Вышедшие номера
Особенности функции распределения электронов в тлеющем разряде с полым катодом в смесях азота с электроотрицательными газами
Калюжная А.Г.1, Рябцев А.В.1, Щедрин А.И.1
1Институт физики Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
Email: ashched@iop.kiev.ua
Поступила в редакцию: 2 апреля 2002 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2002 г.

Исследуются функции распределения электронов по энергиям (ФРЭЭ) в тлеющем разряде с полым катодом в смесях азота с электроотрицательными газами. Показано, что при добавлении к азоту малой доли SF6 или CCl4 происходит существенное повышение концентрации электронов в интервале 2-6 eV, соответствующем инверсному участку на ФРЭЭ. В смеси азота с тем же количеством F2 или NF3 ФРЭЭ мало отличается от рассчитанной в чистом азоте. Вид ФРЭЭ в таких смесях существенно зависит от прилипания электронов к молекулам электроотрицательного газа.