Особенности распространения поверхностных акустических волн в ниобате лития, << поврежденном>> электронным лучом
Крышталь Р.Г.1, Медведь А.В.1
1Институт радиотехники и электроники РАН, Фрязино, Московская область, Россия
Email: avm@ms.ire.rssi.ru
Поступила в редакцию: 15 апреля 2002 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2003 г.
Экспериментально исследовано распространение поверхностных акустических волн (ПАВ) в тонкопленочном алюминиевом волноводе типа Delta v/v, изготовленном на пластине 128oY-X LiNbO3 взрывной литографией с "засветкой" электронного резиста непосредственно электронным лучом энергией 20 keV без применения шаблона. Обнаружены скачки и гистерезис на температурной зависимости изменения фазы сигнала, прошедшего через ПАВ-линию задержки, образованную таким волноводом и двумя встречно-штыревыми преобразователями с центральной частотой 486 MHz и помещенную в поток азота. При введении в поток азота паров водосодержащих аналитов обнаружены аномальные изменения фазы, имеющие противоположный знак и больше, чем на порядок величины, превышающие изменения фазы, имеющие место в аналогичных условиях в образцах, изготовленных оптической литографией. Делается вывод о возможности использования обнаруженных явлений для создания датчиков влажности на ПАВ с низким уровнем пороговой чувствительности.
- Bursill L.A., Peng Ju Lin. // Ferroelectrics. 1988. Vol. 77. N 1. P. 81--89
- Фрегатов С.О., Шерман А.Б. // ПЖТФ. 1998. Т. 24. Вып. 6. С. 52--57
- Шур В.Я., Румянцев Е.Л., Бачко Р.Г. и др. // ФТТ. 1999. Т. 41. Вып. 10. С. 1831--1837
- Roshchupkin D.V., Fournier Th., Brunel M. et al. // Appl. Phys. Lett. 1992. Vol. 60. P. 2330--2331
- Roshchupkin D.V., Tkachev S.V., Tocoulou R. et al. // Ferroelectrics Lett. 1995. Vol. 19. P. 139--144
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук