Вышедшие номера
Home » Оптика и спектроскопия » Год 2025, выпуск 1 » Статья стр. 57
<<<>>>
Оптические свойства нестехиометрических оксидов титана
Российский научный фонд, 24-29-00344
Герасимова А.К. 1, Воронковский В.А. 1, Калмыков Д.А.1, Алиев В.Ш. 1,2, Володин В.А.1,3, Демьяненко М.А.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
2Новосибирский государственный технический университет, Новосибирск, Россия
3Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Россия
Email: gerasimova@isp.nsc.ru, voronkovskii@isp.nsc.ru, kalmykov@isp.nsc.ru, aliev@isp.nsc.ru, volodin@isp.nsc.ru, demyanenko@isp.nsc.ru
Поступила в редакцию: 22 октября 2024 г.
В окончательной редакции: 8 декабря 2024 г.
Принята к печати: 8 декабря 2024 г.
Выставление онлайн: 3 марта 2025 г.
PDF версия
Исследованы оптические свойства нестехиометрических оксидов титана TiO2-δ с различным отклонением от стехиометрии δ. Пленки синтезированы методом ионно-лучевого распыления-осаждения. Состав пленок определен методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Установлена взаимосвязь оптических параметров (n,k) пленок с параметром δ. Обнаружено, что отжиг пленок состава δ~0.58±0.02 при температурах 350-600oС приводит к существенному возрастанию поглощения в терагерцовой области спектра из-за роста в пленках (по данным сканирующей электронной микроскопии) кристаллов пластинчатой формы микронных размеров. Ключевые слова: тонкие пленки, нестехиометрические оксиды титана, рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия, спектральная эллипсометрия, оптические потери.
  1. В.Н. Кручинин, В.Ш. Алиев, А.К. Герасимова, В.А. Гриценко. Опт. и спектр., 121 (2), 260--265 (2016). DOI: 10.7868/S0030403416080092
  2. В.Н. Кручинин, В.А. Володин, Т.В. Перевалов, А.К. Герасимова, В.Ш. Алиев, В.А. Гриценко. Опт. и спектр., 124 (6), 777--782 (2018). DOI: 10.21883/OS.2018.06.46080.39-18
  3. В.Н. Кручинин, Т.В. Перевалов, В.Ш. Алиев, Р.М.Х. Исхакзай, Е.В. Спесивцев, В.А. Гриценко, В.А. Пустоваров. Опт. и спектр., 128 (10), 1467--1472 (2020). DOI: 10.21883/OS.2020.10.50016.12-20
  4. Y. Ashok Kumar Reddy, Y.B. Shin, I.K. Kang, H.C. Lee, P. Sreedhara Reddy. Appl. Phys. Lett., 107 (2), 023503 (2015). DOI: 10.1063/1.4926604
  5. С.А. Гаврилов, А.А. Дронов, В.И. Шевяков, А.Н. Белов, Э.А. Полторацкий. Российские нанотехнологии, 4 (3-4), 123--129 (2009)
  6. Y. Ju, Z. Wu, S. Li, X. Dong, Y. Jiang, J. Nanoelectron. Optoelectron., 7 (3), 317--321 (2012). DOI: 10.1166/jno.2012.1308
  7. А.А. Гончаров, А.Н. Добровольский, Е.Г. Костин, И.С. Петрик, Е.К. Фролова. ЖТФ, 84 (6), 98--106 (2014). URL: https://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/ 27261
  8. H. Malik, S. Sarkar, S. Mohanty, K. Carlson. Sci. Rep., 10 (1), 8050 (2020). DOI: 10.1038/s41598-020-64918-0
  9. Y. Reddy, Y.B. Shin, I.K. Kang, H.C. Lee. J. Appl. Phys., 119 (4), 044504 (2016). DOI: 10.1063/1.4940957
  10. L. Li, Z. Wu, Y. Ju, C. Chen. Energy Procedia, 12, 456--461 (2011). DOI: 10.1016/j.egypro.2011.10.061
  11. V.A. Shvets, V.Sh. Aliev, D.V. Gritsenko, S.S. Shaimeev, E.V. Fedosenko, S.V. Rykhlitski, V.V. Atuchin, V.A. Gritsenko, V.M. Tapilin, H. Wong. J. Non-Crystall. Sol., 354, 3025--3033 (2008). DOI: 10.1016/j.jnoncrysol.2007.12.013
  12. J.H. Scofield. J. Electron Spectrosc. Rel. Phenomena, 8 (2), 129--137 (1976). DOI: 10.1016/0368-2048(76)80015-1
  13. С.В. Рыхлицкий, Е.В. Спесивцев, В.А. Швец, В.Ю. Прокопьев. ПТЭ, 2, 161 (2012). DOI: 10.21883/OS.2019.11.48513.136-19
  14. J.F. Moudler, W.F. Stickle, P.E. Sobol, K.D. Bomben. Handbook of X-ray photoelectron spectroscopy (Perkin-Elmer, Eden Prairie, 1992)
  15. V.S. Aliev, A.K. Gerasimova, V.N. Kruchinin, V.A. Gritsenko, I.P. Prosvirin, I.A. Badmaeva. Mater. Res. Expr., 3 (8), 085008 (2016). DOI: 10.1088/2053-1591/3/8/085008
  16. Fundamental XPS Data from Pure Elements, Pure Oxides, and Chemical Compounds. URL: http://www.xpsdata.com/fundxps.pdf
  17. S. Adachi. Optical Constants of Crystalline and Amorphous Semiconductors: Numerical Data and Graphical Information (Springer Science + Business Media, 2013)
  18. W.S. Werner, K. Glantschnig, C. Ambrosch-Draxl. J. Phys. Chem. Ref. Data, 38 (4), 1013--1092 (2009). DOI: 10.1063/1.3243762

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme