Экспериментальная установка с одним ионным пучком и новый метод одновременного осаждения слоев металлов и имплантации
Комаров Ф.Ф., Комаров А.А., Жуковски П., Карват Ч., Селянко Ю., Кищак К., Комаров А.Ф.
Поступила в редакцию: 22 июля 2002 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2003 г.
Предложен оригинальный подход и экспериментальная установка для реализации in situ ионной имплантации и осаждения слое различных материалов на металлы одним и тем же пучком. Созданная система моделирования процессов дает возмозжность описать ионно-ассистируемое осаждение, а также вычислить радиальное и глубинное распределения осажденных/имплантированных атомов. Результаты моделирования позволили сделать выводы о влиянии энергии ионного пучка, массы и флюенса ионов и особенно геометрии распыляемой мишени. Также представлены экспериментальные результаты по глубинным распределениям имплантируемых атомов и толщинам нанесенных слоев. Наблюдаемое изменение в толщине осажденных слоев, их однородность и эффективность перемешивания в системе пленка-подложка обсуждаются и интерпретируются на основе результатов моделирования и экспериментальных данных.
- Ensinger W. // Surface and Coat. Technol. 1996. Vol. 84. P. 363
- Komarov F.F., Komarov A.F., Mironov A.M. // Nucl. Instr. Meth. 1996. Vol. B115. P. 505--507
- Комаров Ф.Ф., Комаров А.Ф. Физические процессы при ионной имплантации в твердые тела. Минск: УП "Технопринт", 2001. 393 с
- Комаров Ф.Ф. Ионная имплантация в металлы. М.: Металлургия, 1990. 216 с
- Sielanko J., Szysko W. // Surf. Sci. 1985. Vol. 161. P. 101
- Sielanko J., Szysko W. // Nucl. Instr. Meth. 1986. Vol. B16. P. 340
- Komarov F.F., Komarov A.F., Pilko V.V. et al. // Proc. Intern. Symp. "Ion Implant. in Science and Technology". Lublin, 1997. P. 38--41
- Комаров А.Ф., Комаров А.А., Тарковски П. // ЖТФ. 1995. Т. 65. Вып. 2. С. 201--206
- Комаров Ф.Ф., Комаров А.Ф., Миронов А.М. // Поверхность. 1997. N 6. С. 68--72
- Комаров Ф.Ф., Комаров А.Ф., Пилько В.В. и др. // Матер. II Междунар. конф. "Физика плазмы и плазменные технологии". ФППТ-2. Минск, 1997. С. 570--573
- Komarov A.F., Komarov F.F., Zukowski P. et al. // Nukleonika. 1999. Vol. 44. N 2. P. 363--368
- Комаров А.Ф., Комаров Ф.Ф., Шукан А.Л. и др. // Изв. Национальной академии наук Беларуси. Сер. физико-технических наук. 1999. N 3. С. 19--23
- Komarov A.F., Komarov F.F., Zukowski P. et al. // Vacuum. 2001. Vol. 63. N 4. P. 495--499
- Komarov F.F., Komarov A.F., Zukowski P. et al. // Abstr. IV Intern. Conf. "Modification of Propert. of Surface Layers of Ion-Semicond. Mater. Using particle Beams". Feodosia (Ukraina), 2001. P. 48
- Komarov A.A., Komarov A.F., Pilko V.V. et al. // Proc. 4th Intern. Conf. IRS-2001. Minsk, 2001. P. 344--346
- Ван Флек А. Теоретическое и прикладное материаловедение. М.: Атомиздат, 1975. 325 с
- Карват Ч. // Энергетика. Известия вузов и энергетических объединений СНГ. 2001. N 6. С. 33--37
- Карват Ч., Жуковски П., Меконнен В.М. // Энергетика. Известия вузов и энергетических объединений СНГ. 2001. N 2. С. 43--50
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук