Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2025, выпуск 10 » Статья стр. 1861
<<<>>>
Изготовление дифракционных решеток c блеском с переменной плотностью штрихов
Министерство образования и науки Российской Федерации, FSRM-2023-0006
Работа поддержана Российским научным фондом , 25-12-00139
Мохов Д.В. 1,2, Березовская Т.Н. 1, Шубина К.Ю. 1, Пирогов Е.В. 1, Прасолов Н.Д. 3, Горай Л.И. 1,2,4,5, Буравлев А.Д. 2,3,4
1Академический университет им. Ж.И. Алфёрова РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
3Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
4Институт аналитического приборостроения Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
5Институт космических исследований РАН, Москва, Россия
Email: dm_mokhov@rambler.ru, bertana@spbau.ru, kshubina@spbau.ru, zzzavr@gmail.com, nikpras@mail.ioffe.ru, lig@pcgrate.com, bour@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 29 апреля 2025 г.
В окончательной редакции: 29 апреля 2025 г.
Принята к печати: 29 апреля 2025 г.
Выставление онлайн: 11 сентября 2025 г.
PDF версия
Решетки с блеском и переменным расстоянием между штрихами (VLS) изготовлены на кремниевых подложках с использованием прямой лазерной литографии и анизотропного жидкостного травления. Параметры решеток в процессе изготовления контролировались с помощью методов растровой электронной и атомно-силовой микроскопии. Сообщено о деталях изготовления и характеристиках прототипов VLS-решетки с различными углами блеска, предназначенной для полихроматора солнечно-слепой части УФ диапазона. Ключевые слова: дифракционная Si-решетка, решетка с переменным периодом, угол блеска, треугольный профиль штриха, атомно-силовая микроскопия, растровая электронная микроскопия, солнечно-слепой ультрафиолет.
  1. C. Palmer. Diffraction grating handbook eighth edition (MKS Instruments, Inc., NY., USA, 2020)
  2. D.L. Voronov, S. Diez, P. Lum, S.A. Hidalgo, T. Warwick, N. Artemiev, H.A. Padmore. Proc. SPIE, 8848, 88480 (2013). DOI: 10.1117/12.2024489
  3. Ф.М. Герасимов, Э.А. Яковлев, И.В. Пейсахсон, Б.В. Кошелев. Опт. и спектр., 28 (4), 790 (1970)
  4. T. Harada, T. Kita. Appl. Opt., 19 (23), 3987 (1980). https://doi.org/10.1364/AO.19.003987
  5. M. Itou, T. Harada, T. Kita. Appl. Opt., 28 (1), 146 (1989). https://doi.org/10.1364/AO.28.000146
  6. M.C. Hettrick. Proc. SPIE 0560, Diffraction Phenomena in Optical Engineering Applications, (1986). https://doi.org/10.1117/12.949620
  7. D.L. Voronov, T. Warwick, E.M. Gullikson, F. Salmassi, P. Naulleau, N.A. Artemiev, P. Lum, H.A. Padmore. Proc. SPIE, 9207, 920706 (2014). DOI: 10.1117/12.2062340
  8. D.L. Voronov, E.M. Gullikson, H.A. Padmore. Opt. Express, 25 (19), 23334 (2017). https://doi.org/10.1364/OE.25.023334
  9. L.I. Goray. Proc. SPIE, 6317, 631700 (2006). DOI: 10.1117/12.678151
  10. J.F. Seely, L.I. Goray, B. Kjornrattanawanich, J.M. Laming, G.E. Holland, K.A. Flanagan, R.K. Heilmann, C.H. Chang, M.L. Schattenburg, A.P. Rasmussen. Appl. Opt., 45 (8), 1680 (2006). DOI: 10.1364/AO.45.001680
  11. C.-H. Chang, J.C. Montoya, M. Akilian, A. Lapsa, R.K. Heilmann, M.L. Schattenburg. J. Vac. Sci. Technol. B, 22 (6), 3260 (2004). DOI: 10.1116/1.1809614
  12. D.L. Voronov, S. Park, E.M. Gullikson, F. Salmassi, H.A. Padmore. Opt. Express, 30 (16), (2022). https://doi.org/10.1364/OE.460740
  13. R.K. Heilmann, D.P. Huenemoerder, J.A. McCoy, R.L. McEntaffer. arXiv:2409.02297v1. (2024)
  14. L. Golub, P. Cheimets, E.E. DeLuca, Chad A. Madsen, K.K. Reeves, J. Samra, S. Savage, A. Winebarger, A.R. Bruccoleri. J. Space Weather Space Clim., 10, 37 (2020)
  15. D.L. Voronov, L.I. Goray, T. Warwick, V. Yaschuk, H.A. Padmore. Opt. Express, 23 (4), 4771 (2015)
  16. X. Haoyu, J. Yanxiu, C. Xingshuo, W. Ruipeng, Z. Jing, Chin. J. Opt., 17 (5), 1139 (2024)
  17. L.I. Goray, T.N. Berezovskaya, D.V. Mokhov, V.A. Sharov, K.Yu. Shubina, E.V. Pirogov, A.S. Dashkov. J. Surf. Inv.: X-ray, Syn. \& Neut. Tech., 17 (1), S104 (2023). DOI: 10.1134/S1027451023070145
  18. D.L. Voronov, E.H. Anderson, R. Cambie, S. Cabrini, S.D. Dhuey, L.I. Goray, E.M. Gullikson, F. Salmassi, T. Warwick, V.V. Yashchuk, H.A. Padmore. Opt. Express, 19, 6320 (2011). https://doi.org/10.1364/OE.19.006320
  19. L.I. Goray, T.N. Berezovskaya, D.V. Mokhov, V.A. Sharov, K.Yu. Shubina, E.V. Pirogov, A.S. Dashkov, A.V. Nashchekin, M.V. Zorina, M.M. Barysheva, S.A. Garakhin, S.Yu. Zuev, N.I. Chkhalo. Bull. Lebed. Phys. Inst., 50 (2), S250 (2023)
  20. Д.В. Мохов, Т.Н. Березовская, К.Ю. Шубина Е.В. Пирогов, А.В. Нащекин, В.А. Шаров, Л.И. Горай. ЖТФ, 92 (8), 112 (2022). DOI: 10.21883/JTF.2022.08.52782.74-22 [D.V. Mokhov, T.N. Berezovskaya, K.Yu. Shubina, E.V. Pirogov, A.V. Nashchekin, V.A. Sharov, L.I. Goray. Tech. Phys., 68 (1), S96 (2023). DOI: 10.1134/S1063784223090116]
  21. Л.И. Горай, С.Ю. Садов. Компьютерная программа PCGrateТМ [Интернет-ресурс]. URL: www.pcgrate.com (дата обращения 20.10.2024)

Учредители

Издатель

© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme