Метод рентгеновской рефлектометрии и его применение для исследования лазерного испарения окисной пленки с поверхности кремния
Петраков А.П.1
1Сыктывкарский государственный университет им. Питирима Сорокина, Сыктывкар, Россия
Email: petrakov@ssu.komi.com
Поступила в редакцию: 19 июня 2002 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2003 г.
Приведен анализ литературы по рентгеновской рефлектометрии. Возможности метода рентгеновской рефлектометрии продемонстрированы в процессе исследования лазерного испарения окисной пленки с поверхности кремния.
- Андреев А.В. // УФН. 1985. Т. 145. N 1. С. 113--136
- Петраков А.П., Голубев Е.А. // Поверхность. 2000. N 9. С. 15--16
- Бушуев В.А., Петраков А.П. // ФТТ. 1993. Т. 35. Вып. 2. С. 355--364
- Бушуев В.А., Петраков А.П. // ЖТФ. 2000. Т. 70. Вып. 5. С. 28--37
- Ломов А.А., Бушуев В.А., Караванский В.А. // Кристаллография. 2000. Т. 45. N 5. С. 915--920
- Guentert O.G. // J. Appl. Phys. 1965. Vol. 36. N 4. P. 1361--1366
- Yoneda Y. // Phys. Rev. 1963. Vol. 131. N 5. P. 359--369
- Bindell J.B., Wainfan N. // J. Appl. Phys. 1970. Vol. 3. N 6. P. 503--516
- Андреева М.А., Борисова С.Ф., Степанов С.А. // Поверхность. 1985. N 4. С. 5--26
- Бушуев В.А., Петраков А.П. // Докл. II Национальной конф. РСНЭ. Дубна, 1997. Т. 2. С. 188--193
- Christensen F.E. // Revue Phys. Appl. 1988. Vol. 23. P. 1701--1710
- Синайский В.М., Сиденко В.И. // ПТЭ. 1974. N 6. С. 5--13
- Афанасьев А.М., Александров П.А., Имамов Р.И. М.: Наука, 1989. 151 с
- Александров П.А., Степанов С.А. // Поверхность. 1986. N 6. С. 117--120
- Parratt L.G. // Phys. Rev. 1954. Vol. 95. P. 359--369
- Синицын С.В. // ПТЭ. 1994. N 1. С. 203--207
- Начинов В.А., Елисеенко Л.Г., Достовалов В.Н. // Опт. и спектр. 1982. Т. 53. Вып. 3. С. 546--548
- Sinha S.K., Sirota E.B., Garoff S., Stanley H.B. // Phys. Rev. B. 1988. Vol. 38. N 4. P. 2297--2311
- Holy V., Baumbach T. // Phys. Rev. B. 1994. Vol. 49. N 15. P. 10 668--10 676
- Darhuber A.A., Schittenhelm P., Holy V., Stangl J., Bauer G., Abstreitre G. // Phys. Rev. B. 1997. Vol. 55. N 23. P. 15 652--15 663
- Имамов Р.М., Кондрашкина Е.А., Александров П.А., Грабчак В.П., Уваров О.В. // Поверхность. 1987. N 3. С. 41--47
- Ковьев Э.К., Матвеев Ю.А. // ФТТ. 1981. Т. 23. Вып. 2. С. 587--589
- Петрашень П.В., Ковьев Э.К., Чуховский Ф.Н., Дегтярев Ю.Л. // ФТТ. 1983. Т. 25. Вып. 4. С. 1211--1214
- Смирнов Л.А., Сотникова Т.Д., Анохин С.Б., Тайбин Б.З. // Опт. и спектр. // 1979. Т. 46. Вып. 3. С. 593--598
- Смирнов Л.А., Анохин С.Б. Опт. и спектр. 1980. Т. 48. Вып. 3. С. 574--577
- Ровинский Б.М., Синайский В.М., Сиденко В.И. // ФТТ. 1972. Т. 14. Вып. 2. С. 409--412
- Саркисов С.Р., Саркисов Э.Р. // Письма в ЖТФ. 1990. Т. 16. Вып. 16. С. 87--90
- Филатова Е.О., Благовещенская Т.А. // ФТТ. 1991. Т. 33. Вып. 8. С. 2321--2325
- Львов Ю.М., Дехер Г. // Кристаллография. 1994. Т. 39. N 4. С. 696--716
- Самойленко И.И., Коновалов О.В., Фейгин Л.А., Щедрин Б.М., Янусова Л.Г. // Кристаллография. 1999. Т. 44. N 2. С. 347--355
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.