Журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Формирование двумерных периодических наноструктур на поверхности плавленого кварца, полиимида и поликристаллического алмаза с помощью метода импульсной четырехлучевой интерференционной лазерной модификации
1Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия 
2Научно-образовательный центр физики твердотельных наноструктур, Нижегородский государственный университет, Нижний Новгород, Россия
2Научно-образовательный центр физики твердотельных наноструктур, Нижегородский государственный университет, Нижний Новгород, Россия
Email: verevkin@appl.sci-nnov.ru
Поступила в редакцию: 23 октября 2002 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2003 г.
С помощью атомно-силовой микроскопии (АСМ) изучена топография субмикронных периодических структур, сформированных на поверхностях поликристаллического синтетического алмаза, и полиимидных пленок на подложках из плавленого кварца при наносекундных импульсных воздействиях ультрафиолетового излучения эксимерного XeCl лазера с длиной волны 308 nm в схеме четырехлучевой интерференционной лазерной модификации. Показана возможность прямого формирования двумерного периодического рельефа с субмикронным периодом на поверхности алмаза непосредственно импульсным лазерным испарением без применения резистора. Установлено, что в зависимости от экспозиции наблюдаются два различных механизма модификации полиимидных пленок. При экспозициях в диапазоне до 100 mJ/cm2 в полиимиде наблюдается изменение рельефа вследствие увеличения объема в местах интерференционных максимумов. При экспозиции более 100 mJ/cm2 в пленках возникают отверстия. С использованием УФ фоторезистора, экспонированного интерференционным импульсным лазерным облучением, и последующего ионного травления Ar получен периодический рельеф на поверхности плавленого кварца.
- Fernandez A., Nguyen H.T., Britten J.A. et al. // J. Vac. Sci. Technol. 1997. Vol. B15 (3). P. 729--735
- Fernandez A., Bedrossian P.J., Baker S.L. et al. // IEEE Trans. on Magn. 1996. Vol. 32. N 5. P. 4472--4474
- Smith H.I. // Physica E11. 2001. P.104--109
- Алексеев А.М., Веревкин Ю.К., Востоков Н.В. и др. // Письма в ЖЭТФ. 2001. Т. 73. Вып. 4. С. 214--219
- Savas T.A., Farhoud M., Smith H.I. et al. // J. Appl. Phys. 1999. Vol. 85. N 8. P. 6160--6162
- Zheng M., Yu M., Liu Y. et al. // Appl. Phys. Lett. 2001. Vol. 79. N 16. P. 2606--2608
- Phillips H.M., Callaham D.L., Sauerbrey R. // Appl. Phys. 1992. Vol. A54. P. 158--165
- Pelissier S., Biauc D., Andrews M.P. et al. // Appl. Opt. 1999. Vol. 38. N 32. P. 6744--6748
- Ezaki M., Kumagai H., Toyoda K. et al. // Jap. J. Appl. Phys. 1993. Vol. 32. Pt 1. N 3a. P. 1308--1311
- Chung Yi, Shi-Woo Rhee // J. Mater. Scien. Mater. in Elect. 2001. Vol. 12. P. 697--701
- Lee M., Moou S., Haatana M. et al. // Appl. Phys. A. 2001. Vol. 73. P. 317--321
- Ефремов М.Д., Болотов В.В., Володин В.А. и др. // ФТП. 2002. Т. 36. N 1. С. 109--116
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
