Устойчивость субатомных пленок углерода на поверхности металлов к бомбардировке низкоэнергетичными газовыми ионами
Суворов А.Л.1, Бабаев В.П.1, Залужный А.Г.1, Девятко Ю.Н.1, Лазарев Н.Е.1, Залужный А.А.1
1Государственный научный центр РФ, Институт теоретической и экспериментальной физики, Москва, Россия
Email: alex.suvorov@itep.ru
Поступила в редакцию: 29 мая 2002 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2002 г.
Развитая ранее оригинальная экспериментальная методика измерения и анализа параметров низкочастотных флуктуаций автоэлектронного тока металлопленочных систем использована для измерения коэффициентов распыления (Yf) пленок углерода (степень покрытия Theta от 1 до 4) на Fe, Nb, Ta и U. Расчет Yf проведен с использованием аналитического выражения развитой теоретической модели. Измерены коэффициенты распыления Yf углеродных пленок ионами H+ и He+ с энергиями Ei в диапазоне 2.0-10.0 keV. Для фиксированных Theta для каждого типа ионов получены энергетические зависимости Yf; кроме того, для некоторых фиксированных значений энергий ионов Ei для каждого типа ионов получены зависимости Yf от Theta. Измеренные величины Yf во всех случаях заметно превышают таковые для чистого углерода. Используя другую оригинальную методику, совмещающую автоионную микроскопию и тонкие измерения токовых и (или) световых характеристик локальных участков автоионно-микроскопических изображений, определены энергетические пороги Eth начала распыления пленок углерода на металлической поверхности. Измерены энергетические распределения Yf для разных Theta в припороговой области энергий.
- Распыление твердых тел ионной бомбардировкой / Под ред. Р. Бериша. М.: Мир, 1984. Т. 1. 495 с. 1986. Т. 2. 494 с
- Ekstein W., Garcia-Rosales C., Roth J. et al. Sputtering Data, Max-Planck Institut fur Plasmaphysik. Report IPP 9/82. 1993. 412 p
- Oen O.S., Robinson M.T. // Nucl. Instrum. Meth. 1976. Vol. 132. P. 647--651
- Biersack J.P., Eckstein W. // Appl. Phys. 1984. Vol. A34. P. 73--76
- Suvorov A.L., Sheshin E.P., Dolin D.E. et al. // Appl. Surf. Sci. 1994. Vol. 76/77. P. 26--29
- Суворов А.Л., Квинтрадзе В.И., Бобков А.Ф. и др. // ЖТФ. 1988. Т. 58. Вып. 6. С. 1134--1143
- Guseva M.I., Suvorov A.L., Korshunov S.N. et al. // J. Nucl. Mater. 1999. Vol. 266--269. P. 222--227
- Гусева М.И., Суворов А.Л., Коршунов С.Н. и др. // ЖТФ. 1999. Т. 69. Вып. 9. С. 137--142
- Касаткин В.А., Квинтрадзе В.И., Суворов А.Л. // ПТЭ. 1987. N 1. С. 191--195
- Суворов А.Л. Структура и свойства поверхностных атомных слоев металлов. М.: Энергоатомиздат, 1990. 285 с.
- Елинсон М.И., Васильев Г.Ф. Автоэлектронная эмиссия. М.: Физматгиз, 1958. 186 с
- Березняк П.А., Слезов В.В. // РиЭ. 1972. Т. 17. С. 354--359
- Фоменко В.С. Эмиссионные свойства материалов. Справочник. Киев: Наукова думка, 1981. 338 с
- Суворов А.Л. // Атомная энергия. 1977. Т. 42. Вып. 4. С. 280--285
- Суворов А.Л., Гусева М.И., Коршунов С.Н. и др. // Физика радиационных явлений и радиационное материаловедение. Тр. конф. Харьков: ННЦ ХФТИ, 2001, Т. 1. С. 78--83
- Долин Д.Е., Сосунов А.А., Суворов А.Л. и др. // ЖТФ. 1990. Т. 60. Вып. 12. С. 115--121
- Suvorov A.L., Cheblukov Yu.N., Lazarev N.E. et al. // Surface and Near Surface Analysis of Materials / Ed. P. Vincenzini, S. Valeri. Adv. Sci. Technol. Fienza. Techna, 1999. Vol. 19. P. 191--198
- Бобков А.Ф., Зайцев С.В., Касаткин В.А. и др. // ПТЭ. 1985. N 6. С. 188--191.
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук