail.ru, deniss.tsaregorodtsev@yandex.ru, usova.am@phystech.edu, kurepin_s@gosniimash.ru, smirnoffas@mail.ru, diamondcentre@mail.ru
Поступила в редакцию: 11 октября 2024 г.
В окончательной редакции: 11 октября 2024 г.
Принята к печати: 11 октября 2024 г.
Выставление онлайн: 2 марта 2025 г.
PDF версия
На образцах гетероэпитаксиальных структур HgCdTe, выращенных на изотипных подложках CdZnTe методом жидкофазной эпитаксии в АО "Гиредмет", исследована возможность обработки поверхности эпитаксиального слоя HgCdTe с применением субмикронных алмазов детонационного синтеза отечественного производства для прецизионного удаления террасного микрорельефа и получения зеркально гладкой поверхности с субнаношероховатым рельефом, пригодной для создания инфракрасных приборов. Ключевые слова: HgCdTe, инфракрасные приборы, жидкофазная эпитаксия, химико-механическое полирование.
  1. И.Д. Бурлаков, К.О. Болтарь, С.А. Кузнецов, В.П. Пономаренко. Матер. XXVI Междунар. научно-технической конф. по фотоэлектронике и приборам ночного видения (НПО Орион, М., 2022), с. 475
  2. A. Rogalski. Infrared Detectors (USA, CRC Press, 2019), p. 898
  3. Ю.И. Белоусов, Е.С. Постников. Инфракрасная фотоника. Ч. I. Особенности формирования и распространения ИК излучения, учеб. пособие (Ун-т ИТМО, СПб., 2019), c. 82
  4. С.В. Михеев. Основы инфракрасной техники (Ун-т ИТМО, СПб., 2017), c. 127
  5. Н. Кульчицкий, А. Наумов, В. Старцев. Электроника: наука, технология, бизнес, 6 (00197), 114 (2020). DOI: 10.22184/1992-4178.2020.197.6.114.121
  6. Послание Президента РФ Федеральному Собранию (Москва, 2024) Электронный ресурс. Режим доступа: http://www.kremlin.ru/events/president/transcripts/73585
  7. Распоряжение Правительства РФ от 17.01.2020 N 20-р "Об утверждении Стратегии развития электронной промышленности Российской Федерации на период до 20230 года и плана мероприятий по реализации Стратегии"
  8. T.J. de Lyon, R.D. Rajavel, J.A. Roth, J.E. Jensen. In book: Handbook of Infrared Detection Technoloqies (Elsevier Science, 2002), Ch. 9, p. 309-352. eBook ISBN: 9780080507910
  9. Ю.Г. Сидоров, С.А. Дворецкий, В.С. Варавин, Н.Н. Михайлов, М.В. Якушев, И.В. Сабинина. ФТП, 35 (9), 1092 (2001)
  10. М.В. Якушев, Д.В. Брунев, В.С. Варавин, В.В. Васильев, С.А. Дворецкий, И.В. Марчишин, А.В. Предеин, И.В. Сабинина, Ю.Г. Сидоров, А.В. Сорочкин. ФТП, 45 (3), 396 (2011)
  11. М.В. Якушев. Гетероэпитаксия ZnTe, CdTe и твердых растворов CdHgTe на подложках GaAs и Si (Докт. дисс. Новосибирск, 2011), с. 251
  12. В.М. Базовкин, В.С. Варавин, В.В. Васильев, А.В. Глухов, Д.В. Горшков, С.А. Дворецкий, А.П. Ковчавцев, Ю.С. Макаров, Д.В. Марин, И.В. Мжельский, В.Г. Половинкин, В.Г. Ремесник, И.В. Сабинина, Ю.Г. Сидоров, Г.Ю. Сидоров, А.С. Строганов, А.В. Царенко, М.В. Якушев, А.В. Латышев. Успехи прикладной физики, 6 (6), 501 (2018)
  13. С.А. Дворецкий, Н.Н. Михайлов, В.С. Варавин, В.Г. Ремесник, М.Ф. Ступак, С.Н. Макаров, А.Г. Елесин, А.Г. Верхогляд. Тез. Докл. XXVI Междунар. научно-технической конф. по фотоэлектронике и приборам ночного видения (АО "НПО "Орион", М., 2022), c. 66-68
  14. P. Capper, J. Garland. Mercury cadmium telluride: growth, properties and applications (Wiley, UK, 2011), p. 54
  15. P. Mitra, S.L. Barnes, F.C. Case, M.B. Reine, P. O'Dette, R. Starr, A. Hairston, K. Kuhler, M.H. Weiler, B.L. Musicant. J. Electron. Mater., 26 (6), 482 (1997)
  16. А.В. Чилясов, А.Н. Моисеев, Б.С. Степанов, К.Е. Савлинов, А.П. Котков, Н.Д. Гришнова. Успехи прикладной физики, 1 (2), 209 (2013)
  17. А.П. Котков, Н.Д. Гришнова, А.Н. Моисеев. Неорганические материалы, 44 (12), 1446 (2008)
  18. А.П. Котков, Н.Д. Гришнова, А.Н. Моисеев. Высокочистые вещества и материалы. Получение, анализ, применение. (Тез. докл. ХIII конф. Н. Новгород, 28-31 мая 2007 г., (изд. Ю.А. Николаев), с. 240-241
  19. А.В. Чилясов, А.Н. Моисеев, В.С. Евстигнеев, М.В. Костюнин, А.А. Трофимов, И.А. Денисов. Материалы XXVII Международной научно-технической конференции по фотоэлектронике и приборам ночного видения, ( АО "НПО "Орион", M., 2024), c. 345-346
  20. M. Reddy, J.M. Peterson, T. Vang, J.A. Franklin, M.F. Visela, K. Olsson, E.A. Patten, W.A. Radford, J.W. Bangs, L. Melkonian, E.P. Smith, D.D. Lofgreen, S.M. Johnson. J. Electron. Mater., 40 (8), 1706 (2011)
  21. F. Sheng, C. Zhou, S. Sun, J. Yang. J. Electron. Mater., 43 (5), 1397 (2014)
  22. C.A. Billman, L.A. Almeida, P. Smith, J.M. Arias, A. Chen, D. Lee, E.C. Piquette. J. Electron. Mater., 40 (8), 1693 (2011)
  23. Е.И. Иванов, В.Л. Суханов, В.В. Тучкевич, Л.В. Лопатина, Н.М. Шмидт. Письма ЖТФ, 6 (14), 874 (1980)
  24. O. Gravrand, G. Destefanis, S. Bisotto, N. Baier, J. Rothman, L. Mollard, D. Brellier, L. Rubaldo, A. Kerlain, V. Destefanis, M. Vuillermet. J. Electron. Mater., 42 (11), 3349 (2013)
  25. Mohd Qasim, P. Parthiban, Debangshu Narayan Das. ECS J. Solid State Sci. Technol., 8 (11), 719 (2019)
  26. I. Madni. Characterization of MBE-growth HgCdTe and related II-VI materials for next generation infrared detectors (Thesis Doctor of Philosophy. The University of Western Australia, 2017), p. 270 (p. 122-124)
  27. А.А. Трофимов, И.А. Денисов, Н.А. Смирнова, А.Д. Шабрин, А.Е. Гончаров, А.А. Новикова, М.О. Можаева, К.А. Гладышева, А.М. Косякова, В.А. Малыгин, С.А. Кузнецова, Д.В. Ильинов, А.С. Суханова. Успехи прикладной физики. 10 (3), 289 (2022). DOI: 10.51368/2307-4469-2022-10-3-289-300
  28. А.А. Трофимов, И.А. Денисов, М.Б. Гришечкин, А.Н. Моисеев, А.В. Чилясов, В.С. Евстигнеев, А.Е. Гончаров, К.А. Гладышева, А.С. Суханова, В.А. Малыгин, А.М. Косякова, Е.А. Климов. ФОТОНИКА 2023: Тезисы докладов Российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники (с участием иностранных ученых) (Новосибирск, 4-8 сентября 2023 г.) (ИФП СО РАН, Изд-во "Перо", M., 2023), c. 24
  29. А.А. Трофимов, И.А. Денисов, Ю.Б. Андрусов, М.Б. Гришечкин, Д.О. Царегородцев, В.Е. Антонова, К.А. Гладышева. Тезисы докладов 3-ей Международной научно-практической конференции "Редкие металлы и материалы на их основе: технологии, свойства, применение" (М., 2024), с. 221
  30. А.А. Трофимов, И.А. Денисов, Ю.Б. Андрусов, М.Б. Гришечкин, Д.О. Царегородцев, А.М. Косякова, В.Е. Антонова, К.А. Гладышева. Материалы XXVII Международной научно-технической конференции по фотоэлектронике и приборам ночного видения (АО "НПО "Орион", M., 2024), с. 201-203
  31. A.A. Trofimov, I.A. Denisov, M.B. Grishechkin, D.O. Tsaregorodtcev, A.E. Goncharov, K.A. Gladysheva, V.A. Malygin, A.M. Kosyakova. Bull. Russ. Acad. Sci.: Phys., 88 (9), 1496 (2024). DOI: 10.1134/S106287382470775X
  32. P. Moravec, P. Hoschl, J. Franc, E. Belas, R. Fesh, R. Grill, P. Horodysky, P. Praus. J. Electron. Mater., 35 (6), 1206 (2006)
  33. O. Lauten. Master of Science in Physics and Mathematics (Norwegian University of Science and Technology, 2017)
  34. S. Kakkireni. Master of Science in Mechanical Engineering (Washington State University, 2017)
  35. М.Б. Гришечкин, И.А. Денисов, А.А. Силина, Н.А. Смирнова, Н.И. Шматов. Прикладная физика, 5, 72 (2014)
  36. M.B. Grishechkin, I.A. Denisov, A.A. Silina, N.I. Shmatov. Non-Ferrous Metals, 2, 23 (2016)
  37. В.Н. Абрютин, Е.В. Давыдова. Сборник тезисов 3-ей Международной научно-практической конференции "Редкие металлы и материалы на их основе: технологии, свойства и применение" (РЕДМЕТ 2024) (АО "Гиредмет" им. Н.П. Сажина, M., 2024), с. 334-335
  38. И.А. Денисов. Разработка технологии выращивания эпитаксиальных слоев кадмий--ртуть--теллур методом жидкофазной эпитаксии (Автореф. канд. дисс., Гиредмет, M., 2007), с. 26
  39. Н.А. Смирнова. Разработка технологии изготовления подложек CdZnTe для выращивания гетероструктур CdHgTe/CdZnTe методом жидкофазной эпитаксии (Автореф. канд. дисс., Гиредмет, M., 2007), с. 145
  40. Ю.Б. Андрусов, А.Г. Белов, А.А. Коновалов, Н.А. Смирнова. Цветные металлы, 12, 56 (2016)
  41. R. Manchanda, R. Nokhwal, V. Sharma, H.С. Sharma, B.L. Sharma, S. Sitharaman. Crystal. 21 (1), 33 (2016)
  42. R. Haakenaasen, O. Lauten, E. Selvig, K.O. Kongshaug, E.J. R er, R.W. Hansen. J. Electron. Mater., 48 (10), 6124 (2019)
  43. Ph. Tribolet. Тезисы докладов 19-ой Международной конференции по фотоэлектронике и системам ночного видения (М., 2006), с. 10
  44. Ф. Триболе, Ж. Дестефанис. Прикладная физика, 2, 54 (2007)
  45. R. Nokhwal, V. Srivastav, B.L. Sharma, S.A. Hashmi, R.K. Sharma. J. Electron. Mater., 46 (12), 6795 (2017). DOI: 10.1007/s11664-017-5764-6
  46. Е.В. Мирофянченко, А.Е. Мирофянченко, В.С. Попов. Прикладная физика, 2, 46 (2020)
  47. А.А. Трофимов, О.А. Ухабин, А.С. Смирнов, С.А. Курепин, И.А. Денисов, А.Д. Шабрин, А.Е. Гончаров, А.А. Новикова, М.О. Можаева, К.А. Гладышева, А.М. Косякова, В.А. Малыгин, С.А. Кузнецова, Д.В. Ильинов, А.С. Суханова, В.А. Улькаров, И.Д. Размахнин. Успехи прикладной физики, 10 (5), 459 (2022)
  48. В.А. Козлов, С.Е. Беликов. Отчет АО "Производственный комплекс "ФИД-Техника" (С-Пб., 2024), с. 4
  49. А.А. Трофимов, И.А. Денисов, Н.А. Смирнова, А.Д. Шабрин, А.Е. Гончаров, А.А. Новикова, М.О. Можаева, К.А. Гладышева, А.М. Косякова, В.А. Малыгин, С.А. Кузнецова, Д.В. Ильинов, А.С. Суханова. Успехи прикладной физики, 10 (3), 289 (2022). DOI: 10.51368/2307-4469-2022-10-3-289-300
  50. А.А. Трофимов, И.А. Денисов, Ю.Б. Андрусов, М.Б. Гришечкин, Д.О. Царегородцев, А.М. Косякова, С.А. Курепин, А.С. Смирнов, В.Ю. Долматов, М.Ю. Андреева. Сборник тезисов докладов Международной конференции "Наноуглерод и Алмаз" (НиА-2024) (Медиапапир, СПб., 2024), с. P5-4-45.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme